Ominaisuudet ja sovellukset NEG-pumppu on eräänlainen kemisorptiopumppu, joka kootaan korkealla sintrauksella lämmitetyn NEG-seoksen jälkeen. Se voi poistaa suuria määriä jäännöskaasuja tyhjiöympäristössä, jota käytetään pääasiassa UHV-testaukseen tai laboratoriolaitteisiin. Kun se on aktivoitu, NEG pumps co...
NEG-pumppu on eräänlainen kemisorptiopumppu, joka on koottu korkealla sintrauksella lämmitetyn NEG-seoksen jälkeen. Se voi poistaa suuria määriä jäännöskaasuja tyhjiöympäristössä, jota käytetään pääasiassa UHV-testaukseen tai laboratoriolaitteisiin. Kun se on aktivoitu, NEG-pumput voivat toimia ilman virtaa, myös ilman tärinää ja ei-magneettista. NEG-pumppujen kohokohta on erittäin tehokas vedylle ja muille aktiivisille kaasuille, eikä se koskaan laske UHV:n alla.
Perusominaisuudet ja yleiset tiedot
Tuotetyyppi | kasetin pituus (mm) | Getter Weight (g) | Laipan koko | Aktivointiteho (W) | Aktivointilämpötila (℃) | Uudelleenaktivoinnit (sorptiosyklit) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
Tuotetyyppi | Pumppausnopeus (L/S) | Sorptiokapasiteetti (Torr × L) | ||||||
H2 | H2O | N2 | CO | H2 | H2O | N2 | CO | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0,175 | 0,35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0,35 | 0.7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0.7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
Suositellut aktivointiehdot
On suositeltavaa, että käyttäjä käyttää jatkuvaa virtalähdettä NEG-pumpun kytkemiseen ja aktivoimiseen. Suositeltavat aktivointiolosuhteet: Aktivointi 450°C:ssa 45min, järjestelmän tyhjiöasteen koko aktivointiprosessin aikana tulee olla parempi kuin 0,01Pa. Ajan oikea pidentäminen helpottaa NEG-pumpun täydellistä aktivointia. Jos normaalia aktivointilämpötilaa ei voida saavuttaa, aktivointiaikaa on pidennettävä kompensoimiseksi. Tyhjiökammion tyhjiöaste on varmistettava aktivointiprosessin aikana, jos tyhjiö on liian alhainen, seuraavia vikoja voi ilmetä: lämmittimen roiskuminen, imumateriaalin saastuminen, epänormaali aktivointilämpötila ja muut haitalliset olosuhteet.
NEG-pumppu vapauttaa tietyn määrän kaasuja aktivoinnin aikana varmistaakseen alipaineasteen NEG-pumpun aktivoinnin aikana. Suosittelemme, että NEG-pumppu aktivoidaan dynaamisessa tyhjiössä ja aktivointiprosessia nostetaan hitaasti ja asteittain 1,5 A:sta, kunnes ennalta määrätty virta-arvo saavutetaan, nopea tyhjennys ja sähköisten parametrien muutos, jonka aiheuttaa nopea muutos. NEG-pumpun lämpötilaa on vältettävä.
Varoitus
Aktivoituna ja toimiessaan NEG-pumpun kotelo ja laippa ovat korkeassa lämpötilassa, kiinnitä huomiota palovammojen estämiseen.
Kun NEG-pumppu on korkeassa lämpötilassa, sen on oltava tyhjiöolosuhteissa, jotta vältetään likaantumisesta ja kulutuksesta johtuvat viat.
Kun kytket virtalähdettä, varmista, että virtalähteen ja laippaelektrodin välinen liitäntä on kiinteä ja kiinnitä huomiota muiden osien eristykseen.
Varmista ennen lämmityksen aktivointia, että järjestelmä on alipaineolosuhteissa, jotka täyttävät vaatimukset.
Erityisolosuhteissa, jotta NEG-pumpulla olisi korkea C-, N-, O- ja muiden kaasujen pumppausnopeus, käyttölämpötila voidaan pitää välillä 200 °C ~ 250 °C (jännite 2,5A), Tässä tapauksessa NEG-pumpun saavuttama lopullinen tyhjiöaste pienenee.
Anna sähköpostiosoitteesi, niin vastaamme sähköpostiisi.