အင်္ဂါရပ်များနှင့် အသုံးချမှုများ ဤထုတ်ကုန်သည် ကျယ်ပြန့်သောအပူချိန်အကွာအဝေးတွင် အသက်သွင်းနိုင်သည့် အကောင်းဆုံးသော အသေးစားဖွဲ့စည်းပုံပါရှိသော တိုက်တေနီယမ် သို့မဟုတ် ဇာကွန်နီယမ်အလွိုင်း၏ပါးလွှာသောဖလင်တစ်ခုဖြစ်သည်။ အသက်သွင်းပြီးနောက်၊ ၎င်းသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်၊ ရေခိုးရေငွေ့၊ ကာဗွန်မိုနောက်ဆိုဒ်၊ ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်နှင့် အခြားညစ်ညမ်းဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ယူနိုင်သည်...
ဤထုတ်ကုန်သည် ကျယ်ပြန့်သောအပူချိန်အကွာအဝေးတွင် အသက်သွင်းနိုင်သည့် အကောင်းဆုံးအသေးစားဖွဲ့စည်းပုံပါရှိသော တိုက်တေနီယမ် သို့မဟုတ် ဇာကွန်နီယမ်အလွိုင်း၏ပါးလွှာသောဖလင်ဖြစ်သည်။ အသက်သွင်းပြီးနောက်၊ ၎င်းသည် ဟိုက်ဒရိုဂျင်၊ ရေခိုးရေငွေ့၊ ကာဗွန်မိုနောက်ဆိုဒ်၊ ကာဗွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်နှင့် လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ inert gas မဟုတ်သည့် အခြားညစ်ညမ်းဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ယူနိုင်ပြီး စက်အတွင်းရှိ လေဟာနယ်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် ထိန်းသိမ်းနိုင်သည်။ ၎င်းတွင် ကြီးမားသောလှုံ့ဆော်မှုစွမ်းရည်၊ အမှုန်အမွှားများမရှိခြင်းနှင့် လှုံ့ဆော်မှုအပူချိန်နိမ့်သောလက္ခဏာများရှိသည်။ အအေးခံထားသော အနီအောက်ရောင်ခြည်အာရုံခံကိရိယာများနှင့် Micro gyroscope ကဲ့သို့သော MEMS စက်အမျိုးမျိုးတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုနိုင်သည်။ မတူညီသော ကက်ပ်စူလာလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် မတူညီသော getter သတ္တုစပ်များကို ရရှိနိုင်ပါသည်။
အခြေခံလက္ခဏာများနှင့် အထွေထွေဒေတာ
ဖွဲ့စည်းပုံ
ထုတ်ကုန်၏ပုံမှန်ဖွဲ့စည်းပုံမှာ 50 microns အထူရှိသော stainless steel ဖြစ်ပြီး၊ မျက်နှာပြင်နှစ်ဖက်စလုံးတွင် ဖလင်အထူ 1.5 microns ခန့်ရှိသည်။ အရွယ်အစား ပုံသဏ္ဍာန်ကို အသုံးပြုသူ လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။ ၎င်းကို wafer ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များ သို့မဟုတ် သတ္တုအဖုံးပြားများနှင့် ကြွေခွံအမျိုးမျိုးတို့တွင်လည်း ထည့်သွင်းနိုင်သည်။
Sorption စွမ်းရည်
ထုတ်ကုန်သည် 1E-3Pa ထက်နည်းသော ရွေ့လျားနိုင်သော မြင့်မားသောလေဟာနယ်တွင် အသက်သွင်းပြီးနောက်၊ ၎င်းသည် စုပ်ယူနိုင်စွမ်းရှိပြီး အခန်းအပူချိန်သို့ အေးသွားပြီးနောက်၊ ၎င်းသည် အမျိုးမျိုးသော ဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ယူနိုင်စွမ်းရှိသေးသည်။ activation temperature တိုးလာသည်နှင့်အမျှ၊ လှုံ့ဆော်မှုစွမ်းရည်သည် တဖြည်းဖြည်း တိုးလာပါသည်။ ထုတ်ကုန်ကို မိနစ် 30 အတွက် အကောင်းဆုံးသော လှုံ့ဆော်မှုအပူချိန်တွင် အပူပေးပြီး အအေးခံပြီးနောက် CO ၏ စုပ်ယူနိုင်စွမ်းသည် 0.06Pa·L/cm2 ထက် ကြီးပါသည်။ လှုံ့ဆော်မှုအပူချိန်သည် အကောင်းဆုံးသော လှုံ့ဆော်မှုအပူချိန်ကို ကျော်လွန်သောအခါ၊ အအေးခံပြီးနောက် ရှူသွင်းလိုက်သည့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို လျော့သွားစေသည်။
