Njirimara na ngwa Ngwaahịa a bụ ihe nkiri dị mkpa nke titanium ma ọ bụ zirconium alloy nwere microstructure kachasị mma nke enwere ike ịgbalite n'ofe oke okpomọkụ. Mgbe arụ ọrụ ya gasịrị, ọ nwere ike ịmịkọrọ gas na-adịghị ọcha dị ka hydrogen, vapor water, carbon monoxide, carbon dioxide na ndị ọzọ adịghị ọcha ...
Ngwaahịa a bụ ihe nkiri dị mkpa nke titanium ma ọ bụ zirconium alloy nwere microstructure kachasị mma nke enwere ike ịgbalite karịa oke okpomọkụ. Mgbe emechara ya, ọ nwere ike ịmịkọrọ gas na-adịghị ọcha dị ka hydrogen, vapor mmiri, carbon monoxide, carbon dioxide na ikuku adịghị ọcha ndị ọzọ karịa gas inert na gburugburu oghere, ma melite ma na-echekwa oghere n'ime ngwaọrụ ahụ. Ọ nwere njiri mara nke nnukwu ike mmụọ nsọ, enweghị ahụ, yana obere ọkụ ọkụ ọkụ. Enwere ike iji ya mee ihe na ngwaọrụ MEMS dị iche iche dị ka sensọ infrared na-adịghị mma na Micro gyroscope. Alloys getter dị iche iche dị maka usoro encapsulation dị iche iche.
Njirimara ndị bụ isi na data izugbe
Nhazi
Ụdị ihe a na-ahụkarị nke ngwaahịa ahụ bụ igwe anaghị agba nchara nke nwere 50 microns dị ka onye na-ebu ya, na-ekpuchi elu ya n'akụkụ abụọ, nke ihe nkiri dị ihe dị ka 1.5 microns. Enwere ike ịhazi nha nha dịka mkpa onye ọrụ si dị. Enwere ike idobe ya n'ụdị ihe nkiri dị mkpa n'elu wafer ma ọ bụ ihe mkpuchi metal dị iche iche na shells seramiiki.
Ike nhazi
Mgbe emechara ngwaahịa ahụ n'ime oghere dị elu nke na-erughị 1E-3Pa, ọ nwere ike ịmị mkpụrụ, na mgbe ọ jụrụ n'ime ụlọ okpomọkụ, ọ ka nwere ikike ịgbanye gas dị iche iche na-arụ ọrụ. Ka okpomọkụ ịgbalite na-abawanye, ikike mkpali na-abawanye nke nta nke nta. A na-ekpo ọkụ ngwaahịa ahụ na okpomọkụ kachasị mma maka 30min, na ikike adsorption nke CO mgbe ọ dị jụụ dị ukwuu karịa 0.06Pa· L / cm2. Mgbe ọkụ ọkụ na-arụ ọrụ karịrị ọkụ ọkụ kachasị mma, a na-ebelata ọrụ inhalation otu mgbe ọ jụrụ oyi.
Mgbe ngwaahịa ahụ na-arụ ọrụ site na kpo oku na obere oghere, gas na-arụ ọrụ na gburugburu ebe obibi na-amalite ịmịnye ya n'oge usoro ikpo ọkụ. Maka gas dị iche iche, ọsọ na ike ya dị iche iche. N'otu ọnọdụ okpomọkụ na n'ime oke nke ike ịmịnye mkpokọta, ọnụọgụ mbụ nke mbụ na-adị ngwa ngwa, mgbe ahụ, ọ ga-adị nwayọọ na nwayọọ nwayọọ; Mgbe okpomoku ewelitere ọzọ, a na-abawanye ọnụego nnabata ọzọ wee belata ọzọ. Mgbe ọ jụrụ, ma ngwaahịa ahụ nwere ikike ịmịpụta ihe fọdụrụ na-adabere n'ụdị gas na-arụ ọrụ ọ na-amịkọrọ na ọnụọgụ iku ume.
Ọnọdụ nkwalite akwadoro
Maka ịrụ ọrụ kachasị mma, a na-atụ aro ịgbalite na oghere dị elu nke na-erughị 1E-3Pa, yana ọnọdụ ntinye akwadoro maka ihe nkiri ọ bụla gosipụtara na ndepụta ndị a:
Ihe nkiri | Okpomọkụ na oge (℃ × min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Ịkpachara anya
A na-anwale usoro ikpo ọkụ ọkụ ugbu a na-arụ ọrụ na-enye na nkọwapụta ngwaahịa site na ngwaahịa a na-agbanye n'ime oghere, na n'ezie mgbake ugbu a vs. okpomọkụ na-adabere karịsịa na ọnwụ okpomọkụ mgbe ngwaahịa na-eresị n'ime ngwaọrụ. N'ihi na-eduzi okpomọkụ nke ọnọdụ ịgbado ọkụ, okpomọkụ nke akụkụ welded dị ala karịa okpomọkụ nke etiti nke ngwaahịa.
N'oge a na-arụ ọrụ, onye na-eme ihe ga-ahapụ hydrogen na-agbaze n'ime ya. Ọ bụrụ na mmiri dị na gburugburu ebe obibi, ikuku oxygen dị na mmiri ga-edozi site na getter, na elemental hydrogen ga-agbanwe ghọọ hydrogen gas ka ewepụtara. N'ebe a kpachiri anya, mgbe ọ dị jụụ, ma akụkụ a nke hydrogen nwere ike ịbanye kpamkpam site na getter dabere na ụdị na ọnụọgụ gas ọ na-amịkọrọ n'oge arụ ọrụ.
Biko tinye adreesị ozi-e gị, anyị ga-aza email gị.