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Dünnfilm-Getter

Merkmale und Anwendungen Bei diesem Produkt handelt es sich um einen dünnen Film aus einer Titan- oder Zirkoniumlegierung mit optimierter Mikrostruktur, der über einen weiten Temperaturbereich aktiviert werden kann. Nach der Aktivierung kann es Fremdgase wie Wasserstoff, Wasserdampf, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und andere Verunreinigungen absorbieren ...

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Beschreibung

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Funktionen und Anwendungen

Bei diesem Produkt handelt es sich um einen dünnen Film aus einer Titan- oder Zirkoniumlegierung mit optimierter Mikrostruktur, der über einen weiten Temperaturbereich aktiviert werden kann. Nach der Aktivierung kann es Fremdgase wie Wasserstoff, Wasserdampf, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und andere Fremdgase außer Inertgas in der Vakuumumgebung absorbieren und das Vakuum im Inneren des Geräts verbessern und aufrechterhalten. Es zeichnet sich durch eine große Inspirationskapazität, keine Partikel und eine niedrige Aktivierungstemperatur aus. Es kann in verschiedenen MEMS-Geräten wie ungekühlten Infrarotsensoren und Mikrogyroskopen eingesetzt werden. Für unterschiedliche Verkapselungsprozesse stehen unterschiedliche Getterlegierungen zur Verfügung.

Grundlegende Merkmale und allgemeine Daten

Struktur

Die typische Struktur des Produkts ist ein Edelstahl mit einer Dicke von 50 Mikrometern als Träger, und die Oberfläche ist beidseitig beschichtet, mit einer Filmdicke von etwa 1,5 Mikrometern. Die Größenform kann an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Es kann auch in Form dünner Filme auf der Oberfläche des Wafers oder verschiedener Metallabdeckplatten und Keramikschalen abgeschieden werden.

Sorptionskapazität

Nachdem das Produkt in einem dynamischen Hochvakuum von weniger als 1E-3Pa aktiviert wurde, kann es absaugen und nach dem Abkühlen auf Raumtemperatur immer noch verschiedene aktive Gase adsorbieren. Mit steigender Aktivierungstemperatur nimmt die Inspirationskapazität allmählich zu. Das Produkt wird 30 Minuten lang auf die optimale Aktivierungstemperatur erhitzt und die Adsorptionskapazität von CO nach dem Abkühlen beträgt mehr als 0,06 Pa · L/cm2. Wenn die Aktivierungstemperatur die optimale Aktivierungstemperatur überschreitet, wird die Leistung einer einzelnen Inhalation nach dem Abkühlen abgeschwächt.

Wenn das Produkt durch Erhitzen in einem niedrigen Vakuum aktiviert wird, beginnen die aktiven Gase in der Umgebung während des Erhitzungsprozesses absorbiert zu werden. Bei verschiedenen Gasen sind die Absorptionsgeschwindigkeit und die Kapazität unterschiedlich. Bei einer bestimmten Temperatur und im Bereich der gesamten Absorptionskapazität ist die anfängliche Absorptionsrate schneller und wird dann immer langsamer; Bei erneuter Temperaturerhöhung wird die Absorptionsrate wieder erhöht und anschließend wieder abgeschwächt. Ob das Produkt nach dem Abkühlen über eine Restsaugfähigkeit verfügt, hängt von der Art des aufgenommenen Aktivgases und der Menge der Inhalation ab.

Empfohlene Aktivierungsbedingungen

Für eine optimale Leistung wird die Aktivierung in einem dynamischen Hochvakuum von weniger als 1E-3Pa empfohlen. Die empfohlenen Aktivierungsbedingungen für jedes Filmmaterial sind in der folgenden Liste aufgeführt:

Filmmaterial	Temperatur und Zeit (℃×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Vorsicht

Die in der Produktspezifikation angegebene Heizstrom-Aktivierungstemperaturkurve wird am im Vakuum hängenden Produkt getestet. Der tatsächliche Aktivierungsstrom im Verhältnis zur Temperatur hängt hauptsächlich vom Wärmeverlust ab, nachdem das Produkt im Gerät verlötet wurde. Aufgrund der Wärmeleitung an der Schweißstelle ist die Temperatur des geschweißten Teils viel niedriger als die Temperatur des mittleren Teils des Produkts.

Während der Aktivierung setzt der Getter intern festlöslichen Wasserstoff frei. Befindet sich Wasser in der Umgebung, wird der Sauerstoff im Wasser durch den Getter fixiert und der elementare Wasserstoff wird in Wasserstoffgas umgewandelt und freigesetzt. Ob dieser Teil des Wasserstoffs in einem geschlossenen Raum nach dem Abkühlen vollständig vom Getter absorbiert werden kann, hängt von der Art und Menge des Gases ab, das er bei der Aktivierung absorbiert.

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