지르콘-그래핀 게터 소재 및 그 제조방법 

지르콘-그래핀 게터 재료 및 그 제조방법:

본 발명은 지르코늄 그래핀 게터 소재 및 그 제조방법에 관한 것으로, 합금성분의 질량%는 지르코늄 40%~90%, 그래핀 10%~60%로 지르코늄 분말 또는 지르코늄하이드라이드 분말을 사용하며, 그래핀 단일층, 소수층 또는 다층 그래핀이고; 두 재료의 분말은 기계적으로 합금되거나 분말 야금술에 의해 진공 소결되어 지르코늄 그래핀 게터 재료를 형성합니다.

장점:

1) 게터 재료로 사용되며, 게터 재료의 새로운 범주를 확장하고, 미세한 흡수 표면적이 크고 내부 미세 구조가 복잡하며, 게터링 성능이 우수합니다.

2) 진공 전자 부품 및 부품 생산시 잔류 가스를 흡수하는 능력이 우수합니다.