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Captadores de película delgada

Características y aplicaciones Este producto es una película delgada de aleación de titanio o circonio con microestructura optimizada que se puede activar en un amplio rango de temperaturas. Después de la activación, puede absorber gases impuros como hidrógeno, vapor de agua, monóxido de carbono, dióxido de carbono y otras impurezas...

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Características y aplicaciones

Este producto es una fina película de aleación de titanio o circonio con microestructura optimizada que puede activarse en un amplio rango de temperaturas. Después de la activación, puede absorber gases impuros como hidrógeno, vapor de agua, monóxido de carbono, dióxido de carbono y otros gases impuros distintos del gas inerte en el entorno de vacío, y mejorar y mantener el vacío dentro del dispositivo. Tiene las características de gran capacidad de inspiración, sin partículas y baja temperatura de activación. Puede ser ampliamente utilizado en varios dispositivos MEMS, como sensores infrarrojos no refrigerados y microgiroscopios. Se encuentran disponibles diferentes aleaciones getter para diferentes procesos de encapsulación.

Características Básicas y Datos Generales

Estructura

La estructura típica del producto es un acero inoxidable con un espesor de 50 micrones como soporte, y la superficie está recubierta por ambos lados, con un espesor de película de aproximadamente 1,5 micrones. La forma del tamaño se puede personalizar según las necesidades del usuario. También se puede depositar en forma de películas delgadas sobre la superficie de la oblea o sobre varias placas de cubierta metálicas y carcasas cerámicas.

Capacidad de Sorción

Después de que el producto se activa en un alto vacío dinámico de menos de 1E-3Pa, puede tener la capacidad de succionar y, después de enfriarse a temperatura ambiente, aún tiene la capacidad de adsorber varios gases activos. A medida que aumenta la temperatura de activación, la capacidad inspiratoria aumenta gradualmente. El producto se calienta a la temperatura de activación óptima durante 30 minutos y la capacidad de adsorción de CO después del enfriamiento es superior a 0,06 Pa · L/cm2. Cuando la temperatura de activación excede la temperatura de activación óptima, se atenúa el rendimiento de la inhalación única después del enfriamiento.

Cuando el producto se activa calentando en bajo vacío, los gases activos del ambiente comienzan a ser absorbidos durante el proceso de calentamiento. Para diferentes gases, su velocidad y capacidad de absorción son diferentes. A una determinada temperatura y dentro del rango de la capacidad de absorción total, la tasa de absorción inicial es más rápida y luego se volverá cada vez más lenta; Cuando se vuelve a aumentar la temperatura, la tasa de absorción aumenta nuevamente y luego se atenúa nuevamente. Después del enfriamiento, la capacidad de succión residual del producto depende del tipo de gas activo que absorbe y de la cantidad de inhalación.

Condiciones de activación recomendadas

Para obtener el mejor rendimiento, se recomienda la activación en un alto vacío dinámico de menos de 1E-3Pa, y las condiciones de activación recomendadas para cada material de película se muestran en la siguiente lista:

Material de película	Temperatura y tiempo (℃×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Precaución

La curva de temperatura de activación-corriente de calentamiento proporcionada en la Especificación del producto se prueba colgando el producto en el vacío, y la corriente de activación real frente a la temperatura depende principalmente de la pérdida de calor después de soldar el producto dentro del dispositivo. Debido a la conducción de calor de la posición de soldadura, la temperatura de la parte soldada es mucho menor que la temperatura de la parte media del producto.

Durante la activación, el getter liberará hidrógeno internamente sólidamente soluble. Si hay agua en el medio ambiente, el captador fijará el oxígeno del agua y el hidrógeno elemental se convertirá en gas hidrógeno para ser liberado. En un espacio confinado, después del enfriamiento, si el getter puede absorber completamente esta parte del hidrógeno depende del tipo y la cantidad de gas que absorbe durante la activación.

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Producto

Producto

Material absorbente de circonio-grafeno y método de preparación del mismo.

Una cámara de vacío pequeña y fácil de usar

Una estructura de calentador getter y un método de preparación altamente confiables

Un dispositivo de almacenamiento de hidrógeno a base de titanio con termones

Tecnología y Desarrollo

Bombas Getter no evaporables (NEG)

Captadores de hidrógeno serie XQP

Ninguno captador evaporable

Ninguno Evaporable Getter-2

Sistema de prueba de vacío

Ninguno Getter-1 evaporable

Absorbente de agua serie ZEP

Getter poroso sinterizado

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