സവിശേഷതകളും ആപ്ലിക്കേഷനുകളും ഈ ഉൽപ്പന്നം ടൈറ്റാനിയം അല്ലെങ്കിൽ സിർക്കോണിയം അലോയ്, ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ ഉള്ള ഒരു നേർത്ത ഫിലിം ആണ്, അത് വിശാലമായ താപനില പരിധിയിൽ സജീവമാക്കാം. സജീവമാക്കിയ ശേഷം, ഇതിന് ഹൈഡ്രജൻ, ജല നീരാവി, കാർബൺ മോണോക്സൈഡ്, കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ്, മറ്റ് മാലിന്യങ്ങൾ തുടങ്ങിയ മാലിന്യ വാതകങ്ങളെ ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയും.
ഈ ഉൽപ്പന്നം ടൈറ്റാനിയം അല്ലെങ്കിൽ സിർക്കോണിയം അലോയ്, ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്ത മൈക്രോസ്ട്രക്ചർ ഉള്ള ഒരു നേർത്ത ഫിലിം ആണ്, അത് വിശാലമായ താപനില പരിധിയിൽ സജീവമാക്കാം. സജീവമാക്കിയ ശേഷം, ഇതിന് ഹൈഡ്രജൻ, ജല നീരാവി, കാർബൺ മോണോക്സൈഡ്, കാർബൺ ഡൈ ഓക്സൈഡ്, വാക്വം പരിതസ്ഥിതിയിൽ നിഷ്ക്രിയ വാതകം ഒഴികെയുള്ള മറ്റ് അശുദ്ധ വാതകങ്ങൾ എന്നിവ ആഗിരണം ചെയ്യാനും ഉപകരണത്തിനുള്ളിലെ വാക്വം മെച്ചപ്പെടുത്താനും പരിപാലിക്കാനും കഴിയും. വലിയ പ്രചോദന ശേഷി, കണികകൾ ഇല്ല, കുറഞ്ഞ ആക്ടിവേഷൻ താപനില എന്നിവയുടെ സവിശേഷതകൾ ഇതിന് ഉണ്ട്. തണുപ്പിക്കാത്ത ഇൻഫ്രാറെഡ് സെൻസറുകൾ, മൈക്രോ ഗൈറോസ്കോപ്പ് തുടങ്ങിയ വിവിധ MEMS ഉപകരണങ്ങളിൽ ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കാനാകും. വ്യത്യസ്ത എൻക്യാപ്സുലേഷൻ പ്രക്രിയകൾക്കായി വ്യത്യസ്ത ഗെറ്റർ അലോയ്കൾ ലഭ്യമാണ്.
അടിസ്ഥാന സ്വഭാവങ്ങളും പൊതു ഡാറ്റയും
ഘടന
ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ സാധാരണ ഘടന 50 മൈക്രോൺ കട്ടിയുള്ള ഒരു സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ ആണ്, കൂടാതെ ഉപരിതലം ഇരുവശത്തും പൂശുന്നു, ഏകദേശം 1.5 മൈക്രോൺ ഫിലിം കനം. ഉപയോക്തൃ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് വലുപ്പത്തിൻ്റെ ആകൃതി ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കാം. വേഫറിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിലോ വിവിധ ലോഹ കവർ പ്ലേറ്റുകളുടെയും സെറാമിക് ഷെല്ലുകളുടെയും ഉപരിതലത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകളുടെ രൂപത്തിലും ഇത് നിക്ഷേപിക്കാം.
