Мүмкіндіктер мен қолданбалар Бұл өнім - кең температура диапазонында белсендіруге болатын оңтайландырылған микроқұрылымы бар титан немесе цирконий қорытпасының жұқа қабықшасы. Іске қосылғаннан кейін ол сутегі, су буы, көміртегі тотығы, көмірқышқыл газы және басқа қоспалар сияқты қоспа газдарын сіңіре алады ...
Бұл өнім - кең температура диапазонында белсендіруге болатын оңтайландырылған микроқұрылымы бар титан немесе цирконий қорытпасының жұқа қабықшасы. Іске қосылғаннан кейін ол сутегі, су буы, көміртегі тотығы, көмірқышқыл газы және вакуумдық ортадағы инертті газдан басқа басқа қоспа газдары сияқты қоспа газдарын сіңіріп, құрылғының ішіндегі вакуумды жақсарта және сақтай алады. Оның үлкен дем алу қабілеті, бөлшектері жоқ және белсендіру температурасының төмен сипаттамалары бар. Оны салқындатылмаған инфрақызыл сенсорлар және микро гироскоп сияқты әртүрлі MEMS құрылғыларында кеңінен қолдануға болады. Әр түрлі инкапсуляция процестері үшін әртүрлі алушы қорытпалар бар.
Негізгі сипаттамалар және жалпы деректер
Құрылымы
Өнімнің типтік құрылымы тасымалдаушы ретінде қалыңдығы 50 мкм тот баспайтын болат болып табылады, ал беті екі жағынан қапталған, пленка қалыңдығы шамамен 1,5 мкм. Өлшем пішінін пайдаланушы қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады. Ол сондай-ақ пластинаның бетіне немесе әртүрлі металл жабын пластиналарына және керамикалық қабықшаларға жұқа қабықшалар түрінде тұндырылуы мүмкін.
Сорбциялық сыйымдылық
Өнім 1Е-3Па төмен динамикалық жоғары вакуумда белсендірілгеннен кейін ол сору мүмкіндігіне ие болуы мүмкін, ал бөлме температурасына дейін салқындағаннан кейін ол әртүрлі белсенді газдарды сіңіру мүмкіндігіне ие болады. Белсендіру температурасы жоғарылаған сайын тыныс алу мүмкіндігі бірте-бірте артады. Өнім оңтайлы белсендіру температурасында 30 минут бойы қызады және салқындағаннан кейін СО-ның адсорбциялық сыйымдылығы 0,06Па· L/cm2。 Белсендіру температурасы оңтайлы белсендіру температурасынан асқанда, салқындағаннан кейін бір рет ингаляциялық өнімділік әлсірейді.
Өнімді төмен вакуумда қыздыру арқылы белсендірілген кезде, қыздыру процесінде қоршаған ортадағы белсенді газдар жұтыла бастайды. Әртүрлі газдар үшін оның сіңіру жылдамдығы мен сыйымдылығы әртүрлі. Белгілі бір температурада және жалпы сіңіру қабілетінің шегінде бастапқы сіңіру жылдамдығы жылдамырақ болады, содан кейін ол баяу және баяу болады; Температура қайтадан көтерілгенде, сіңіру жылдамдығы қайтадан жоғарылайды, содан кейін қайтадан әлсірейді. Салқындағаннан кейін өнімнің қалдық сору қабілеті бар-жоғы ол сіңіретін белсенді газ түріне және ингаляция мөлшеріне байланысты.
Ұсынылатын белсендіру шарттары
Ең жақсы өнімділік үшін 1E-3Pa төмен динамикалық жоғары вакуумда белсендіру ұсынылады және әрбір пленка материалы үшін ұсынылған белсендіру шарттары келесі тізімде көрсетілген:
Фильм материалы | Температура және уақыт (℃×мин) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Абайлаңыз
Өнімнің спецификациясында берілген қыздыру тогы-белсендіру температурасының қисығы вакуумда ілулі тұрған өнім арқылы сыналады және нақты белсендіру тогы мен температураның айырмашылығы негізінен өнім құрылғының ішінде дәнекерленгеннен кейінгі жылу жоғалуына байланысты. Дәнекерлеу орнының жылу өткізгіштігінің арқасында дәнекерленген бөліктің температурасы өнімнің ортаңғы бөлігінің температурасынан әлдеқайда төмен.
Белсендіру кезінде гетер ішкі қатты еритін сутегін шығарады. Қоршаған ортада су болса, судағы оттегі гетер арқылы бекітіледі, ал элементар сутегі сутегі газына айналады, ол шығарылады. Шектеулі кеңістікте салқындағаннан кейін сутегінің бұл бөлігін гетер толығымен сіңіре ала ма, ол белсендіру кезінде сіңіретін газдың түрі мен мөлшеріне байланысты.
Электрондық пошта мекенжайыңызды енгізіңіз, біз сіздің электрондық поштаңызға жауап береміз.