Merkmale und Anwendungen Die NEG-Pumpe ist eine Art Chemisorptionspumpe, die nach dem Erhitzen der NEG-Legierung durch Hochsintern zusammengebaut wird. Sie kann große Mengen an Restgasen in einer Vakuumumgebung beseitigen und wird hauptsächlich für UHV-Tests oder Laborgeräte verwendet. Wenn es aktiviert ist, arbeiten NEG-Pumpen...
Die NEG-Pumpe ist eine Art Chemisorptionspumpe, die nach dem Erhitzen der NEG-Legierung durch Hochsintern zusammengebaut wird. Sie kann große Mengen an Restgasen in einer Vakuumumgebung beseitigen, die hauptsächlich für UHV-Tests oder Laborgeräte verwendet wird. Wenn es aktiviert ist, können NEG-Pumpen ohne Strom arbeiten, außerdem sind sie vibrationsfrei und nicht magnetisch. Das Besondere an den NEG-Pumpen ist, dass sie äußerst effektiv für Wasserstoff und andere aktive Gase sind und unter dem UHV niemals abnehmen würden.
Grundlegende Merkmale und allgemeine Daten
Produkttyp | Länge der Patrone (mm) | Gettergewicht (g) | Flanschgröße | Aktivierungsleistung (W) | Aktivierungstemperatur (℃) | Reaktivierungen (Sorptionszyklen) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
Produkttyp | Pumpgeschwindigkeit (L/S) | Sorptionskapazität (Torr × L) | ||||||
H2 | H2O | N2 | CO | H2 | H2O | N2 | CO | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0,175 | 0,35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0,35 | 0,7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0,7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
Empfohlene Aktivierungsbedingungen
Es wird empfohlen, dass der Benutzer eine Konstantstromquelle verwendet, um die NEG-Pumpe mit Strom zu versorgen und zu aktivieren. Empfohlene Aktivierungsbedingungen: Bei 45-minütiger Aktivierung bei 450 °C sollte der Vakuumgrad des Systems während des gesamten Aktivierungsprozesses besser als 0,01 Pa sein. Eine ordnungsgemäße Verlängerung der Zeit erleichtert die vollständige Aktivierung der NEG-Pumpe. Kann die Standard-Aktivierungstemperatur nicht erreicht werden, muss zum Ausgleich die Aktivierungszeit verlängert werden. Es ist notwendig, den Vakuumgrad der Vakuumkammer während des Aktivierungsprozesses sicherzustellen. Wenn das Vakuum zu niedrig ist, können die folgenden Mängel auftreten: Sputtern der Heizung, Verschmutzung des Saugmaterials, abnormale Aktivierungstemperatur und andere ungünstige Bedingungen.
Die NEG-Pumpe gibt während der Aktivierung eine bestimmte Menge an Gasen ab, um den Vakuumgrad während der Aktivierung der NEG-Pumpe sicherzustellen. Wir empfehlen, die NEG-Pumpe unter dynamischem Vakuum zu aktivieren und den Aktivierungsprozess langsam und schrittweise von 1,5 A zu erhöhen, bis der vorgegebene Stromwert erreicht ist Überhitzung der NEG-Pumpe muss vermieden werden.
Vorsicht
Bei Aktivierung und Betrieb haben das Gehäuse und der Flansch der NEG-Pumpe eine hohe Temperatur. Achten Sie darauf, Verbrennungen zu vermeiden.
Wenn die NEG-Pumpe eine hohe Temperatur hat, muss sie unter Vakuumbedingungen sein, um Ausfälle aufgrund von Verschmutzung und Verbrauch zu vermeiden.
Stellen Sie beim Anschließen der Stromversorgung sicher, dass die Verbindung zwischen der Stromversorgung und der Flanschelektrode fest ist, und achten Sie auf die Isolierung zu anderen Teilen.
Vor der Aktivierung der Heizung ist darauf zu achten, dass im System Vakuumbedingungen herrschen, die den Anforderungen entsprechen.
Unter besonderen Umständen kann die Arbeitstemperatur im Bereich von 200 °C bis 250 °C (2,5 A unter Spannung) gehalten werden, damit die NEG-Pumpe eine hohe Pumpgeschwindigkeit für C, N, O und andere Gase aufweist In diesem Fall wird der maximale Vakuumgrad, den die NEG-Pumpe erreichen kann, verringert.
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