സോർപ്ഷൻ കപ്പാസിറ്റി
1E-3Pa-യിൽ താഴെയുള്ള ഡൈനാമിക് ഉയർന്ന വാക്വമിൽ ഉൽപ്പന്നം സജീവമാക്കിയതിനുശേഷം, അതിന് സക്ഷൻ ചെയ്യാനുള്ള കഴിവുണ്ടാകും, കൂടാതെ ഊഷ്മാവിൽ തണുപ്പിച്ചതിന് ശേഷവും, വിവിധ സജീവ വാതകങ്ങളെ ആഗിരണം ചെയ്യാനുള്ള കഴിവുണ്ട്. സജീവമാക്കൽ താപനില വർദ്ധിക്കുന്നതിനനുസരിച്ച്, ശ്വാസോച്ഛ്വാസം ക്രമേണ വർദ്ധിക്കുന്നു. ഉൽപന്നം 30മിനിറ്റ് ഒപ്റ്റിമൽ ആക്ടിവേഷൻ താപനിലയിൽ ചൂടാക്കപ്പെടുന്നു, തണുപ്പിച്ചതിന് ശേഷമുള്ള CO യുടെ അഡോർപ്ഷൻ കപ്പാസിറ്റി 0.06Pa· L/cm2. നേക്കാൾ കൂടുതലാണ്
കുറഞ്ഞ ശൂന്യതയിൽ ചൂടാക്കി ഉൽപ്പന്നം സജീവമാക്കുമ്പോൾ, ചൂടാക്കൽ പ്രക്രിയയിൽ പരിസ്ഥിതിയിലെ സജീവ വാതകങ്ങൾ ആഗിരണം ചെയ്യാൻ തുടങ്ങുന്നു. വ്യത്യസ്ത വാതകങ്ങൾക്ക്, അതിൻ്റെ ആഗിരണം വേഗതയും ശേഷിയും വ്യത്യസ്തമാണ്. ഒരു നിശ്ചിത ഊഷ്മാവിൽ, മൊത്തം ആഗിരണം ശേഷിയുടെ പരിധിക്കുള്ളിൽ, പ്രാരംഭ ആഗിരണ നിരക്ക് വേഗത്തിലാണ്, തുടർന്ന് അത് സാവധാനത്തിലും സാവധാനത്തിലും മാറും; ഊഷ്മാവ് വീണ്ടും ഉയർത്തുമ്പോൾ, ആഗിരണനിരക്ക് വീണ്ടും വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും വീണ്ടും ദുർബലമാവുകയും ചെയ്യുന്നു. തണുപ്പിച്ച ശേഷം, ഉൽപ്പന്നത്തിന് ശേഷിക്കുന്ന സക്ഷൻ ശേഷി ഉണ്ടോ എന്നത് അത് ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന സജീവ വാതകത്തിൻ്റെ തരത്തെയും ശ്വസനത്തിൻ്റെ അളവിനെയും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.
ശുപാർശ ചെയ്യുന്ന സജീവമാക്കൽ വ്യവസ്ഥകൾ
മികച്ച പ്രകടനത്തിന്, 1E-3Pa-യിൽ താഴെയുള്ള ഡൈനാമിക് ഹൈ വാക്വമിൽ സജീവമാക്കുന്നത് ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ ഓരോ ഫിലിം മെറ്റീരിയലിനും ശുപാർശ ചെയ്യുന്ന സജീവമാക്കൽ വ്യവസ്ഥകൾ ഇനിപ്പറയുന്ന പട്ടികയിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു:
ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ | താപനിലയും സമയവും(℃×മിനിറ്റ്) |
ടി.പി | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
ജാഗ്രത
ഉൽപ്പന്ന സ്പെസിഫിക്കേഷനിൽ നൽകിയിരിക്കുന്ന ഹീറ്റിംഗ് കറൻ്റ്-ആക്ടിവേഷൻ ടെമ്പറേച്ചർ കർവ് ഒരു ശൂന്യതയിൽ തൂങ്ങിക്കിടക്കുന്ന ഉൽപ്പന്നം പരീക്ഷിക്കുന്നു, കൂടാതെ യഥാർത്ഥ ആക്റ്റിവേഷൻ കറൻ്റ് വെസ. താപനില പ്രധാനമായും ഉൽപ്പന്നം ഉപകരണത്തിനുള്ളിൽ ലയിപ്പിച്ചതിന് ശേഷമുള്ള താപനഷ്ടത്തെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു. വെൽഡിംഗ് സ്ഥാനത്തിൻ്റെ താപ ചാലകത കാരണം, വെൽഡിഡ് ഭാഗത്തിൻ്റെ താപനില ഉൽപ്പന്നത്തിൻ്റെ മധ്യഭാഗത്തെ താപനിലയേക്കാൾ വളരെ കുറവാണ്.
സജീവമാക്കുമ്പോൾ, ഗെറ്റർ ആന്തരികമായി ഖരരൂപത്തിൽ ലയിക്കുന്ന ഹൈഡ്രജൻ പുറത്തുവിടും. പരിസ്ഥിതിയിൽ വെള്ളമുണ്ടെങ്കിൽ, വെള്ളത്തിലെ ഓക്സിജൻ ഗെറ്റർ സ്ഥിരപ്പെടുത്തും, കൂടാതെ മൂലകമായ ഹൈഡ്രജൻ ഹൈഡ്രജൻ വാതകമായി പരിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടും. പരിമിതമായ സ്ഥലത്ത്, തണുപ്പിച്ച ശേഷം, ഹൈഡ്രജൻ്റെ ഈ ഭാഗം പൂർണ്ണമായും ആഗിരണം ചെയ്യാൻ കഴിയുമോ എന്നത് സജീവമാക്കുമ്പോൾ അത് ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന വാതകത്തിൻ്റെ തരത്തെയും അളവിനെയും ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു.
ദയവായി നിങ്ങളുടെ ഇമെയിൽ വിലാസം നൽകുക, ഞങ്ങൾ നിങ്ങളുടെ ഇമെയിലിന് മറുപടി നൽകും.