ویژگی ها و کاربردها این محصول یک فیلم نازک از آلیاژ تیتانیوم یا زیرکونیوم با ریزساختار بهینه است که می تواند در محدوده دمایی وسیعی فعال شود. پس از فعال شدن می تواند گازهای ناخالصی مانند هیدروژن، بخار آب، مونوکسید کربن، دی اکسید کربن و سایر ناخالصی ها را جذب کند.
این محصول یک فیلم نازک از آلیاژ تیتانیوم یا زیرکونیوم با ریزساختار بهینه است که می تواند در محدوده دمایی وسیعی فعال شود. پس از فعال سازی می تواند گازهای ناخالصی مانند هیدروژن، بخار آب، مونوکسید کربن، دی اکسید کربن و سایر گازهای ناخالصی غیر از گاز بی اثر را در محیط خلاء جذب کرده و خلاء داخل دستگاه را بهبود بخشد و حفظ کند. دارای ویژگی های ظرفیت الهام زیاد، بدون ذرات و دمای فعال سازی پایین است. این می تواند به طور گسترده در دستگاه های مختلف MEMS مانند سنسورهای مادون قرمز خنک نشده و میکرو ژیروسکوپ استفاده شود. آلیاژهای گیرنده مختلف برای فرآیندهای کپسوله سازی مختلف در دسترس هستند.
ویژگی های اساسی و داده های عمومی
ساختار
ساختار معمولی محصول از جنس استنلس استیل با ضخامت 50 میکرون به عنوان حامل بوده و سطح آن از دو طرف پوشش داده شده و ضخامت فیلم حدود 1.5 میکرون می باشد. شکل اندازه را می توان با توجه به نیاز کاربر سفارشی کرد. همچنین می توان آن را به صورت لایه های نازک روی سطح ویفر یا صفحات پوشش فلزی مختلف و پوسته های سرامیکی رسوب داد.
ظرفیت جذب
پس از فعال شدن محصول در خلاء دینامیکی بالا کمتر از 1E-3Pa، می تواند قابلیت مکش داشته باشد و پس از خنک شدن تا دمای اتاق، همچنان قابلیت جذب گازهای فعال مختلف را دارد. با افزایش دمای فعال سازی، ظرفیت دمی به تدریج افزایش می یابد. محصول در دمای فعال سازی بهینه به مدت 30 دقیقه گرم می شود و ظرفیت جذب CO پس از خنک شدن بیشتر از 0.06Pa· L/cm2 است. هنگامی که دمای فعال سازی از دمای بهینه فعال سازی فراتر رود، عملکرد تک استنشاق پس از خنک شدن کاهش می یابد.
هنگامی که محصول با حرارت دادن در خلاء کم فعال می شود، گازهای فعال موجود در محیط در طی فرآیند گرمایش شروع به جذب می کنند. برای گازهای مختلف، سرعت جذب و ظرفیت آن متفاوت است. در دمای معین و در محدوده ظرفیت جذب کل، سرعت جذب اولیه سریعتر است و سپس کندتر و کندتر می شود. هنگامی که دما دوباره افزایش می یابد، میزان جذب دوباره افزایش می یابد و سپس دوباره کاهش می یابد. پس از سرد شدن، اینکه آیا محصول دارای ظرفیت مکش باقیمانده است یا خیر، به نوع گاز فعالی که جذب می کند و میزان استنشاق آن بستگی دارد.
شرایط فعال سازی توصیه شده
برای بهترین عملکرد، فعالسازی در خلاء دینامیکی بالا کمتر از 1E-3Pa توصیه میشود و شرایط فعالسازی توصیهشده برای هر ماده فیلم در لیست زیر نشان داده شده است:
مواد فیلم | دما و زمان (℃×min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
احتیاط
منحنی دمای جریان گرمایش-فعال سازی ارائه شده در مشخصات محصول توسط محصول آویزان شده در خلاء آزمایش می شود و جریان فعال سازی واقعی در مقابل دما عمدتاً به اتلاف گرما پس از لحیم کاری محصول در داخل دستگاه بستگی دارد. با توجه به هدایت حرارتی محل جوش، دمای قسمت جوش داده شده بسیار کمتر از دمای قسمت میانی محصول است.
در طول فعال سازی، گیرنده هیدروژن محلول در داخل را آزاد می کند. در صورت وجود آب در محیط، اکسیژن موجود در آب توسط گیرنده ثابت می شود و هیدروژن عنصری به گاز هیدروژن تبدیل می شود تا آزاد شود. در یک فضای محدود، پس از خنک شدن، اینکه آیا این قسمت از هیدروژن می تواند به طور کامل توسط گیرنده جذب شود یا خیر، بستگی به نوع و مقدار گازی دارد که در طول فعال سازی جذب می کند.
لطفا آدرس ایمیل خود را وارد کنید و ما به ایمیل شما پاسخ خواهیم داد.