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Getters à couches minces

Caractéristiques et applications Ce produit est un film mince d'alliage de titane ou de zirconium avec une microstructure optimisée qui peut être activé sur une large plage de températures. Après activation, il peut absorber les gaz d'impuretés tels que l'hydrogène, la vapeur d'eau, le monoxyde de carbone, le dioxyde de carbone et d'autres impuretés...

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Description

Signe

Fonctionnalités et applications

Ce produit est un film mince d'alliage de titane ou de zirconium à microstructure optimisée qui peut être activé sur une large plage de températures. Après activation, il peut absorber les gaz d'impuretés tels que l'hydrogène, la vapeur d'eau, le monoxyde de carbone, le dioxyde de carbone et d'autres gaz d'impuretés autres que les gaz inertes dans l'environnement sous vide, et améliorer et maintenir le vide à l'intérieur de l'appareil. Il présente les caractéristiques d'une grande capacité d'inspiration, de l'absence de particules et d'une faible température d'activation. Il peut être largement utilisé dans divers appareils MEMS tels que les capteurs infrarouges non refroidis et le micro gyroscope. Différents alliages getter sont disponibles pour différents processus d'encapsulation.

Caractéristiques de base et données générales

Structure

La structure typique du produit est un acier inoxydable d'une épaisseur de 50 microns comme support, et la surface est revêtue des deux côtés, avec une épaisseur de film d'environ 1,5 microns. La forme de la taille peut être personnalisée en fonction des besoins de l'utilisateur. Il peut également être déposé sous forme de films minces à la surface de la plaquette ou de diverses plaques de recouvrement métalliques et coques en céramique.

Capacité d'absorption

Une fois que le produit est activé dans un vide dynamique poussé inférieur à 1E-3Pa, il peut avoir la capacité d'aspirer et, après refroidissement à température ambiante, il a toujours la capacité d'adsorber divers gaz actifs. À mesure que la température d’activation augmente, la capacité inspiratoire augmente progressivement. Le produit est chauffé à la température d'activation optimale pendant 30 minutes et la capacité d'adsorption du CO après refroidissement est supérieure à 0,06 Pa · L/cm2. Lorsque la température d'activation dépasse la température d'activation optimale, la performance d'inhalation unique après refroidissement est atténuée.

Lorsque le produit est activé par chauffage sous vide poussé, les gaz actifs de l'environnement commencent à être absorbés pendant le processus de chauffage. Pour différents gaz, sa vitesse d'absorption et sa capacité sont différentes. À une certaine température et dans la plage de capacité d'absorption totale, le taux d'absorption initial est plus rapide, puis il deviendra de plus en plus lent ; Lorsque la température augmente à nouveau, le taux d'absorption augmente à nouveau puis diminue à nouveau. Après refroidissement, la capacité d'aspiration résiduelle du produit dépend du type de gaz actif qu'il absorbe et de la quantité d'inhalation.

Conditions d'activation recommandées

Pour de meilleures performances, une activation dans un vide dynamique poussé inférieur à 1E-3Pa est recommandée, et les conditions d'activation recommandées pour chaque matériau de film sont indiquées dans la liste suivante :

Matériau du film	Température et temps (℃×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Prudence

La courbe de température d'activation du courant de chauffage fournie dans les spécifications du produit est testée par le produit suspendu dans le vide, et le courant d'activation réel par rapport à la température dépend principalement de la perte de chaleur après que le produit soit soudé à l'intérieur de l'appareil. En raison de la conduction thermique de la position de soudage, la température de la pièce soudée est bien inférieure à la température de la partie médiane du produit.

Lors de l’activation, le getter libérera de l’hydrogène solidement soluble en interne. S'il y a de l'eau dans l'environnement, l'oxygène dans l'eau sera fixé par le getter et l'hydrogène élémentaire sera converti en hydrogène gazeux pour être libéré. Dans un espace confiné, après refroidissement, la capacité de cette partie de l'hydrogène à être complètement absorbée par le getter dépend du type et de la quantité de gaz qu'il absorbe lors de l'activation.

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Produit

Matériau getter zircon-graphène et procédé de préparation associé

Une petite chambre à vide facile à utiliser

Une structure de chauffage getter et un procédé de préparation très fiables

Un dispositif de stockage d'hydrogène à base de titane avec thermons

Technologie et développement

Système de test sous vide

Getter évaporable

Aucun Getter évaporable-1

Aucun getter évaporable

Getter poreux fritté

Absorbant d'eau série ZEP

Aucun Getter évaporable-2

Getters d'hydrogène série XQP

Pompes getter non évaporables (NEG)

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