Omadused ja rakendused See toode on optimeeritud mikrostruktuuriga õhuke titaani- või tsirkooniumisulamist kile, mida saab aktiveerida laias temperatuurivahemikus. Pärast aktiveerimist võib see absorbeerida lisandgaase, nagu vesinik, veeaur, süsinikmonooksiid, süsinikdioksiid ja muud lisandid...
See toode on optimeeritud mikrostruktuuriga õhuke titaanist või tsirkooniumisulamist kile, mida saab aktiveerida laias temperatuurivahemikus. Pärast aktiveerimist võib see vaakumkeskkonnas absorbeerida lisandgaase, nagu vesinik, veeaur, süsinikmonooksiid, süsinikdioksiid ja muud lisandgaasid peale inertgaasi ning parandada ja säilitada vaakumit seadme sees. Sellel on suur sissehingamisvõime, osakeste puudumine ja madal aktiveerimistemperatuur. Seda saab laialdaselt kasutada erinevates MEMS-seadmetes, nagu jahutamata infrapunaandurid ja mikrogüroskoop. Erinevate kapseldamisprotsesside jaoks on saadaval erinevad getterisulamid.
Põhiomadused ja üldandmed
Struktuur
Toote tüüpiline struktuur on kandjana 50 mikronit paksune roostevaba teras, mille pind on kaetud mõlemalt poolt, kile paksusega umbes 1,5 mikronit. Suuruse kuju saab kohandada vastavalt kasutaja vajadustele. Seda saab ladestada ka õhukeste kilede kujul vahvli pinnale või erinevatele metallist katteplaatidele ja keraamilistele kestadele.
Sorptsioonivõime
Pärast toote aktiveerimist dünaamilises kõrgvaakumis, mis on alla 1E-3Pa, võib sellel olla imemisvõime ja pärast toatemperatuurini jahutamist on sellel endiselt võime adsorbeerida erinevaid aktiivseid gaase. Aktiveerimistemperatuuri tõustes suureneb järk-järgult sissehingamisvõime. Toodet kuumutatakse optimaalsel aktiveerimistemperatuuril 30 minutit ja CO adsorptsioonivõime pärast jahutamist on suurem kui 0,06 Pa· L/cm2。 Kui aktiveerimistemperatuur ületab optimaalse aktiveerimistemperatuuri, nõrgeneb ühekordse sissehingamise jõudlus pärast jahutamist.
Kui toode aktiveeritakse madalas vaakumis kuumutamisel, hakkavad keskkonnas olevad aktiivsed gaasid kuumutamise käigus imenduma. Erinevate gaaside puhul on selle neeldumiskiirus ja -võimsus erinev. Teatud temperatuuril ja koguneeldumisvõime piires on esialgne neeldumiskiirus kiirem ja seejärel muutub see aeglasemaks ja aeglasemaks; Temperatuuri uuesti tõstmisel suurendatakse neeldumiskiirust uuesti ja seejärel taas nõrgeneb. Pärast jahutamist sõltub toote jääk-imemisvõimsus sellest, mis tüüpi aktiivgaasi see absorbeerib ja sissehingatavast kogusest.
Soovitatavad aktiveerimistingimused
Parima jõudluse saavutamiseks on soovitatav aktiveerimine dünaamilises kõrgvaakumis alla 1E-3Pa ja iga kilematerjali soovitatavad aktiveerimistingimused on näidatud järgmises loendis:
Filmi materjal | Temperatuur ja aeg (℃ × min) |
TP | 450 × 30 |
TZC | 300 × 30 |
TZCF | 400 × 30 |
Ettevaatust
Toote spetsifikatsioonis toodud küttevoolu-aktiveerimistemperatuuri kõverat testitakse vaakumis rippuva tootega ning tegelik aktiveerimisvool vs temperatuur sõltub peamiselt soojuskaost pärast toote seadmesse jootmist. Keevitusasendi soojusjuhtivuse tõttu on keevitatud osa temperatuur palju madalam kui toote keskmise osa temperatuur.
Aktiveerimise ajal vabastab getter sisemiselt tahkelt lahustuvat vesinikku. Kui keskkonnas on vett, fikseerib vees olev hapnik getteriga ja elementaarne vesinik muundatakse eralduvaks vesinikgaasiks. See, kas see osa vesinikust saab pärast jahutamist kinnises ruumis getterisse täielikult neelduda, sõltub gaasi tüübist ja kogusest, mida see aktiveerimise ajal neelab.
Sisestage oma e-posti aadress ja me vastame teie meilile.