박막 게터
특징 및 용도 이 제품은 넓은 온도 범위에서 활성화될 수 있는 최적화된 미세 구조를 가진 티타늄 또는 지르코늄 합금의 얇은 필름입니다. 활성화 후에는 수소, 수증기, 일산화탄소, 이산화탄소 및 기타 불순물과 같은 불순물 가스를 흡수할 수 있습니다.
설명
징후
특징 및 응용
이 제품은 넓은 온도 범위에서 활성화될 수 있는 최적화된 미세 구조를 가진 티타늄 또는 지르코늄 합금의 얇은 필름입니다. 활성화 후 진공 환경에서 불활성 가스 이외의 수소, 수증기, 일산화탄소, 이산화탄소 및 기타 불순물 가스와 같은 불순물 가스를 흡수하여 장치 내부의 진공을 향상 및 유지할 수 있습니다. 흡기 용량이 크고 입자가 없으며 활성화 온도가 낮은 특성을 가지고 있습니다. 비냉각식 적외선 센서, 마이크로 자이로스코프 등 다양한 MEMS 디바이스에 폭넓게 활용될 수 있습니다. 다양한 캡슐화 공정에 다양한 게터 합금을 사용할 수 있습니다.
기본 특성 및 일반 데이터
구조
제품의 대표적인 구조는 두께 50미크론의 스테인레스 스틸을 캐리어로 하고, 표면은 양면 코팅되어 있으며, 필름두께는 약 1.5미크론 정도이다. 크기 모양은 사용자 요구에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 표면이나 각종 금속 커버 플레이트, 세라믹 쉘에 얇은 필름 형태로 증착할 수도 있습니다.
흡착 용량
제품이 1E-3Pa 미만의 동적 고진공에서 활성화된 후에도 흡입 능력을 가질 수 있으며, 실온으로 냉각한 후에도 여전히 다양한 활성 가스를 흡착하는 능력을 갖습니다. 활성화 온도가 증가함에 따라 흡기 용량이 점차 증가합니다. 제품을 최적 활성화 온도에서 30분 동안 가열하며 냉각 후 CO 흡착 용량은 0.06Pa·L/cm2보다 큽니다. 활성화 온도가 최적 활성화 온도를 초과하면 냉각 후 단일 흡입 성능이 약화됩니다.
낮은 진공 상태에서 가열하여 제품을 활성화하면 가열 과정에서 환경의 활성 가스가 흡수되기 시작합니다. 가스에 따라 흡수 속도와 용량이 다릅니다. 특정 온도 및 총 흡수 용량 범위 내에서 초기 흡수 속도는 더 빠르다가 점점 느려집니다. 온도가 다시 올라가면 흡수율은 다시 증가했다가 다시 감소합니다. 냉각 후, 제품에 잔류흡입능력이 있는지 여부는 흡수하는 활성가스의 종류와 흡입량에 따라 달라집니다.
권장 활성화 조건
최상의 성능을 위해서는 1E-3Pa 미만의 동적 고진공에서의 활성화가 권장되며 각 필름 재료에 권장되는 활성화 조건은 다음 목록에 나와 있습니다.
| 필름 소재 | 온도 및 시간(℃×min) |
| TP | 450×30 |
| TZC | 300×30 |
| TZCF | 400×30 |
주의
제품 사양에 제공된 가열 전류-활성화 온도 곡선은 진공에 매달린 제품을 통해 테스트되었으며 실제 활성화 전류 대 온도는 주로 제품이 장치 내부에 납땜된 후 열 손실에 따라 달라집니다. 용접 위치의 열전도로 인해 용접 부분의 온도는 제품 중간 부분의 온도보다 훨씬 낮습니다.
활성화하는 동안 게터는 내부적으로 고체 용해성 수소를 방출합니다. 환경에 물이 있으면 물 속의 산소는 게터에 의해 고정되고 원소 수소는 수소 가스로 변환되어 방출됩니다. 제한된 공간에서 냉각 후 수소의 이 부분이 게터에 의해 완전히 흡수될 수 있는지 여부는 활성화 중에 흡수하는 가스의 유형과 양에 따라 달라집니다.
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