លក្ខណៈពិសេស និងកម្មវិធី ផលិតផលនេះគឺជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃលោហធាតុទីតានីញ៉ូម ឬហ្សីកញ៉ូម ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរ ដែលអាចដំណើរការបានក្នុងជួរសីតុណ្ហភាពដ៏ធំទូលាយមួយ។ បន្ទាប់ពីការធ្វើឱ្យសកម្ម វាអាចស្រូបយកឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ ដូចជាអ៊ីដ្រូសែន ចំហាយទឹក កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត កាបូនឌីអុកស៊ីត និង impuri ផ្សេងទៀត ...
ផលិតផលនេះគឺជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម ឬ zirconium ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធ microstructure ដែលត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្ម ដែលអាចដំណើរការបាននៅលើជួរសីតុណ្ហភាពដ៏ធំទូលាយមួយ។ បន្ទាប់ពីការធ្វើឱ្យសកម្ម វាអាចស្រូបយកឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធដូចជា អ៊ីដ្រូសែន ចំហាយទឹក កាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត កាបូនឌីអុកស៊ីត និងឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធផ្សេងទៀត ក្រៅពីឧស្ម័នអសកម្មនៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ ហើយកែលម្អ និងរក្សាសុញ្ញកាសនៅក្នុងឧបករណ៍។ វាមានលក្ខណៈនៃសមត្ថភាពបំផុសគំនិតធំ គ្មានភាគល្អិត និងសីតុណ្ហភាពសកម្មទាប។ វាអាចត្រូវបានប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍ MEMS ជាច្រើនដូចជាឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដដែលមិនត្រជាក់ និងមីក្រូ gyroscope ។ យ៉ាន់ស្ព័រ getter ផ្សេងគ្នាអាចរកបានសម្រាប់ដំណើរការ encapsulation ផ្សេងគ្នា។
លក្ខណៈមូលដ្ឋាន និងទិន្នន័យទូទៅ
រចនាសម្ព័ន្ធ
រចនាសម្ព័នធម្មតានៃផលិតផលគឺដែកអ៊ីណុកដែលមានកម្រាស់ 50 microns ជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ហើយផ្ទៃត្រូវបានស្រោបទាំងសងខាង ជាមួយនឹងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តប្រហែល 1.5 មីក្រូ។ រូបរាងទំហំអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការរបស់អ្នកប្រើ។ វាក៏អាចត្រូវបានដាក់នៅក្នុងទម្រង់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើផ្ទៃនៃ wafer ឬចានគម្របដែកផ្សេងគ្នានិងសែលសេរ៉ាមិច។
សមត្ថភាព sorption
បន្ទាប់ពីផលិតផលត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មនៅក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ថាមវន្តតិចជាង 1E-3Pa វាអាចមានសមត្ថភាពបឺត ហើយបន្ទាប់ពីត្រជាក់ដល់សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ វានៅតែមានសមត្ថភាពក្នុងការស្រូបយកឧស្ម័នសកម្មផ្សេងៗ។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសកម្មកើនឡើង