Feartan agus Iarrtasan Is e film tana de titanium no zirconium alloy a th’ anns an toradh seo le microstructure làn-leasaichte a ghabhas a chuir an gnìomh thairis air raon teòthachd farsaing. Às deidh a ghnìomhachadh, faodaidh e gasaichean neo-chunbhalachd a ghabhail a-steach leithid haidridean, ceò uisge, carbon monoxide, carbon dà-ogsaid agus truailleadh eile ...
Tha an toradh seo na fhilm tana de titanium no zirconium alloy le microstructure làn-leasaichte a ghabhas a chuir an gnìomh thairis air raon teòthachd farsaing. Às deidh a ghnìomhachadh, faodaidh e gasaichean neo-chunbhalachd leithid haidridean, bhalbhaichean uisge, carbon monoxide, carbon dà-ogsaid agus gasaichean neo-chunbhalachd eile a bharrachd air gas inert san àrainneachd falamh a ghabhail a-steach, agus am falamh a leasachadh agus a chumail suas taobh a-staigh an inneil. Tha na feartan aige de chomas brosnachaidh mòr, gun ghràineanan, agus teòthachd gnìomh ìosal. Faodar a chleachdadh gu farsaing ann an grunn innealan MEMS leithid mothachairean fo-dhearg gun fhuarachadh agus Micro gyroscope. Tha diofar alloys getter rim faighinn airson diofar phròiseasan glacaidh.
Feartan bunaiteach agus dàta coitcheann
Structar
Is e structar àbhaisteach an toraidh stàilinn gun staoin le tiugh de 50 micron mar neach-giùlan, agus tha an uachdar còmhdaichte air gach taobh, le tiugh film timcheall air 1.5 micron. Faodar an cumadh meud a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-cleachdaidh. Faodar a thasgadh cuideachd ann an cruth filmichean tana air uachdar an wafer no diofar phlàighean còmhdach meatailt agus sligean ceirmeag.
Comas Sorption
Às deidh don toradh a bhith air a ghnìomhachadh ann am falamh àrd fiùghantach nas lugha na 1E-3Pa, faodaidh e a bhith comasach air suidse, agus às deidh fuarachadh gu teòthachd an t-seòmair, tha comas aige fhathast grunn ghasaichean gnìomhach a shanasachadh. Mar a bhios an teòthachd gnìomhachaidh ag àrdachadh, bidh an comas brosnachaidh ag àrdachadh mean air mhean. Tha an toradh air a theasachadh aig an teòthachd gnìomhachaidh as fheàrr airson 30min, agus tha an comas sùghaidh CO às deidh fuarachadh nas àirde na 0.06Pa · L / cm2 。 Nuair a tha an teòthachd gnìomhachaidh nas àirde na an teòthachd gnìomhachaidh as fheàrr, tha an coileanadh analachaidh singilte às deidh fuarachadh air a lughdachadh.
Nuair a thèid an toradh a chuir an gnìomh le bhith a ’teasachadh ann am falamh ìosal, bidh na gasaichean gnìomhach san àrainneachd a’ tòiseachadh air an gabhail a-steach tron phròiseas teasachaidh. Airson diofar ghasaichean, tha an astar agus an comas sùghaidh eadar-dhealaichte. Aig teòthachd sònraichte agus taobh a-staigh an raon de chomas in-ghabhail iomlan, tha an ìre sùghaidh tùsail nas luaithe, agus an uairsin bidh e nas slaodaiche agus nas slaodaiche; Nuair a thèid an teòthachd àrdachadh a-rithist, tha an ìre sùghaidh air àrdachadh a-rithist agus an uairsin air a lughdachadh a-rithist. Às deidh fuarachadh, bidh co-dhiù a bheil comas suidse fuigheall aig an toradh an urra ris an t-seòrsa gas gnìomhach a bhios e a ’gabhail a-steach agus an ìre de inhalation.
Suidheachaidhean gnìomhachaidh air am moladh
Airson an coileanadh as fheàrr, thathas a’ moladh gnìomhachd ann am falamh àrd fiùghantach nas lugha na 1E-3Pa, agus tha na cumhaichean gnìomhachaidh a thathar a’ moladh airson gach stuth film air an sealltainn anns an liosta a leanas:
Stuth film | Teòthachd agus Àm (℃ × min) |
TP | 450 × 30 |
TZC | 300 × 30 |
TZCF | 400 × 30 |
Rabhadh
Thathas a’ dèanamh deuchainn air an lùb teòthachd gnìomhachd sruthadh teasachaidh a tha air a thoirt seachad anns an t-Sònrachadh Bathar leis an toradh crochte ann am falamh, agus tha an fhìor shruth gnìomhachaidh vs teòthachd gu mòr an urra ri call teas às deidh don toradh a bhith air a sholarachadh taobh a-staigh an inneal. Mar thoradh air giùlan teas an t-suidheachaidh tàthaidh, tha teòthachd a ’phàirt tàthaichte mòran nas ìsle na teòthachd pàirt meadhanach an toraidh.
Rè gnìomhachadh, leigidh an neach-faighinn a-mach hydrogen a tha solubhail gu daingeann a-staigh. Ma tha uisge san àrainneachd, thèid an ocsaidean san uisge a shocrachadh leis an neach-faighinn, agus thèid an hydrogen eileamaideach a thionndadh gu gas hydrogen airson a leigeil ma sgaoil. Ann an àite cuibhrichte, às deidh fuarachadh, bidh co-dhiù an gabh am pàirt seo den hydrogen a ghabhail a-steach gu tur leis an neach-glacaidh an urra ris an t-seòrsa agus an ìre de ghas a bhios e a ’gabhail a-steach rè gnìomhachd.
Cuir a-steach do sheòladh puist-d agus freagraidh sinn am post-d agad.