מוּצָר





משפרי סרטים דקים

מאפיינים ויישומים מוצר זה הוא סרט דק של טיטניום או סגסוגת זירקוניום עם מבנה מיקרו אופטימלי שניתן להפעיל בטווח טמפרטורות רחב. לאחר ההפעלה, הוא יכול לספוג גזי זיהומים כגון מימן, אדי מים, פחמן חד חמצני, פחמן דו חמצני וזיהומים אחרים...

להגיש בקשה

  

תֵאוּר

סִימָן

תכונות ויישומים

מוצר זה הוא סרט דק של טיטניום או סגסוגת זירקוניום עם מבנה מיקרו אופטימלי שניתן להפעיל בטווח טמפרטורות רחב. לאחר ההפעלה, הוא יכול לספוג גזי זיהומים כגון מימן, אדי מים, פחמן חד חמצני, פחמן דו חמצני וגזי זיהומים אחרים מלבד גז אינרטי בסביבת הוואקום, ולשפר ולשמור על הוואקום בתוך המכשיר. יש לו את המאפיינים של יכולת השראה גדולה, ללא חלקיקים וטמפרטורת הפעלה נמוכה. זה יכול להיות בשימוש נרחב בהתקני MEMS שונים כגון חיישני אינפרא אדום לא מקוררים ומיקרו גירוסקופ. סגסוגות גטר שונות זמינות עבור תהליכי אנקפסולציה שונים.

מאפיינים בסיסיים ונתונים כלליים

מִבְנֶה

המבנה האופייני למוצר הוא נירוסטה בעובי של 50 מיקרון כמנשא, והמשטח מצופה משני הצדדים, בעובי שכבה של כ-1.5 מיקרון. ניתן להתאים את צורת הגודל בהתאם לצרכי המשתמש. זה יכול גם להיות מופקד בצורה של סרטים דקים על פני השטח של רקיק או לוחות כיסוי מתכת שונים וקונכיות קרמיקה.

כושר ספיגה

לאחר הפעלת המוצר בוואקום גבוה דינמי של פחות מ-1E-3Pa, יכולה להיות לו יכולת יניקה, ולאחר קירור לטמפרטורת החדר, עדיין יש לו יכולת לספוח גזים פעילים שונים. ככל שטמפרטורת ההפעלה עולה, יכולת ההשראה עולה בהדרגה. המוצר מחומם בטמפרטורת ההפעלה האופטימלית למשך 30 דקות, ויכולת הספיגה של CO לאחר הקירור גדולה מ-0.06Pa· L/cm2。 כאשר טמפרטורת ההפעלה עולה על טמפרטורת ההפעלה האופטימלית, ביצועי השאיפה הבודדים לאחר הקירור מוחלשים.

כאשר המוצר מופעל בחימום בוואקום נמוך, הגזים הפעילים בסביבה מתחילים להיספג בתהליך החימום. עבור גזים שונים, מהירות הספיגה והיכולת שלו שונים. בטמפרטורה מסוימת ובטווח של כושר הספיגה הכולל, קצב הספיגה הראשוני מהיר יותר, ואז הוא יהפוך לאט יותר ויותר; כאשר הטמפרטורה עולה שוב, קצב הספיגה מוגבר שוב ואז מוחלש שוב. לאחר הקירור, האם יש למוצר כושר שאיבה שיורי תלוי בסוג הגז הפעיל שהוא סופג ובכמות השאיפה.

תנאי הפעלה מומלצים

לביצועים הטובים ביותר, מומלצת הפעלה בוואקום גבוה דינמי של פחות מ-1E-3Pa, ותנאי ההפעלה המומלצים עבור כל חומר סרט מוצגים ברשימה הבאה:

חומר סרט	טמפרטורה וזמן (℃×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

זְהִירוּת

עקומת טמפרטורת הפעלת זרם החימום המופיעה במפרט המוצר נבדקת על ידי המוצר תלוי בוואקום, וזרם ההפעלה בפועל לעומת הטמפרטורה תלוי בעיקר באובדן החום לאחר הלחמת המוצר בתוך המכשיר. בשל הולכת החום של עמדת הריתוך, הטמפרטורה של החלק המרותך נמוכה בהרבה מהטמפרטורה של החלק האמצעי של המוצר.

במהלך ההפעלה, הגטר ישחרר מימן מסיס מוצק פנימי. אם יש מים בסביבה, החמצן במים יתקבע על ידי הגטר, והמימן היסודי יומר לגז מימן שישוחרר. בחלל סגור, לאחר הקירור, האם חלק זה של המימן יכול להיספג לחלוטין על ידי הגטר תלוי בסוג ובכמות הגז שהוא סופג במהלך ההפעלה.

קוֹדֵם הַבָּא

מוּצָר

מוּצָר

חומר גטר זירקון-גרפן ושיטת הכנתו

תא ואקום קטן וקל לשימוש

מבנה מחמם גטר אמין ביותר ושיטת הכנה

מכשיר אחסון מימן על בסיס טיטניום עם תרמונים

טכנולוגיה ופיתוח

None Evaporable Getter-2

סופג מים מסדרת ZEP

None Vaporable Getter

גטר מתאדה

מגטי מימן מסדרת XQP

גטר נקבובי מסונט

מערכת בדיקת ואקום

None Evaporable Getter-1

משאבות ללא אידוי (NEG).

משפרי סרטים דקים

תֵאוּר

סִימָן

תכונות ויישומים

פנה אלינו

מוצרים פופולריים קשורים

מערכת בדיקת ואקום

None Evaporable Getter-2

מגטי מימן מסדרת XQP

גטר מתאדה

משאבות ללא אידוי (NEG).

None Vaporable Getter

None Evaporable Getter-1

גטר נקבובי מסונט

סופג מים מסדרת ZEP

אנא השאר לנו הודעה.