非蒸発性ゲッター (NEG) ポンプ
特徴と用途 NEGポンプは化学吸着ポンプの一種で、高焼結によってNEG合金を加熱した後に組み立てられ、真空環境で大量の残留ガスを除去でき、主にUHV試験や実験室装置に適用されます。 NEGポンプが作動すると...
説明
サイン
特長と用途
NEGポンプは一種の化学吸着ポンプであり、高焼結によってNEG合金を加熱した後に組み立てられ、真空環境で大量の残留ガスを除去することができ、主にUHV試験や実験室装置に適用されます。作動すると、NEG ポンプは電力なしで動作し、振動や非磁性も発生しません。 NEG ポンプのハイライトは、水素やその他の活性ガスに対して非常に効果的であり、UHV の下でも減少することはありません。
基本特性と一般データ
| 製品タイプ | カートリッジの長さ (mm) | ゲッター重量 (g) | フランジサイズ | 活性化電力(W) | 活性化温度(℃) | 再活性化 (収着サイクル) |
| NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
| 製品タイプ | 排気速度(L/S) | 吸着容量(Torr×L) | ||||||
| H2 | H2O | N2 | CO | H2 | H2O | N2 | CO | |
| NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0.175 | 0.35 |
| NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0.35 | 0.7 |
| NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920年 | 20 | 0.7 | 1.4 |
| NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
| NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
| NP-TMKZ-2000 | 2000年 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
推奨発動条件
NEG ポンプに電力を供給して作動させるには、定電流電源を使用することをお勧めします。推奨活性化条件：450℃で45分間の通電活性化。活性化プロセス全体におけるシステムの真空度は0.01Pa以上である必要があります。時間を適切に延長すると、NEG ポンプの完全な活性化が促進されます。標準の活性化温度に到達できない場合は、それを補うために活性化時間を延長する必要があります。活性化プロセス中に真空チャンバーの真空度を確保する必要があります。真空度が低すぎると、次の欠陥が発生する可能性があります：ヒーターのスパッタリング、吸引材料の汚染、異常な活性化温度、その他の悪条件。
NEG ポンプは、NEG ポンプの作動中に真空度を確保するために、作動中に一定量のガスを放出します。 NEG ポンプは動的真空下で作動させる必要があり、作動プロセスは、所定の電流値に達するまで 1.5A からゆっくりと徐々に増加させる必要があり、急速な収縮と電気的パラメータの変化は、ポンプの急速な変化によって引き起こされます。 NEG ポンプの温度は避けてください。
注意
作動中、NEG ポンプのケーシングとフランジは高温になりますので、火傷に注意してください。
NEG ポンプが高温の場合、汚染や消耗による故障を避けるために真空状態にする必要があります。
電源を接続する際は、電源とフランジ電極との接続が確実に行われるようにし、他の部品との絶縁にも注意してください。
加熱を開始する前に、システムが要件を満たす真空条件にあることを確認するように注意してください。
特殊な状況下では、NEG ポンプに C、N、O、その他のガスの排気速度を速くするために、動作温度を 200 °C ～ 250 °C (通電 2.5A) の範囲に維持できます。この場合、NEG ポンプが達成できる到達真空度が低下します。
お問い合わせ
関連人気商品
メッセージを残してください。
メールアドレスを入力してください。メールに返信させていただきます。
- English
- French
- German
- Portuguese
- Spanish
- Russian
- Japanese
- Korean
- Arabic
- Irish
- Greek
- Turkish
- Italian
- Danish
- Romanian
- Indonesian
- Czech
- Afrikaans
- Swedish
- Polish
- Basque
- Catalan
- Esperanto
- Hindi
- Lao
- Albanian
- Amharic
- Armenian
- Azerbaijani
- Belarusian
- Bengali
- Bosnian
- Bulgarian
- Cebuano
- Chichewa
- Corsican
- Croatian
- Dutch
- Estonian
- Filipino
- Finnish
- Frisian
- Galician
- Georgian
- Gujarati
- Haitian
- Hausa
- Hawaiian
- Hebrew
- Hmong
- Hungarian
- Icelandic
- Igbo
- Javanese
- Kannada
- Kazakh
- Khmer
- Kurdish
- Kyrgyz
- Latin
- Latvian
- Lithuanian
- Luxembou..
- Macedonian
- Malagasy
- Malay
- Malayalam
- Maltese
- Maori
- Marathi
- Mongolian
- Burmese
- Nepali
- Norwegian
- Pashto
- Persian
- Punjabi
- Serbian
- Sesotho
- Sinhala
- Slovak
- Slovenian
- Somali
- Samoan
- Scots Gaelic
- Shona
- Sindhi
- Sundanese
- Swahili
- Tajik
- Tamil
- Telugu
- Thai
- Ukrainian
- Urdu
- Uzbek
- Vietnamese
- Welsh
- Xhosa
- Yiddish
- Yoruba
- Zulu
- Kinyarwanda
- Tatar
- Oriya
- Turkmen
- Uyghur