Jellemzők és alkalmazások A NEG szivattyú egyfajta kemiszorpciós szivattyú, amelyet a magas szinterezéssel melegített NEG ötvözet után szereltek össze, és nagy mennyiségű maradék gázt eltávolíthat vákuum környezetben, elsősorban UHV teszteléshez vagy laboratóriumi berendezésekhez. Amikor be van kapcsolva, a NEG pumps co...
A NEG szivattyú egyfajta kemiszorpciós szivattyú, amelyet a nagy szinterezéssel felmelegített NEG ötvözet után szereltek össze, és nagy mennyiségű maradék gázt eltávolíthat vákuum környezetben, elsősorban UHV teszteléshez vagy laboratóriumi berendezésekhez. Ha aktiválva van, a NEG szivattyúk áram nélkül is működhetnek, rezgéstől és nem mágnesestől is. A NEG szivattyúk fénypontja, hogy rendkívül hatékony a hidrogén és más aktív gázok esetében, és soha nem csökkenne UHV alatt.
Alapvető jellemzők és általános adatok
Termék típusa | patron hossza (mm) | Getter súly (g) | Karima mérete | Aktiválási teljesítmény (W) | Aktiválási hőmérséklet (℃) | Újraaktiválások (szorpciós ciklusok) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
Termék típusa | Szivattyúzási sebesség (L/S) | Szorpciós kapacitás (Torr × L) | ||||||
H2 | H2O | N2 | CO | H2 | H2O | N2 | CO | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0,175 | 0,35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0,35 | 0.7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0.7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
Javasolt aktiválási feltételek
Javasoljuk, hogy a felhasználó állandó áramú tápegységet használjon a NEG-szivattyú feszültség alá helyezéséhez és aktiválásához. Javasolt aktiválási feltételek: Energikus aktiválás 450°C-on 45 percig, a rendszer vákuumfokának az aktiválás teljes folyamatában 0,01Pa-nál jobbnak kell lennie. Az idő megfelelő meghosszabbítása megkönnyíti a NEG-szivattyú teljes aktiválását. Ha a normál aktiválási hőmérsékletet nem lehet elérni, az aktiválási időt meg kell hosszabbítani a kompenzáció érdekében. Az aktiválási folyamat során biztosítani kell a vákuumkamra vákuumfokát, túl alacsony vákuum esetén a következő hibák léphetnek fel: fűtőporlasztás, szívóanyag szennyeződés, rendellenes aktiválási hőmérséklet és egyéb kedvezőtlen körülmények.
A NEG-szivattyú aktiválása során bizonyos mennyiségű gázt bocsát ki, hogy biztosítsa a vákuumszintet a NEG-szivattyú aktiválásakor. Javasoljuk, hogy a NEG szivattyút dinamikus vákuumban aktiválja, és az aktiválási folyamatot lassan és fokozatosan növelje 1,5 A-ről az előre meghatározott áramérték eléréséig, a gyors leeresztés és az elektromos paraméterek változása, amelyet a gyors változás okoz. kerülni kell a NEG szivattyú hőmérsékletét.
Vigyázat
Amikor aktiválva van és működik, a NEG szivattyúház és a karima magas hőmérsékletű, ügyeljen az égési sérülések elkerülésére.
Amikor a NEG szivattyú magas hőmérsékleten van, vákuumban kell lennie, hogy elkerülje a szennyeződésből és fogyasztásból eredő meghibásodásokat.
A tápegység csatlakoztatásakor ügyeljen arra, hogy a tápegység és a karimás elektróda közötti csatlakozás szilárd legyen, és ügyeljen a többi rész szigetelésére.
A fűtés bekapcsolása előtt ügyeljen arra, hogy a rendszer a követelményeknek megfelelő vákuumkörülmények között legyen.
Különleges körülmények között, annak érdekében, hogy a NEG szivattyú magas szivattyúzási sebességgel rendelkezzen C, N, O és egyéb gázok esetén, az üzemi hőmérséklet 200 °C ~ 250 °C tartományban tartható (2,5 A feszültség alatt). ebben az esetben csökken a NEG-szivattyú által elérhető maximális vákuumfok.
Kérjük, adja meg e-mail címét, és válaszolunk az e-mailre.