Kenmerke en toepassings Hierdie produk is 'n dun film van titanium of sirkoniumlegering met geoptimaliseerde mikrostruktuur wat oor 'n wye temperatuurreeks geaktiveer kan word. Na aktivering kan dit onsuiwergasse soos waterstof, waterdamp, koolstofmonoksied, koolstofdioksied en ander onsuiwerhede absorbeer ...
Hierdie produk is 'n dun film van titanium of sirkoniumlegering met geoptimaliseerde mikrostruktuur wat oor 'n wye temperatuurreeks geaktiveer kan word. Na aktivering kan dit onsuiwerheidsgasse soos waterstof, waterdamp, koolstofmonoksied, koolstofdioksied en ander onsuiwerheidsgasse behalwe inerte gasse in die vakuumomgewing absorbeer, en die vakuum binne die toestel verbeter en in stand hou. Dit het die kenmerke van groot inspirasiekapasiteit, geen deeltjies en lae aktiveringstemperatuur. Dit kan wyd gebruik word in verskeie MEMS-toestelle soos onverkoelde infrarooi sensors en mikro-gyroskoop. Verskillende getter-legerings is beskikbaar vir verskillende inkapselingsprosesse.
Basiese kenmerke en algemene data
Struktuur
Die tipiese struktuur van die produk is 'n vlekvrye staal met 'n dikte van 50 mikron as 'n draer, en die oppervlak is aan beide kante bedek, met 'n filmdikte van ongeveer 1,5 mikron. Die grootte vorm kan aangepas word volgens gebruikersbehoeftes. Dit kan ook neergelê word in die vorm van dun films op die oppervlak van die wafer of verskeie metaal dekplate en keramiek skulpe.
Sorpsiekapasiteit
Nadat die produk in 'n dinamiese hoë vakuum van minder as 1E-3Pa geaktiveer is, kan dit die vermoë hê om te suig, en na afkoeling tot kamertemperatuur, het dit steeds die vermoë om verskeie aktiewe gasse te adsorbeer. Soos die aktiveringstemperatuur toeneem, neem die inspiratoriese kapasiteit geleidelik toe. Die produk word vir 30 minute teen die optimale aktiveringstemperatuur verhit, en die adsorpsiekapasiteit van CO na afkoeling is groter as 0.06Pa· L/cm2。 Wanneer die aktiveringstemperatuur die optimale aktiveringstemperatuur oorskry, word die enkele inaseming prestasie na afkoeling verswak.
Wanneer die produk geaktiveer word deur verhitting in 'n lae vakuum, begin die aktiewe gasse in die omgewing tydens die verhittingsproses geabsorbeer word. Vir verskillende gasse is die absorpsiespoed en kapasiteit daarvan verskillend. By 'n sekere temperatuur en binne die omvang van totale absorpsiekapasiteit is die aanvanklike absorpsietempo vinniger, en dan sal dit stadiger en stadiger word; Wanneer die temperatuur weer verhoog word, word die absorpsietempo weer verhoog en dan weer verswak. Na afkoeling, of die produk oorblywende suigvermoë het, hang af van die tipe aktiewe gas wat dit absorbeer en die hoeveelheid inaseming.
Aanbevole aktiveringstoestande
Vir die beste werkverrigting word aktivering in 'n dinamiese hoë vakuum van minder as 1E-3Pa aanbeveel, en die aanbevole aktiveringstoestande vir elke filmmateriaal word in die volgende lys gewys:
Film materiaal | Temperatuur en tyd (℃×min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Versigtig
Die verwarmingstroom-aktiveringstemperatuurkurwe wat in die produkspesifikasie verskaf word, word getoets deur die produk wat in 'n vakuum hang, en die werklike aktiveringsstroom vs. temperatuur hang hoofsaaklik af van die hitteverlies nadat die produk binne-in die toestel gesoldeer is. As gevolg van die hittegeleiding van die sweisposisie, is die temperatuur van die gelaste deel baie laer as die temperatuur van die middelste deel van die produk.
Tydens aktivering sal die getter intern soliede oplosbare waterstof vrystel. As daar water in die omgewing is, sal die suurstof in die water deur die getter vasgemaak word, en die elementêre waterstof sal in waterstofgas omgeskakel word om vrygestel te word. In 'n beperkte ruimte, na afkoeling, of hierdie deel van die waterstof heeltemal deur die getter geabsorbeer kan word, hang af van die tipe en hoeveelheid gas wat dit tydens aktivering absorbeer.
Voer asseblief jou e-posadres in en ons sal op jou e-pos antwoord.