សមត្ថភាពបំផុសគំនិតកើនឡើងជាលំដាប់។ ផលិតផលត្រូវបានកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពសកម្មល្អបំផុតសម្រាប់រយៈពេល 30 នាទី ហើយសមត្ថភាពស្រូបយក CO បន្ទាប់ពីត្រជាក់គឺធំជាង 0.06Pa · L/cm2 ។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសកម្មលើសពីសីតុណ្ហភាពនៃការធ្វើឱ្យសកម្មល្អបំផុត ប្រសិទ្ធភាពនៃការស្រូបចូលតែមួយបន្ទាប់ពីការត្រជាក់ត្រូវបានកាត់បន្ថយ។
នៅពេលដែលផលិតផលត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មដោយកំដៅក្នុងកន្លែងទំនេរទាប ឧស្ម័នសកម្មនៅក្នុងបរិស្ថានចាប់ផ្តើមត្រូវបានស្រូបយកកំឡុងពេលដំណើរការកំដៅ។ សម្រាប់ឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នា ល្បឿនស្រូបយក និងសមត្ថភាពរបស់វាខុសគ្នា។ នៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ និងនៅក្នុងជួរនៃសមត្ថភាពស្រូបយកសរុប អត្រាស្រូបយកដំបូងគឺលឿនជាងមុន ហើយបន្ទាប់មកវានឹងកាន់តែយឺត និងយឺតជាងមុន។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពត្រូវបានកើនឡើងម្តងទៀត អត្រាស្រូបយកត្រូវបានកើនឡើងម្តងទៀត ហើយបន្ទាប់មកបន្ថយម្តងទៀត។ បន្ទាប់ពីត្រជាក់ តើផលិតផលមានសមត្ថភាពបឺតសំណល់អាស្រ័យលើប្រភេទឧស្ម័នសកម្មដែលវាស្រូប និងបរិមាណនៃការស្រូបចូល។
លក្ខខណ្ឌនៃការធ្វើឱ្យសកម្មដែលបានណែនាំ
សម្រាប់ដំណើរការល្អបំផុត ការធ្វើឱ្យសកម្មនៅក្នុងភាពទំនេរខ្ពស់ថាមវន្តតិចជាង 1E-3Pa ត្រូវបានណែនាំ ហើយលក្ខខណ្ឌនៃការធ្វើឱ្យសកម្មដែលបានណែនាំសម្រាប់សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តនីមួយៗត្រូវបានបង្ហាញក្នុងបញ្ជីខាងក្រោម៖
សម្ភារៈភាពយន្ត | សីតុណ្ហភាព និងពេលវេលា (℃ × នាទី) |
TP | ៤៥០ × ៣០ |
TZC | ៣០០ × ៣០ |
TZCF | ៤០០ × ៣០ |
ការប្រុងប្រយ័ត្ន
ខ្សែកោងសីតុណ្ហភាពនៃការធ្វើឱ្យសកម្មនៃចរន្តកំដៅដែលមាននៅក្នុងផលិតផលបញ្ជាក់ត្រូវបានសាកល្បងដោយផលិតផលដែលព្យួរនៅក្នុងកន្លែងទំនេរ ហើយចរន្តនៃការធ្វើឱ្យសកម្មពិតប្រាកដធៀបនឹងសីតុណ្ហភាពអាស្រ័យជាចម្បងលើការបាត់បង់កំដៅបន្ទាប់ពីផលិតផលត្រូវបាន solder នៅខាងក្នុងឧបករណ៍។ ដោយសារតែកំដៅនៃទីតាំងផ្សារដែកសីតុណ្ហភាពនៃផ្នែក welded គឺទាបជាងសីតុណ្ហភាពនៃផ្នែកកណ្តាលនៃផលិតផល។
កំឡុងពេលធ្វើឱ្យសកម្ម អ្នកទទួលនឹងបញ្ចេញអ៊ីដ្រូសែនដែលរលាយក្នុងខ្លួន។ ប្រសិនបើមានទឹកនៅក្នុងបរិស្ថាន អុកស៊ីសែននៅក្នុងទឹកនឹងត្រូវបានជួសជុលដោយអ្នកទទួល ហើយអ៊ីដ្រូសែនធាតុនឹងត្រូវបានបំលែងទៅជាឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនដែលត្រូវបញ្ចេញ។ នៅក្នុងកន្លែងបង្ខាំងមួយ បន្ទាប់ពីត្រជាក់ ថាតើផ្នែកនៃអ៊ីដ្រូសែននេះអាចត្រូវបានស្រូបយកទាំងស្រុងដោយអ្នកទទួល អាស្រ័យលើប្រភេទ និងបរិមាណឧស្ម័នដែលវាស្រូបក្នុងអំឡុងពេលធ្វើឱ្យសកម្ម។
សូមបញ្ចូលអាសយដ្ឋានអ៊ីមែលរបស់អ្នក ហើយយើងនឹងឆ្លើយតបទៅអ៊ីមែលរបស់អ្នក។