Χαρακτηριστικά και Εφαρμογές Η αντλία NEG είναι ένα είδος αντλίας χημικής απορρόφησης, που συναρμολογείται μετά το κράμα NEG που θερμαίνεται με υψηλή πυροσυσσωμάτωση, θα μπορούσε να εξαλείψει μεγάλες ποσότητες υπολειμματικών αερίων σε περιβάλλον κενού, που εφαρμόζεται κυρίως για δοκιμές UHV ή εργαστηριακό εξοπλισμό. Όταν είναι ενεργοποιημένη, η NEG αντλεί συν...
Η αντλία NEG είναι ένα είδος αντλίας χημικής απορρόφησης, που συναρμολογείται μετά το κράμα NEG που θερμαίνεται με υψηλή πυροσυσσωμάτωση, θα μπορούσε να εξαλείψει μεγάλες ποσότητες υπολειμματικών αερίων σε περιβάλλον κενού, που εφαρμόζεται κυρίως για δοκιμές UHV ή εργαστηριακό εξοπλισμό. Όταν είναι ενεργοποιημένη, οι αντλίες NEG θα μπορούσαν να λειτουργούν χωρίς ρεύμα, επίσης χωρίς κραδασμούς και μη μαγνητικές. Το κύριο χαρακτηριστικό των αντλιών NEG είναι εξαιρετικά αποτελεσματικό για το Υδρογόνο και άλλα ενεργά αέρια και δεν θα μειώσει ποτέ κάτω από το UHV.
Βασικά Χαρακτηριστικά και Γενικά Στοιχεία
Τύπος προϊόντος | μήκος κασέτας (mm) | Βάρος λήψης (g) | Μέγεθος φλάντζας | Ισχύς ενεργοποίησης (W) | Θερμοκρασία ενεργοποίησης (℃) | Επανενεργοποιήσεις (κύκλοι προσρόφησης) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
Τύπος προϊόντος | Ταχύτητα άντλησης (L/S) | Ικανότητα ρόφησης (Torr × L) | ||||||
Η2 | H2O | Ν2 | CO | Η2 | H2O | Ν2 | CO | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0,175 | 0,35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0,35 | 0,7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0,7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
Συνιστώμενες συνθήκες ενεργοποίησης
Συνιστάται ο χρήστης να χρησιμοποιεί τροφοδοτικό σταθερού ρεύματος για να ενεργοποιήσει και να ενεργοποιήσει την αντλία NEG. Συνιστώμενες συνθήκες ενεργοποίησης: Ενεργοποιώντας την ενεργοποίηση στους 450°C για 45 λεπτά, ο βαθμός κενού του συστήματος σε όλη τη διαδικασία ενεργοποίησης θα πρέπει να είναι καλύτερος από 0,01Pa. Η σωστή παράταση του χρόνου θα διευκολύνει την πλήρη ενεργοποίηση της αντλίας NEG. Εάν δεν μπορεί να επιτευχθεί η τυπική θερμοκρασία ενεργοποίησης, ο χρόνος ενεργοποίησης πρέπει να παραταθεί για να αντισταθμιστεί. Είναι απαραίτητο να διασφαλιστεί ο βαθμός κενού του θαλάμου κενού κατά τη διαδικασία ενεργοποίησης, εάν το κενό είναι πολύ χαμηλό, ενδέχεται να προκύψουν τα ακόλουθα ελαττώματα: εκτόξευση θερμαντήρα, ρύπανση υλικού αναρρόφησης, μη φυσιολογική θερμοκρασία ενεργοποίησης και άλλες δυσμενείς συνθήκες.
Η αντλία NEG απελευθερώνει μια συγκεκριμένη ποσότητα αερίων κατά την ενεργοποίηση, προκειμένου να διασφαλιστεί ο βαθμός κενού κατά την ενεργοποίηση της αντλίας NEG. Συνιστάται η ενεργοποίηση της αντλίας NEG υπό δυναμικό κενό και η διαδικασία ενεργοποίησης θα πρέπει να αυξάνεται αργά και σταδιακά από 1,5 Α έως ότου επιτευχθεί η προκαθορισμένη τιμή ρεύματος, το γρήγορο ξεφούσκωμα και η αλλαγή των ηλεκτρικών παραμέτρων που προκαλούνται από την ταχεία αλλαγή του η θερμοκρασία της αντλίας NEG πρέπει να αποφεύγεται.
Προσοχή
Όταν ενεργοποιείται και λειτουργεί, το περίβλημα και η φλάντζα της αντλίας NEG έχουν υψηλή θερμοκρασία, προσέξτε για να αποφύγετε εγκαύματα.
Όταν η αντλία NEG βρίσκεται σε υψηλή θερμοκρασία, πρέπει να βρίσκεται σε συνθήκες κενού για να αποφευχθούν βλάβες λόγω μόλυνσης και κατανάλωσης.
Κατά τη σύνδεση του τροφοδοτικού, βεβαιωθείτε ότι η σύνδεση μεταξύ του τροφοδοτικού και του ηλεκτροδίου φλάντζας είναι σταθερή και προσέξτε τη μόνωση με άλλα μέρη.
Πριν από την ενεργοποίηση της θέρμανσης, προσέξτε να βεβαιωθείτε ότι το σύστημα βρίσκεται σε συνθήκες κενού που πληρούν τις απαιτήσεις.
Υπό ειδικές συνθήκες, προκειμένου η αντλία NEG να έχει υψηλή ταχύτητα άντλησης για C, N, O και άλλα αέρια, η θερμοκρασία λειτουργίας μπορεί να διατηρηθεί στην περιοχή από 200 °C ~ 250 °C (ενεργοποιημένη 2,5Α), Σε αυτήν την περίπτωση, μειώνεται ο απόλυτος βαθμός κενού που μπορεί να επιτύχει η αντλία NEG.
Εισαγάγετε τη διεύθυνση email σας και θα απαντήσουμε στο email σας.