ຜະລິດຕະພັນ





ໄດ້ຮັບຮູບເງົາບາງໆ

ຄຸນສົມບັດ ແລະການນຳໃຊ້ ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນແຜ່ນບາງໆຂອງໂລຫະປະສົມ titanium ຫຼື zirconium ທີ່ມີໂຄງສ້າງຈຸລະພາກທີ່ເໝາະສົມທີ່ສາມາດເປີດໃຊ້ໄດ້ໃນໄລຍະອຸນຫະພູມທີ່ກ້ວາງຂວາງ. ຫຼັງຈາກການກະຕຸ້ນ, ມັນສາມາດດູດຊຶມອາຍແກັສ impurity ເຊັ່ນ: hydrogen, ອາຍຂອງນ້ໍາ, ກາກບອນ monoxide, ກາກບອນ dioxide ແລະ impuri ອື່ນໆ ...

ສົ່ງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

  

ລາຍລະອຽດ

ເຊັນ

ຄຸນນະສົມບັດແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

ຜະລິດຕະພັນນີ້ແມ່ນຮູບເງົາບາງໆຂອງໂລຫະປະສົມ titanium ຫຼື zirconium ທີ່ມີໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສາມາດເປີດໃຊ້ໄດ້ໃນໄລຍະອຸນຫະພູມກ້ວາງ. ຫຼັງຈາກການເປີດໃຊ້ງານ, ມັນສາມາດດູດຊຶມອາຍແກັສ impurity ເຊັ່ນ hydrogen, vapor ນ້ໍາ, carbon monoxide, carbon dioxide ແລະອາຍແກັສ impurity ອື່ນໆນອກຈາກອາຍແກັສ inert ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ແລະປັບປຸງແລະຮັກສາສູນຍາກາດພາຍໃນອຸປະກອນ. ມັນມີລັກສະນະຂອງຄວາມສາມາດດົນໃຈຂະຫນາດໃຫຍ່, ບໍ່ມີເຂົ້າ, ແລະອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນຕ່ໍາ. ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນ MEMS ຕ່າງໆເຊັ່ນເຊັນເຊີ infrared uncooled ແລະ Micro gyroscope. ໂລຫະປະສົມ getter ທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບຂະບວນການ encapsulation ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

ລັກສະນະພື້ນຖານ ແລະຂໍ້ມູນທົ່ວໄປ

ໂຄງສ້າງ

ໂຄງສ້າງປົກກະຕິຂອງຜະລິດຕະພັນແມ່ນເຫຼັກສະແຕນເລດທີ່ມີຄວາມຫນາ 50 ໄມຄອນເປັນຕົວນໍາ, ແລະຫນ້າດິນແມ່ນເຄືອບທັງສອງດ້ານ, ມີຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາປະມານ 1.5 ໄມຄອນ. ຮູບຮ່າງຂະຫນາດສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຜູ້ໃຊ້. ມັນຍັງສາມາດຖືກຝາກໄວ້ໃນຮູບແບບຂອງຮູບເງົາບາງໆຢູ່ດ້ານຂອງ wafer ຫຼືແຜ່ນປົກຫຸ້ມຂອງໂລຫະຕ່າງໆແລະແກະເຊລາມິກ.

ຄວາມອາດສາມາດ sorption

ຫຼັງຈາກຜະລິດຕະພັນຖືກເປີດໃຊ້ໃນສູນຍາກາດສູງແບບເຄື່ອນໄຫວຂອງຫນ້ອຍກວ່າ 1E-3Pa, ມັນສາມາດມີຄວາມສາມາດໃນການດູດຊືມ, ແລະຫຼັງຈາກຄວາມເຢັນກັບອຸນຫະພູມຫ້ອງ, ມັນຍັງມີຄວາມສາມາດໃນການດູດຊຶມທາດອາຍຜິດຕ່າງໆ. ເມື່ອອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນເພີ່ມຂຶ້ນ, ຄວາມສາມາດໃນການດົນໃຈເພີ່ມຂຶ້ນເທື່ອລະກ້າວ. ຜະລິດຕະພັນໄດ້ຮັບຄວາມຮ້ອນໃນອຸນຫະພູມກະຕຸ້ນທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບ 30 ນາທີ, ແລະຄວາມອາດສາມາດດູດຊຶມຂອງ CO ຫຼັງຈາກການເຮັດຄວາມເຢັນແມ່ນຫຼາຍກ່ວາ 0.06Pa · L / cm2. ເມື່ອອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນເກີນອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນທີ່ດີທີ່ສຸດ, ການປະຕິບັດການສູດດົມດຽວຫຼັງຈາກຄວາມເຢັນຈະຫຼຸດລົງ.

ໃນເວລາທີ່ຜະລິດຕະພັນໄດ້ຖືກກະຕຸ້ນໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສູນຍາກາດຕ່ໍາ, ທາດອາຍຜິດທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວໃນສະພາບແວດລ້ອມເລີ່ມຕົ້ນໄດ້ຮັບການດູດຊຶມໃນລະຫວ່າງຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ. ສໍາລັບທາດອາຍຜິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ຄວາມໄວການດູດຊຶມແລະຄວາມອາດສາມາດຂອງມັນແຕກຕ່າງກັນ. ໃນອຸນຫະພູມສະເພາະໃດຫນຶ່ງແລະພາຍໃນຂອບເຂດຂອງຄວາມສາມາດໃນການດູດຊຶມທັງຫມົດ, ອັດຕາການດູດຊຶມເບື້ອງຕົ້ນແມ່ນໄວ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນມັນຈະກາຍເປັນຊ້າແລະຊ້າລົງ; ເມື່ອອຸນຫະພູມສູງຂຶ້ນອີກເທື່ອຫນຶ່ງ, ອັດຕາການດູດຊຶມແມ່ນເພີ່ມຂຶ້ນອີກເທື່ອຫນຶ່ງແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຫຼຸດລົງອີກເທື່ອຫນຶ່ງ. ຫຼັງຈາກຄວາມເຢັນ, ຜະລິດຕະພັນມີຄວາມອາດສາມາດດູດຊຶມທີ່ຕົກຄ້າງແມ່ນຂຶ້ນກັບປະເພດຂອງອາຍແກັສທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມັນດູດຊຶມແລະປະລິມານຂອງການຫາຍໃຈ.