လေဟာနယ်တွင် အပူပေးခြင်းဖြင့် ထုတ်ကုန်ကို အသက်သွင်းသောအခါ၊ အပူပေးသည့်လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ တက်ကြွသောဓာတ်ငွေ့များကို စတင်စုပ်ယူသည်။ မတူညီသောဓာတ်ငွေ့များအတွက် ၎င်း၏ စုပ်ယူမှုအမြန်နှုန်းနှင့် စွမ်းရည်မှာ မတူညီပါ။ သတ်မှတ်ထားသော အပူချိန်နှင့် စုစုပေါင်း စုပ်ယူနိုင်မှု အကွာအဝေးအတွင်းတွင်၊ ကနဦး စုပ်ယူမှုနှုန်းသည် ပိုမိုမြန်ဆန်လာပြီး၊ ထို့နောက် နှေးကွေးလာသည်၊ အပူချိန်ပြန်တက်လာသောအခါ၊ စုပ်ယူမှုနှုန်းသည် တစ်ဖန်တိုးလာပြီး လျော့သွားပြန်သည်။ အအေးခံပြီးနောက်၊ ထုတ်ကုန်တွင် ကျန်ရှိသော စုပ်ယူနိုင်စွမ်းရှိမရှိ စုပ်ယူနိုင်သော တက်ကြွသောဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားနှင့် ရှူသွင်းသည့်ပမာဏအပေါ် မူတည်ပါသည်။
အသက်သွင်းမှု အခြေအနေများကို အကြံပြုထားသည်။
အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် 1E-3Pa ထက်နည်းသော ရွေ့လျားမြင့်မားသောလေဟာနယ်တွင် အသက်သွင်းခြင်းကို အကြံပြုထားပြီး ရုပ်ရှင်ပစ္စည်းတစ်ခုစီအတွက် အကြံပြုထားသည့် အသက်သွင်းမှုအခြေအနေများကို အောက်ပါစာရင်းတွင် ပြသထားသည်။
ရုပ်ရှင်ပစ္စည်း | အပူချိန်နှင့် အချိန် (℃×မိနစ်) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
သတိထားပါ။
ထုတ်ကုန် Specification တွင် ပံ့ပိုးပေးထားသည့် အပူပေးလက်ရှိ-အသက်သွင်းခြင်း အပူချိန်မျဉ်းကွေးကို ထုတ်ကုန်အတွင်း လေဟာနယ်တွင် ချိတ်ဆွဲထားခြင်းဖြင့် စမ်းသပ်ထားပြီး အမှန်တကယ် အသက်သွင်းခြင်း နှင့် အပူချိန်သည် စက်ပစ္စည်းအတွင်းတွင် ဂဟေဆက်ပြီးနောက် အပူဆုံးရှုံးမှုအပေါ် အဓိကမူတည်ပါသည်။ welding အနေအထား၏အပူရှိန်ကြောင့်၊ welded အစိတ်အပိုင်း၏အပူချိန်သည်ထုတ်ကုန်၏အလယ်ဗဟိုအပူချိန်ထက်များစွာနိမ့်သည်။
အသက်သွင်းနေစဉ်အတွင်း getter သည် အတွင်းတွင် ခိုင်မာစွာပျော်ဝင်နိုင်သော ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကို ထုတ်လွှတ်မည်ဖြစ်သည်။ ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ရေရှိလျှင် ရေတွင် အောက်ဆီဂျင်ကို getter က ပြုပြင်ပေးမည်ဖြစ်ပြီး ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဒြပ်စင်ကို ဟိုက်ဒရိုဂျင်ဓာတ်ငွေ့အဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲပေးမည်ဖြစ်သည်။ အကျဉ်းချထားသောနေရာတစ်ခုတွင်၊ အအေးခံပြီးနောက်၊ ဟိုက်ဒရိုဂျင်၏ ဤအစိတ်အပိုင်းကို getter မှ လုံး၀စုပ်ယူနိုင်သည်ရှိမရှိ အသက်သွင်းစဉ်အတွင်း စုပ်ယူသည့်ဓာတ်ငွေ့အမျိုးအစားနှင့် ပမာဏပေါ်မူတည်သည်။
ကျေးဇူးပြု၍ သင့်အီးမေးလ်လိပ်စာကို ထည့်ပါ၊ သင့်အီးမေးလ်ကို ကျွန်ုပ်တို့ အကြောင်းပြန်ပါမည်။