Yon aparèy depo idwojèn ki baze sou Titàn ak tèrmon 

Yon aparèy depo idwojèn ki baze sou Titàn ak aparèy chofaj

Résumé: Envansyon aktyèl la gen rapò ak yon aparèy depo idwojèn ki baze sou Titàn ak aparèy chofaj, ki gen ladan aparèy chofaj ak metal depo idwojèn; Aparèy chofaj yo konpoze de yon fil chofaj metal ak yon tib izolasyon seramik, tib izolasyon seramik la manch sou sifas fil elektrik chofaj metal la, epi metal idwojèn depo a sitiye sou sifas tib izolasyon seramik la.

Avantaj:

1) Senp estrikti, segondè determinasyon, ti gwosè, satisfè bezwen yo nan devlopman nan miniaturization ak planarization nan aparèy elektwonik ak bezwen depo idwojèn.

2) Avèk yon aparèy chofaj, kantite idwojèn absòbe ak egzeyate pa aparèy la ka ajiste avèk presizyon nan amann-akor aktyèl la.