ຄຸນສົມບັດແລະການໃຊ້ງານ NEG pump ແມ່ນປະເພດຂອງ chemisorption pump, ເຊິ່ງປະກອບຫຼັງຈາກໂລຫະປະສົມ NEG ຄວາມຮ້ອນໂດຍການ sintering ສູງ, ມັນສາມາດກໍາຈັດຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງອາຍແກັສທີ່ຕົກຄ້າງຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການທົດສອບ UHV ຫຼືອຸປະກອນຫ້ອງທົດລອງ. ເມື່ອມັນຖືກເປີດໃຊ້ NEG pumps co...
ປັ໊ມ NEG ແມ່ນປະເພດຂອງເຄື່ອງດູດສານເຄມີ, ເຊິ່ງປະກອບຫຼັງຈາກໂລຫະປະສົມ NEG ຄວາມຮ້ອນໂດຍການ sintering ສູງ, ມັນສາມາດກໍາຈັດອາຍແກັສທີ່ຕົກຄ້າງຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການທົດສອບ UHV ຫຼືອຸປະກອນຫ້ອງທົດລອງ. ເມື່ອມັນຖືກເປີດໃຊ້ NEG ປັ໊ມສາມາດເຮັດວຽກໂດຍບໍ່ມີພະລັງງານ, ຍັງບໍ່ມີ vibration ແລະບໍ່ມີແມ່ເຫຼັກ. ຈຸດເດັ່ນຂອງປັ໊ມ NEG ມັນມີປະສິດທິພາບທີ່ສຸດສໍາລັບ Hydrogen ແລະທາດອາຍແກັສທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວອື່ນໆ, ແລະບໍ່ເຄີຍຫຼຸດລົງພາຍໃຕ້ UHV.
ລັກສະນະພື້ນຖານ ແລະຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ
ປະເພດຜະລິດຕະພັນ | ຄວາມຍາວຂອງ cartridge (mm) | ນ້ຳໜັກຕົວ (g) | ຂະຫນາດຫນ້າແປນ | ພະລັງງານການເປີດໃຊ້ງານ (W) | ອຸນຫະພູມການເປີດໃຊ້ງານ (℃) | ການເປີດໃຊ້ຄືນໃຫມ່ (ຮອບວຽນການແຍກຕົວ) |
NP-TMKZ-100 | 62 | 18 | CF35 | 25 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-200 | 88 | 35 | CF35 | 45 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-400 | 135 | 70 | CF35 | 85 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1000 | ໑໔໒ | 180 | CF63 | 220 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-1600 | 145 | 420 | CF100/CF150 | 450 | 450 | ≥100 |
NP-TMKZ-2000 | 195 | 630 | CF100/CF150 | 680 | 450 | ≥100 |
ປະເພດຜະລິດຕະພັນ | ຄວາມໄວການສູບ (L/S) | ຄວາມອາດສາມາດຂອງການຈັດລຽງ (Torr × L) | ||||||
H2 | H2O | N2 | CO | H2 | H2O | N2 | CO | |
NP-TMKZ-100 | 100 | 75 | 25 | 45 | 600 | 5 | 0.175 | 0.35 |
NP-TMKZ-200 | 200 | 145 | 45 | 90 | 1160 | 10 | 0.35 | 0.7 |
NP-TMKZ-400 | 400 | 290 | 95 | 180 | 1920 | 20 | 0.7 | 1.4 |
NP-TMKZ-1000 | 800 | 580 | 185 | 360 | 5600 | 50 | 1.7 | 3.5 |
NP-TMKZ-1600 | 1600 | 1160 | 370 | 720 | 11520 | 120 | 4 | 8 |
NP-TMKZ-2000 | 2000 | 1450 | 450 | 900 | 17280 | 180 | 6 | 12 |
ເງື່ອນໄຂການເປີດໃຊ້ທີ່ແນະນໍາ
ແນະນໍາໃຫ້ຜູ້ໃຊ້ໃຊ້ການສະຫນອງພະລັງງານໃນປະຈຸບັນຄົງທີ່ເພື່ອ energize ແລະເປີດໃຊ້ NEG Pump. ເງື່ອນໄຂການເປີດໃຊ້ງານທີ່ແນະນຳ: ການກະຕຸ້ນການກະຕຸ້ນທີ່ອຸນຫະພູມ 450 ອົງສາ C ເປັນເວລາ 45 ນາທີ, ລະດັບສູນຍາກາດຂອງລະບົບໃນຂະບວນການເປີດໃຊ້ທັງໝົດຄວນຈະດີກວ່າ 0.01Pa. ການຂະຫຍາຍເວລາທີ່ເຫມາະສົມຈະຊ່ວຍໃຫ້ການເປີດໃຊ້ NEG Pump ຢ່າງເຕັມທີ່. ຖ້າອຸນຫະພູມການເປີດໃຊ້ງານມາດຕະຖານບໍ່ສາມາດບັນລຸໄດ້, ເວລາເປີດໃຊ້ງານຕ້ອງຖືກຂະຫຍາຍອອກໄປເພື່ອຊົດເຊີຍ. ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນລະດັບສູນຍາກາດຂອງຫ້ອງສູນຍາກາດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການກະຕຸ້ນ, ຖ້າສູນຍາກາດຕ່ໍາເກີນໄປ, ຂໍ້ບົກພ່ອງດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ອາດຈະເກີດຂຶ້ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ sputtering, ມົນລະພິດອຸປະກອນການດູດ, ອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນຜິດປົກກະຕິແລະເງື່ອນໄຂທາງລົບອື່ນໆ.
