Vlastnosti a aplikace Tento produkt je tenký film z titanu nebo slitiny zirkonia s optimalizovanou mikrostrukturou, kterou lze aktivovat v širokém teplotním rozsahu. Po aktivaci může absorbovat plyny nečistot, jako je vodík, vodní pára, oxid uhelnatý, oxid uhličitý a další nečistoty...
Tento produkt je tenký film z titanu nebo slitiny zirkonia s optimalizovanou mikrostrukturou, kterou lze aktivovat v širokém teplotním rozsahu. Po aktivaci může absorbovat plyny nečistot, jako je vodík, vodní pára, oxid uhelnatý, oxid uhličitý a jiné plyny nečistot jiné než inertní plyn ve vakuovém prostředí, a zlepšit a udržet vakuum uvnitř zařízení. Má vlastnosti velké inspirační kapacity, bez částic a nízké aktivační teploty. Může být široce používán v různých zařízeních MEMS, jako jsou nechlazené infračervené senzory a mikro gyroskop. Pro různé procesy zapouzdření jsou k dispozici různé getrové slitiny.
Základní charakteristiky a obecné údaje
Struktura
Typickou strukturou produktu je nerezová ocel o tloušťce 50 mikronů jako nosič a povrch je potažen oboustranně, s tloušťkou filmu asi 1,5 mikronu. Tvar velikosti lze upravit podle potřeb uživatele. Může být také nanesen ve formě tenkých filmů na povrch waferu nebo různých kovových krycích desek a keramických skořepin.
Sorpční kapacita
Poté, co je produkt aktivován v dynamickém vysokém vakuu menším než 1E-3Pa, může mít schopnost sání a po ochlazení na pokojovou teplotu má stále schopnost adsorbovat různé aktivní plyny. Se zvyšující se aktivační teplotou se postupně zvyšuje inspirační kapacita. Produkt se zahřívá na optimální aktivační teplotu po dobu 30 minut a adsorpční kapacita CO po ochlazení je větší než 0,06 Pa· L/cm2. Když aktivační teplota překročí optimální aktivační teplotu, výkon jedné inhalace po ochlazení se utlumí.
Když je produkt aktivován zahřátím v nízkém vakuu, aktivní plyny v prostředí začnou být absorbovány během procesu zahřívání. Pro různé plyny se jeho absorpční rychlost a kapacita liší. Při určité teplotě a v rozsahu celkové absorpční kapacity je počáteční rychlost absorpce rychlejší a pak bude pomalejší a pomalejší; Když se teplota opět zvýší, rychlost absorpce se opět zvýší a poté opět utlumí. Zda má produkt po ochlazení zbytkovou sací kapacitu, závisí na typu aktivního plynu, který absorbuje, a na množství inhalace.
Doporučené podmínky aktivace
Pro nejlepší výkon se doporučuje aktivace v dynamickém vysokém vakuu menším než 1E-3Pa a doporučené podmínky aktivace pro každý filmový materiál jsou uvedeny v následujícím seznamu:
Materiál filmu | Teplota a čas (℃ × min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Pozor
Křivka teploty aktivace topného proudu uvedená ve specifikaci produktu je testována zavěšením produktu ve vakuu a skutečný aktivační proud vs. teplota závisí především na tepelné ztrátě po zapájení produktu uvnitř zařízení. Vzhledem k vedení tepla svařovací polohy je teplota svařované části mnohem nižší než teplota střední části výrobku.
Během aktivace bude getr uvolňovat vnitřně pevně rozpustný vodík. Pokud je v prostředí voda, kyslík ve vodě bude fixován getrem a elementární vodík se přemění na plynný vodík, který se uvolní. Zda může být tato část vodíku v uzavřeném prostoru po ochlazení zcela absorbována getrem, závisí na typu a množství plynu, který absorbuje během aktivace.
Zadejte prosím svou e-mailovou adresu a my vám na váš e-mail odpovíme.