מאפיינים ויישומים משאבת NEG היא מעין משאבת כימיספציה, אשר הורכבה לאחר סגסוגת NEG מחוממת על ידי סינטר גבוה, היא יכולה לחסל כמויות גדולות של גזים שיוריים בסביבת ואקום, המיושמת בעיקר לבדיקת UHV או ציוד מעבדה. כאשר זה מופעל משאבות NEG משתפות...
משאבת NEG היא מעין משאבת כימיספציה, אשר הורכבה לאחר סגסוגת NEG מחוממת על ידי סינטר גבוה, היא יכולה לחסל כמויות גדולות של גזים שיוריים בסביבת ואקום, המיושמת בעיקר לבדיקת UHV או ציוד מעבדה. כאשר הוא מופעל משאבות NEG יכולות לפעול ללא חשמל, גם ללא רטט ולא מגנטיות. גולת הכותרת של משאבות NEG היא יעילה במיוחד למימן וגזים פעילים אחרים, ולעולם לא תפחית תחת ה-UHV.
מאפיינים בסיסיים ונתונים כלליים
סוג מוצר | אורך מחסנית (מ"מ) | גטר משקל (ג) | גודל אוגן | כוח הפעלה (W) | טמפרטורת הפעלה (℃) | הפעלה מחדש (מחזורי ספיגה) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
סוג מוצר | מהירות שאיבה (L/S) | קיבולת ספיגה (Torr × L) | ||||||
H2 | H2O | N2 | מְשׁוּתָף | H2 | H2O | N2 | מְשׁוּתָף | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0.175 | 0.35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0.35 | 0.7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0.7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
תנאי הפעלה מומלצים
מומלץ שהמשתמש ישתמש באספקת זרם קבועה כדי להמריץ ולהפעיל את משאבת NEG. תנאי הפעלה מומלצים: הפעלה ממריצה ב-450°C למשך 45 דקות, דרגת הוואקום של המערכת בכל תהליך ההפעלה צריכה להיות טובה מ-0.01Pa. הארכה נכונה של הזמן תקל על הפעלה מלאה של משאבת NEG. אם לא ניתן להגיע לטמפרטורת ההפעלה הסטנדרטית, יש להאריך את זמן ההפעלה כדי לפצות. יש צורך להבטיח את מידת הוואקום של תא הוואקום במהלך תהליך ההפעלה, אם הוואקום נמוך מדי, הפגמים הבאים עלולים להתרחש: התזת תנור, זיהום חומרי יניקה, טמפרטורת הפעלה חריגה ותנאים שליליים אחרים.
משאבת NEG משחררת כמות מסוימת של גזים במהלך ההפעלה, על מנת להבטיח את מידת הוואקום במהלך הפעלת משאבת ה-NEG. אנו ממליצים להפעיל את משאבת ה-NEG תחת ואקום דינמי, ולהגדיל את תהליך ההפעלה לאט ובהדרגה מ-1.5A עד הגעה לערך הזרם שנקבע מראש, הירידה המהירה והשינוי בפרמטרים החשמליים הנגרמים מהשינוי המהיר של ה-NEG. יש להימנע מהטמפרטורה של משאבת NEG.
זְהִירוּת
בעת הפעלה ועבודה, המעטפת והאוגן של משאבת NEG בטמפרטורה גבוהה, שימו לב למניעת כוויות.
כאשר משאבת NEG נמצאת בטמפרטורה גבוהה, עליה להיות בתנאי ואקום כדי למנוע תקלות עקב זיהום וצריכה.
בעת חיבור ספק הכוח, ודא שהחיבור בין ספק הכוח לאלקטרודת האוגן יציב, ושם לב לבידוד עם חלקים אחרים.
לפני הפעלת החימום, שימו לב לוודא שהמערכת נמצאת בתנאי ואקום העומדים בדרישות.
בנסיבות מיוחדות, על מנת לגרום למשאבת NEG להיות בעלת מהירות שאיבה גבוהה עבור C, N, O וגזים אחרים, ניתן לשמור על טמפרטורת העבודה בטווח של 200°C ~ 250°C (מופעלת 2.5A), ב במקרה זה, מידת הוואקום האולטימטיבית שמשאבת NEG יכולה להשיג מצטמצמת.
אנא הכנס את כתובת הדוא"ל שלך ואנו נענה למייל שלך.