NEG Pump ປ່ອຍອາຍແກັສຈໍານວນທີ່ແນ່ນອນໃນລະຫວ່າງການເປີດໃຊ້, ເພື່ອຮັບປະກັນລະດັບສູນຍາກາດໃນລະຫວ່າງການເປີດໃຊ້ NEG Pump. ພວກເຮົາແນະນໍາວ່າ NEG Pump ຄວນໄດ້ຮັບການກະຕຸ້ນພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດແບບເຄື່ອນໄຫວ, ແລະຂະບວນການກະຕຸ້ນຄວນຈະຊ້າໆແລະຄ່ອຍໆເພີ່ມຂຶ້ນຈາກ 1.5A ຈົນກ່ວາການກໍານົດຄ່າປະຈຸບັນທີ່ຖືກກໍານົດໄວ້, ການຂາດດຸນຢ່າງໄວວາແລະການປ່ຽນແປງຂອງຕົວກໍານົດການໄຟຟ້າທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງຢ່າງໄວວາຂອງ. ອຸນຫະພູມຂອງ NEG Pump ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຫຼີກເວັ້ນ.
ຂໍ້ຄວນລະວັງ
ເມື່ອເປີດໃຊ້ແລະເຮັດວຽກ, NEG Pump casing ແລະ flange ມີອຸນຫະພູມສູງ, ເອົາໃຈໃສ່ເພື່ອປ້ອງກັນການບາດແຜ.
ເມື່ອ NEG Pump ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ມັນຕ້ອງຢູ່ໃນສະພາບສູນຍາກາດເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການລົ້ມເຫລວເນື່ອງຈາກການປົນເປື້ອນແລະການບໍລິໂພກ.
ໃນເວລາທີ່ເຊື່ອມຕໍ່ການສະຫນອງພະລັງງານ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າການເຊື່ອມຕໍ່ລະຫວ່າງການສະຫນອງພະລັງງານແລະ flange electrode ແມ່ນແຫນ້ນ, ແລະເອົາໃຈໃສ່ກັບ insulation ກັບພາກສ່ວນອື່ນໆ.
ກ່ອນທີ່ຈະກະຕຸ້ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ຈົ່ງເອົາໃຈໃສ່ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າລະບົບດັ່ງກ່າວຢູ່ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການ.
ພາຍໃຕ້ສະຖານະການພິເສດ, ເພື່ອເຮັດໃຫ້ NEG Pump ມີຄວາມໄວການສູບສູງສໍາລັບ C, N, O ແລະອາຍແກັສອື່ນໆ, ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກສາມາດໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ໃນລະດັບຂອງ 200 ° C ~ 250 ° C (energized 2.5A), ໃນ. ກໍລະນີນີ້ລະດັບສູນຍາກາດສູງສຸດທີ່ NEG Pump ສາມາດບັນລຸໄດ້ຫຼຸດລົງ.
ກະລຸນາໃສ່ທີ່ຢູ່ອີເມວຂອງທ່ານແລະພວກເຮົາຈະຕອບກັບອີເມວຂອງທ່ານ.