Características e aplicacións Este produto é unha fina película de aliaxe de titanio ou circonio cunha microestrutura optimizada que se pode activar nun amplo intervalo de temperatura. Despois da activación, pode absorber gases impuros como hidróxeno, vapor de auga, monóxido de carbono, dióxido de carbono e outras impurezas...
Este produto é unha fina película de aliaxe de titanio ou circonio cunha microestrutura optimizada que se pode activar nun amplo rango de temperaturas. Despois da activación, pode absorber gases impurezas como hidróxeno, vapor de auga, monóxido de carbono, dióxido de carbono e outros gases impurezas distintos do gas inerte no ambiente ao baleiro e mellorar e manter o baleiro no interior do dispositivo. Ten as características de gran capacidade de inspiración, sen partículas e baixa temperatura de activación. Pódese usar amplamente en varios dispositivos MEMS, como sensores infravermellos sen arrefriar e Micro xiroscopio. Diferentes aliaxes de getter están dispoñibles para diferentes procesos de encapsulación.
Características básicas e datos xerais
Estrutura
A estrutura típica do produto é un aceiro inoxidable cun espesor de 50 micras como soporte, e a superficie está recuberta por ambos os dous lados, cun espesor de película de aproximadamente 1,5 micras. A forma do tamaño pódese personalizar segundo as necesidades do usuario. Tamén se pode depositar en forma de películas finas na superficie da oblea ou varias placas de cuberta metálicas e cunchas de cerámica.
Capacidade de absorción
Despois de que o produto se active nun alto baleiro dinámico de menos de 1E-3Pa, pode ter a capacidade de succión e, despois de arrefriar a temperatura ambiente, aínda ten a capacidade de absorber varios gases activos. A medida que aumenta a temperatura de activación, a capacidade inspiratoria aumenta gradualmente. O produto quéntase á temperatura de activación óptima durante 30 minutos e a capacidade de adsorción de CO despois do arrefriamento é superior a 0,06 Pa· L/cm2。 Cando a temperatura de activación supera a temperatura de activación óptima, o rendemento de inhalación única despois do arrefriamento é atenuado.
Cando o produto se activa quentando nun baleiro baixo, os gases activos do ambiente comezan a ser absorbidos durante o proceso de quecemento. Para diferentes gases, a súa velocidade e capacidade de absorción son diferentes. A unha determinada temperatura e dentro do intervalo da capacidade de absorción total, a taxa de absorción inicial é máis rápida e, a continuación, farase máis e máis lenta; Cando a temperatura se eleva de novo, a taxa de absorción aumenta de novo e despois volve atenuarse. Despois do arrefriamento, se o produto ten capacidade de succión residual depende do tipo de gas activo que absorbe e da cantidade de inhalación.
Condicións de activación recomendadas
Para un mellor rendemento, recoméndase a activación nun alto baleiro dinámico de menos de 1E-3Pa e as condicións de activación recomendadas para cada material de película móstranse na seguinte lista:
Material de película | Temperatura e tempo (℃ × min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Precaución
A curva de temperatura de activación da corrente de calefacción proporcionada na Especificación do produto é probada polo produto colgado ao baleiro, e a corrente de activación real fronte á temperatura depende principalmente da perda de calor despois de soldar o produto no interior do dispositivo. Debido á condución da calor da posición de soldadura, a temperatura da parte soldada é moito máis baixa que a temperatura da parte media do produto.
Durante a activación, o getter liberará hidróxeno sólidamente soluble internamente. Se hai auga no medio ambiente, o osíxeno da auga será fixado polo getter e o hidróxeno elemental converterase en gas hidróxeno para ser liberado. Nun espazo confinado, despois do arrefriamento, se esta parte do hidróxeno pode ser absorbida por completo polo getter depende do tipo e da cantidade de gas que absorbe durante a activación.
Introduce o teu enderezo de correo electrónico e responderemos o teu correo electrónico.