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Getter a film sottile

Caratteristiche e applicazioni Questo prodotto è un film sottile di lega di titanio o zirconio con microstruttura ottimizzata che può essere attivata in un ampio intervallo di temperature. Dopo l'attivazione, può assorbire impurità gassose come idrogeno, vapore acqueo, monossido di carbonio, anidride carbonica e altre impurità...

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Descrizione

Cartello

Caratteristiche e applicazioni

Questo prodotto è un film sottile di lega di titanio o zirconio con microstruttura ottimizzata che può essere attivato in un ampio intervallo di temperature. Dopo l'attivazione, può assorbire gas impuri come idrogeno, vapore acqueo, monossido di carbonio, anidride carbonica e altri gas impuri diversi dal gas inerte nell'ambiente sotto vuoto e migliorare e mantenere il vuoto all'interno del dispositivo. Ha le caratteristiche di grande capacità di inspirazione, assenza di particelle e bassa temperatura di attivazione. Può essere ampiamente utilizzato in vari dispositivi MEMS come sensori a infrarossi non raffreddati e micro giroscopio. Sono disponibili diverse leghe getter per diversi processi di incapsulamento.

Caratteristiche di base e dati generali

Struttura

La struttura tipica del prodotto è un acciaio inossidabile con uno spessore di 50 micron come supporto, e la superficie è rivestita su entrambi i lati, con uno spessore del film di circa 1,5 micron. La forma delle dimensioni può essere personalizzata in base alle esigenze dell'utente. Può anche essere depositato sotto forma di pellicole sottili sulla superficie del wafer o su varie piastre di copertura metalliche e gusci ceramici.

Capacità di assorbimento

Dopo che il prodotto è stato attivato in un alto vuoto dinamico inferiore a 1E-3Pa, può avere la capacità di aspirare e, dopo il raffreddamento a temperatura ambiente, ha ancora la capacità di adsorbire vari gas attivi. All’aumentare della temperatura di attivazione, la capacità inspiratoria aumenta gradualmente. Il prodotto viene riscaldato alla temperatura di attivazione ottimale per 30 minuti e la capacità di assorbimento di CO dopo il raffreddamento è superiore a 0,06 Pa· L/cm2. Quando la temperatura di attivazione supera la temperatura di attivazione ottimale, le prestazioni della singola inalazione dopo il raffreddamento vengono attenuate.

Quando il prodotto viene attivato mediante riscaldamento a basso vuoto, i gas attivi presenti nell'ambiente iniziano ad essere assorbiti durante il processo di riscaldamento. Per gas diversi, la velocità e la capacità di assorbimento sono diverse. Ad una certa temperatura e nell'ambito della capacità di assorbimento totale, il tasso di assorbimento iniziale è più veloce, quindi diventerà sempre più lento; Quando la temperatura viene nuovamente aumentata, la velocità di assorbimento viene nuovamente aumentata e quindi nuovamente attenuata. Dopo il raffreddamento, la capacità di aspirazione residua del prodotto dipende dal tipo di gas attivo che assorbe e dalla quantità di inalazione.

Condizioni di attivazione consigliate

Per prestazioni ottimali, si consiglia l'attivazione in un alto vuoto dinamico inferiore a 1E-3Pa e le condizioni di attivazione consigliate per ciascun materiale della pellicola sono mostrate nell'elenco seguente:

Materiale della pellicola	Temperatura e tempo (℃×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Attenzione

La curva della temperatura di attivazione della corrente di riscaldamento fornita nelle specifiche del prodotto viene testata con il prodotto sospeso nel vuoto e la corrente di attivazione effettiva rispetto alla temperatura dipende principalmente dalla perdita di calore dopo che il prodotto è stato saldato all'interno del dispositivo. A causa della conduzione del calore nella posizione di saldatura, la temperatura della parte saldata è molto inferiore alla temperatura della parte centrale del prodotto.

Durante l'attivazione, il getter rilascerà idrogeno solidamente solubile internamente. Se c'è acqua nell'ambiente, l'ossigeno nell'acqua verrà fissato dal getter e l'idrogeno elementare verrà convertito in gas idrogeno per essere rilasciato. In uno spazio ristretto, dopo il raffreddamento, se questa parte dell'idrogeno può essere completamente assorbita dal getter dipende dal tipo e dalla quantità di gas che assorbe durante l'attivazione.

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Prodotto

Prodotto

Materiale getter zirconio-grafene e relativo metodo di preparazione

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Tecnologia e sviluppo

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