Fitur dan Aplikasi Produk ini adalah film tipis paduan titanium atau zirkonium dengan struktur mikro optimal yang dapat diaktifkan pada rentang suhu luas. Setelah aktivasi, ia dapat menyerap gas pengotor seperti hidrogen, uap air, karbon monoksida, karbon dioksida dan pengotor lainnya...
Produk ini merupakan film tipis paduan titanium atau zirkonium dengan struktur mikro optimal yang dapat diaktifkan pada rentang suhu luas. Setelah aktivasi, ia dapat menyerap gas pengotor seperti hidrogen, uap air, karbon monoksida, karbon dioksida, dan gas pengotor lainnya selain gas inert di lingkungan vakum, serta meningkatkan dan mempertahankan vakum di dalam perangkat. Ia memiliki karakteristik kapasitas inspirasi yang besar, tidak ada partikel, dan suhu aktivasi yang rendah. Ini dapat digunakan secara luas di berbagai perangkat MEMS seperti sensor inframerah tanpa pendingin dan giroskop mikro. Paduan pengambil yang berbeda tersedia untuk proses enkapsulasi yang berbeda.
Karakteristik Dasar dan Data Umum
Struktur
Struktur khas produk ini adalah baja tahan karat dengan ketebalan 50 mikron sebagai pembawa, dan permukaannya dilapisi pada kedua sisinya, dengan ketebalan film sekitar 1,5 mikron. Bentuk ukurannya dapat disesuaikan dengan kebutuhan pengguna. Dapat juga diendapkan dalam bentuk film tipis pada permukaan wafer atau berbagai pelat penutup logam dan cangkang keramik.
Kapasitas Penyerapan
Setelah produk diaktifkan dalam vakum tinggi dinamis kurang dari 1E-3Pa, produk tersebut memiliki kemampuan untuk menyedot, dan setelah didinginkan hingga suhu kamar, masih memiliki kemampuan untuk menyerap berbagai gas aktif. Ketika suhu aktivasi meningkat, kapasitas inspirasi meningkat secara bertahap. Produk dipanaskan pada suhu aktivasi optimal selama 30 menit, dan kapasitas adsorpsi CO setelah pendinginan lebih besar dari 0,06Pa· L/cm2。 Ketika suhu aktivasi melebihi suhu aktivasi optimal, kinerja inhalasi tunggal setelah pendinginan dilemahkan.
Ketika produk diaktifkan dengan pemanasan dalam ruang hampa rendah, gas aktif di lingkungan mulai diserap selama proses pemanasan. Untuk gas yang berbeda, kecepatan dan kapasitas penyerapannya berbeda-beda. Pada suhu tertentu dan dalam kisaran kapasitas penyerapan total, laju penyerapan awal semakin cepat, dan kemudian semakin lambat; Ketika suhu dinaikkan lagi, laju penyerapan dinaikkan lagi dan kemudian dilemahkan lagi. Setelah pendinginan, apakah produk memiliki kapasitas hisap sisa tergantung pada jenis gas aktif yang diserap dan jumlah yang dihirup.
Kondisi aktivasi yang disarankan
Untuk kinerja terbaik, disarankan untuk mengaktifkan dalam vakum tinggi dinamis kurang dari 1E-3Pa, dan kondisi aktivasi yang disarankan untuk setiap bahan film ditunjukkan dalam daftar berikut:
Bahan Film | Suhu dan Waktu (℃×menit) |
dll | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Peringatan
Kurva suhu aktivasi arus pemanasan yang disediakan dalam Spesifikasi Produk diuji oleh produk yang digantung dalam ruang hampa, dan arus aktivasi aktual vs. suhu terutama bergantung pada kehilangan panas setelah produk disolder di dalam perangkat. Karena konduksi panas pada posisi pengelasan, suhu bagian yang dilas jauh lebih rendah daripada suhu bagian tengah produk.
Selama aktivasi, pengambil akan melepaskan hidrogen yang larut secara internal. Jika terdapat air di lingkungan, maka oksigen dalam air akan diikat oleh pengambil, dan unsur hidrogen akan diubah menjadi gas hidrogen untuk dilepaskan. Dalam ruang terbatas, setelah pendinginan, apakah bagian hidrogen ini dapat diserap seluruhnya oleh pengambil bergantung pada jenis dan jumlah gas yang diserapnya selama aktivasi.
Silakan masukkan alamat email Anda dan kami akan membalas email Anda.