비증발성 게터(NEG) 펌프
특징 및 용도 NEG 펌프는 NEG 합금을 고소결로 가열한 후 조립한 일종의 화학흡착 펌프로, 주로 UHV 테스트 또는 실험실 장비에 적용되는 진공 환경에서 다량의 잔류 가스를 제거할 수 있습니다. NEG 펌프가 활성화되면 ...
설명
징후
특징 및 응용
NEG 펌프는 NEG 합금을 고소결로 가열한 후 조립한 일종의 화학흡착 펌프로, 주로 UHV 테스트 또는 실험실 장비에 적용되는 진공 환경에서 다량의 잔류 가스를 제거할 수 있습니다. 활성화되면 NEG 펌프는 진동 및 비자성 없이 전원 없이 작동할 수 있습니다. NEG 펌프의 하이라이트는 수소 및 기타 활성 가스에 매우 효과적이며 UHV에서는 결코 감소하지 않습니다.
기본 특성 및 일반 데이터
| 제품 유형 | 카트리지 길이(mm) | 게터 중량(g) | 플랜지 크기 | 활성화 전력(W) | 활성화 온도(℃) | 재활성화(흡착 주기) |
| NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-1000 | 142 | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
| NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
| 제품 유형 | 펌핑 속도(L/S) | 흡착 용량(Torr×L) | ||||||
| H2 | H2O | N2 | 콜로라도 | H2 | H2O | N2 | 콜로라도 | |
| NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0.175 | 0.35 |
| NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0.35 | 0.7 |
| NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920년 | 20 | 0.7 | 1.4 |
| NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
| NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
| NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
권장 활성화 조건
사용자는 정전류 전원 공급 장치를 사용하여 NEG 펌프에 전원을 공급하고 활성화하는 것이 좋습니다. 권장 활성화 조건: 450°C에서 45분간 활성화 활성화할 때 전체 활성화 과정에서 시스템의 진공도는 0.01Pa 이상이어야 합니다. 시간을 적절하게 연장하면 NEG 펌프의 전체 활성화가 촉진됩니다. 표준 활성화 온도에 도달할 수 없는 경우 보상을 위해 활성화 시간을 연장해야 합니다. 활성화 과정에서 진공 챔버의 진공도를 보장해야 합니다. 진공도가 너무 낮으면 히터 스퍼터링, 흡입 재료 오염, 비정상적인 활성화 온도 및 기타 불리한 조건과 같은 결함이 발생할 수 있습니다.
NEG 펌프는 NEG 펌프 활성화 중 진공도를 보장하기 위해 활성화 중에 일정량의 가스를 방출합니다. NEG 펌프는 동적 진공 상태에서 활성화해야 하며 활성화 프로세스는 미리 결정된 전류 값에 도달할 때까지 1.5A에서 천천히 점진적으로 증가해야 하며, 급격한 수축 및 급격한 변화로 인한 전기 매개변수의 변화가 발생해야 합니다. NEG 펌프의 온도를 피해야 합니다.
주의
활성화되어 작동할 때 NEG 펌프 케이싱과 플랜지는 고온이므로 화상을 입지 않도록 주의하십시오.
NEG 펌프가 고온에 있을 때 오염 및 소비로 인한 고장을 방지하려면 진공 상태에 있어야 합니다.
전원 연결 시 전원과 플랜지 전극의 연결이 견고한지 확인하고 다른 부품과의 절연에도 주의하세요.
가열 활성화 전에 시스템이 요구 사항을 충족하는 진공 조건에 있는지 확인하십시오.
특별한 상황에서 NEG 펌프가 C, N, O 및 기타 가스에 대해 높은 펌핑 속도를 가지도록 하기 위해 작동 온도는 200°C ~ 250°C(2.5A 에너지 공급) 범위에서 유지될 수 있습니다. 이 경우 NEG 펌프가 달성할 수 있는 최대 진공도가 감소합니다.
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