2024-11-13
작고 사용하기 쉬운 진공 챔버
개요: 실용신안은 사용이 편리한 소형 진공챔버에 관한 것으로 그 구조는 KF 진공플랜지, 코바르관, 유리관으로 구성되어 있다. 그 중 KF 진공 플랜지는 Kovar 튜브로 밀봉 및 용접되고 Kovar 튜브의 다른 쪽 끝은 반밀폐형 유리관으로 납땜됩니다.
장점:
1) 가스 누출률이 작고, 고진공도 달성이 용이하다.
2) 진공 챔버는 투명하여 내부 상황을 관찰하는 데 편리하며 내부 장치의 고주파 가열, 광학 온도 측정 등을 실현할 수 있습니다.
3) 구조가 간단하고 설치가 용이하다.
4) 소모품은 내구성이 뛰어나고 가격이 저렴합니다.
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