ເງື່ອນໄຂການເປີດໃຊ້ທີ່ແນະນໍາ

ສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ດີທີ່ສຸດ, ການກະຕຸ້ນຢູ່ໃນສູນຍາກາດສູງແບບເຄື່ອນໄຫວຫນ້ອຍກວ່າ 1E-3Pa ແມ່ນແນະນໍາ, ແລະເງື່ອນໄຂການເປີດໃຊ້ງານທີ່ແນະນໍາສໍາລັບແຕ່ລະວັດສະດຸຮູບເງົາແມ່ນສະແດງຢູ່ໃນລາຍການຕໍ່ໄປນີ້:

ວັດສະດຸຮູບເງົາ	ອຸນຫະພູມ ແລະເວລາ (℃×ນາທີ)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

ຂໍ້ຄວນລະວັງ

ເສັ້ນໂຄ້ງອຸນຫະພູມການກະຕຸ້ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນປັດຈຸບັນທີ່ສະໜອງໃຫ້ຢູ່ໃນຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນແມ່ນຖືກທົດສອບໂດຍຜະລິດຕະພັນທີ່ຫ້ອຍຢູ່ໃນສູນຍາກາດ, ແລະປັດຈຸບັນການເປີດໃຊ້ງານຕົວຈິງທຽບກັບອຸນຫະພູມແມ່ນຂຶ້ນກັບການສູນເສຍຄວາມຮ້ອນສ່ວນໃຫຍ່ຫຼັງຈາກຜະລິດຕະພັນຖືກ soldered ພາຍໃນອຸປະກອນ. ເນື່ອງຈາກການດໍາເນີນການຄວາມຮ້ອນຂອງຕໍາແຫນ່ງການເຊື່ອມໂລຫະ, ອຸນຫະພູມຂອງສ່ວນເຊື່ອມແມ່ນຕ່ໍາກວ່າອຸນຫະພູມຂອງສ່ວນກາງຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ໃນລະຫວ່າງການກະຕຸ້ນ, getter ຈະປ່ອຍ hydrogen ທີ່ລະລາຍແຂງພາຍໃນ. ຖ້າມີນ້ໍາໃນສະພາບແວດລ້ອມ, ອົກຊີເຈນໃນນ້ໍາຈະຖືກແກ້ໄຂໂດຍ getter, ແລະ hydrogen ອົງປະກອບຈະຖືກປ່ຽນເປັນອາຍແກັສ hydrogen ທີ່ຈະປ່ອຍອອກມາ. ໃນພື້ນທີ່ຈໍາກັດ, ຫຼັງຈາກຄວາມເຢັນ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນສ່ວນຂອງ hydrogen ສາມາດຖືກດູດຊຶມຢ່າງສົມບູນໂດຍ getter ແມ່ນຂຶ້ນກັບປະເພດແລະປະລິມານຂອງອາຍແກັສທີ່ມັນດູດຊຶມໃນລະຫວ່າງການກະຕຸ້ນ.

ທີ່ຜ່ານມາ ຕໍ່ໄປ

ຜະລິດຕະພັນ

ຜະລິດຕະພັນ

Zircon-graphene getter ວັດສະດຸແລະວິທີການກະກຽມຂອງມັນ

ຫ້ອງສູນຍາກາດຂະຫນາດນ້ອຍ, ງ່າຍຕໍ່ການນໍາໃຊ້

ໂຄງສ້າງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ getter ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສູງແລະວິທີການກະກຽມ

ອຸປະກອນເກັບຮັກສາໄຮໂດເຈນທີ່ອີງໃສ່ titanium ກັບ thermons

ເຕັກໂນໂລຊີ ແລະການພັດທະນາ

Getter evaporable

ບໍ່ມີ Evaporable Getter-2

ບໍ່ມີ Evaporable Getter-1

ບໍ່ມີ evaporable Getter

ລະບົບການທົດສອບສູນຍາກາດ

ZEP Series ເຄື່ອງດູດນ້ໍາ

ເຄື່ອງສູບນ້ຳບໍ່ລະລາຍ Getter (NEG).

XQP Series Hydrogen Getters

Sintered Porous Getter

ໄດ້ຮັບຮູບເງົາບາງໆ

ລາຍລະອຽດ

ເຊັນ

ຄຸນນະສົມບັດແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ

ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ

ຜະລິດຕະພັນຍອດນິຍົມທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ

Sintered Porous Getter

ບໍ່ມີ evaporable Getter

ລະບົບການທົດສອບສູນຍາກາດ

XQP Series Hydrogen Getters

ZEP Series ເຄື່ອງດູດນ້ໍາ

Getter evaporable

ບໍ່ມີ Evaporable Getter-1

ບໍ່ມີ Evaporable Getter-2

ເຄື່ອງສູບນ້ຳບໍ່ລະລາຍ Getter (NEG).

ກະລຸນາຝາກຂໍ້ຄວາມໃຫ້ພວກເຮົາ.