الميزات والتطبيقات هذا المنتج عبارة عن طبقة رقيقة من سبائك التيتانيوم أو الزركونيوم مع بنية مجهرية محسنة يمكن تنشيطها على نطاق واسع من درجات الحرارة. بعد التنشيط، يمكنه امتصاص غازات الشوائب مثل الهيدروجين وبخار الماء وأول أكسيد الكربون وثاني أكسيد الكربون والشوائب الأخرى.
هذا المنتج عبارة عن طبقة رقيقة من سبائك التيتانيوم أو الزركونيوم ذات بنية مجهرية محسنة يمكن تنشيطها على نطاق واسع من درجات الحرارة. بعد التنشيط، يمكنه امتصاص غازات الشوائب مثل الهيدروجين وبخار الماء وأول أكسيد الكربون وثاني أكسيد الكربون وغازات الشوائب الأخرى غير الغاز الخامل في بيئة الفراغ، وتحسين والحفاظ على الفراغ داخل الجهاز. يتميز بقدرة الإلهام الكبيرة، وعدم وجود جزيئات، ودرجة حرارة التنشيط المنخفضة. يمكن استخدامه على نطاق واسع في أجهزة MEMS المختلفة مثل أجهزة استشعار الأشعة تحت الحمراء غير المبردة والجيروسكوب الصغير. تتوفر سبائك مختلفة لعمليات التغليف المختلفة.
الخصائص الأساسية والبيانات العامة
بناء
الهيكل النموذجي للمنتج عبارة عن فولاذ مقاوم للصدأ بسمك 50 ميكرون كحامل، والسطح مطلي على كلا الجانبين، بسمك غشاء يبلغ حوالي 1.5 ميكرون. يمكن تخصيص شكل الحجم وفقًا لاحتياجات المستخدم. ويمكن أيضًا ترسيبها على شكل أغشية رقيقة على سطح الرقاقة أو ألواح تغطية معدنية مختلفة وأغلفة خزفية.
القدرة على الامتصاص
بعد تنشيط المنتج في فراغ ديناميكي عالي أقل من 1E-3Pa، يمكن أن يكون لديه القدرة على الشفط، وبعد التبريد إلى درجة حرارة الغرفة، لا يزال لديه القدرة على امتصاص الغازات النشطة المختلفة. ومع زيادة درجة حرارة التنشيط، تزداد القدرة التنفسية تدريجياً. يتم تسخين المنتج عند درجة حرارة التنشيط المثالية لمدة 30 دقيقة، وتكون قدرة امتصاص ثاني أكسيد الكربون بعد التبريد أكبر من 0.06Pa·L/cm2. عندما تتجاوز درجة حرارة التنشيط درجة حرارة التنشيط المثالية، يتم تخفيف أداء الاستنشاق الفردي بعد التبريد.
عندما يتم تنشيط المنتج عن طريق التسخين في فراغ منخفض، يبدأ امتصاص الغازات النشطة الموجودة في البيئة أثناء عملية التسخين. بالنسبة للغازات المختلفة، تختلف سرعة وسعة الامتصاص. عند درجة حرارة معينة وفي نطاق قدرة الامتصاص الإجمالية، يكون معدل الامتصاص الأولي أسرع، وبعد ذلك سوف يصبح أبطأ وأبطأ؛ وعندما ترتفع درجة الحرارة مرة أخرى، يزداد معدل الامتصاص مرة أخرى ثم ينخفض مرة أخرى. بعد التبريد، يعتمد ما إذا كان المنتج يتمتع بقدرة شفط متبقية على نوع الغاز النشط الذي يمتصه وكمية الاستنشاق.
شروط التنشيط الموصى بها
للحصول على أفضل أداء، يوصى بالتنشيط في فراغ ديناميكي عالي أقل من 1E-3Pa، ويتم عرض شروط التنشيط الموصى بها لكل مادة فيلم في القائمة التالية:
مادة الفيلم | درجة الحرارة والوقت (درجة مئوية × دقيقة) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
حذر
يتم اختبار منحنى درجة حرارة تنشيط تيار التسخين الوارد في مواصفات المنتج من خلال تعليق المنتج في فراغ، ويعتمد تيار التنشيط الفعلي مقابل درجة الحرارة بشكل أساسي على فقدان الحرارة بعد لحام المنتج داخل الجهاز. بسبب التوصيل الحراري لموضع اللحام، تكون درجة حرارة الجزء الملحوم أقل بكثير من درجة حرارة الجزء الأوسط من المنتج.
أثناء التنشيط، سيطلق المُحصل هيدروجينًا قابلاً للذوبان بقوة داخليًا. إذا كان هناك ماء في البيئة، فسيتم تثبيت الأكسجين الموجود في الماء بواسطة المحصل، وسيتم تحويل الهيدروجين العنصري إلى غاز الهيدروجين ليتم إطلاقه. في مكان ضيق، بعد التبريد، ما إذا كان يمكن امتصاص هذا الجزء من الهيدروجين بالكامل بواسطة المُحصل يعتمد على نوع وكمية الغاز الذي يمتصه أثناء التنشيط.
الرجاء إدخال عنوان بريدك الإلكتروني وسنقوم بالرد على بريدك الإلكتروني.