Pruduttu

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Getters di film sottili

Funzioni è Applicazioni Stu pruduttu hè una fina film di titaniu o di alea di zirconiu cù una microstruttura ottimizzata chì pò esse attivata nantu à una larga gamma di temperatura. Dopu l'attivazione, pò assorbe i gasi impurità cum'è l'idrogenu, vapore d'acqua, monossidu di carbonu, diossidu di carbonu è altre impurità ...

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Descrizzione

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Funzioni è Applicazioni

Stu pruduttu hè una fina film di titaniu o alea di zirconiu cù una microstruttura ottimizzata chì pò esse attivata nantu à una larga gamma di temperatura. Dopu à l'attivazione, pò assorbe i gasi impurità cum'è l'idrogenu, u vapore d'acqua, u monossidu di carbonu, l'anidride carbonica è altri gasi impurità in l'ambiente di vacuum, è migliurà è mantene u vacuum in u dispusitivu. Hà e caratteristiche di una grande capacità d'ispirazione, senza particelle, è bassa temperatura di attivazione. Pò esse largamente utilizatu in parechji dispositi MEMS, cum'è sensori infrared uncooled è Micro gyroscope. Diverse leghe di getter sò dispunibili per diversi prucessi di incapsulazione.

Caratteristiche basi è Dati Generali

Struttura

A struttura tipica di u pruduttu hè un azzaru inossidabile cù un grossu di 50 microns cum'è traspurtadore, è a superficia hè rivestita da i dui lati, cù un grossu di film di circa 1,5 microns. A forma di taglia pò esse persunalizata secondu i bisogni di l'utilizatori. Puderà ancu esse dipositu in forma di filmi fini nantu à a superficia di l'oblea o diversi platti di tappe di metallo è cunchiglia di ceramica.

Capacità di sorption

Dopu chì u pruduttu hè attivatu in un altu vacuum dinamicu di menu di 1E-3Pa, pò avè a capacità di aspirazione, è dopu à rinfriscà à a temperatura di l'ambienti, hà sempre a capacità di adsorbe diversi gasi attivi. Quandu a temperatura di attivazione aumenta, a capacità inspiratoria aumenta gradualmente. U pruduttu hè riscaldatu à a temperatura d'attivazione ottima per 30min, è a capacità di adsorption di CO dopu à rinfriscà hè più grande di 0.06Pa· L / cm2。 Quandu a temperatura di attivazione supera a temperatura di attivazione ottima, a prestazione di inalazione unica dopu à rinfriscà hè attenuata.

Quandu u pruduttu hè attivatu da u riscaldamentu in un vacuum bassu, i gasi attivi in l'ambiente cumincianu à esse assorbiti durante u prucessu di riscaldamentu. Per i diversi gasi, a so velocità di assorbimentu è a capacità sò diverse. À una certa temperatura è in a gamma di a capacità di assorbimentu tutale, a rata di assorbimentu iniziale hè più veloce, è poi diventerà più lenta è più lenta; Quandu a temperatura hè aumentata di novu, a rata d'absorzione hè aumentata di novu è poi attenuata di novu. Dopu à rinfriscà, se u pruduttu hà capacità di aspirazione residuale dipende da u tipu di gas attivu chì assorbe è a quantità di inalazione.

Cundizioni di attivazione cunsigliate

Per u megliu rendimentu, l'attivazione in un altu vacuum dinamicu di menu di 1E-3Pa hè cunsigliatu, è e cundizioni di attivazione cunsigliate per ogni materiale di film sò mostrate in a lista seguente:

Materiale di film	Temperature è tempu (℃ × min)
TP	450 × 30
TZC	300 × 30
TZCF	400 × 30

Prudenza

A curva di a temperatura di l'attivazione di u currente di riscaldamentu furnita in a Specificazione di u Produttu hè pruvata da u pruduttu appesu in un vacuum, è a corrente di attivazione attuale versus a temperatura dipende principarmenti da a perdita di calore dopu chì u pruduttu hè saldatu in u dispusitivu. A causa di a cunduzzione di u calore di a pusizioni di saldatura, a temperatura di a parte saldata hè assai più bassa di a temperatura di a parti media di u pruduttu.

Durante l'attivazione, u getter rilascerà l'idrogenu solu solubile internamente. Se ci hè l'acqua in l'ambiente, l'ossigenu in l'acqua serà fissatu da u getter, è l'idrogenu elementale serà cunvertitu in gasu di l'idrogenu per esse liberatu. In un spaziu cunfinatu, dopu à rinfriscà, s'ellu sta parte di l'idrogenu pò esse completamente assorbita da u getter dipende da u tipu è a quantità di gas chì assorbe durante l'attivazione.

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