Egenskaper og bruksområder Dette produktet er en tynn film av titan eller zirkoniumlegering med optimert mikrostruktur som kan aktiveres over et bredt temperaturområde. Etter aktivering kan den absorbere urenhetsgasser som hydrogen, vanndamp, karbonmonoksid, karbondioksid og andre urenheter...
Dette produktet er en tynn film av titan eller zirkoniumlegering med optimert mikrostruktur som kan aktiveres over et bredt temperaturområde. Etter aktivering kan den absorbere urenhetsgasser som hydrogen, vanndamp, karbonmonoksid, karbondioksid og andre urenhetsgasser enn inertgass i vakuummiljøet, og forbedre og opprettholde vakuumet inne i enheten. Den har egenskapene til stor inspirasjonskapasitet, ingen partikler og lav aktiveringstemperatur. Den kan brukes mye i forskjellige MEMS-enheter som ukjølte infrarøde sensorer og mikrogyroskop. Ulike getter-legeringer er tilgjengelige for forskjellige innkapslingsprosesser.
Grunnleggende egenskaper og generelle data
Struktur
Den typiske strukturen til produktet er et rustfritt stål med en tykkelse på 50 mikron som bærer, og overflaten er belagt på begge sider, med en filmtykkelse på ca. 1,5 mikron. Størrelsesformen kan tilpasses etter brukerbehov. Det kan også avsettes i form av tynne filmer på overflaten av waferen eller forskjellige metalldekselplater og keramiske skall.
Sorpsjonskapasitet
Etter at produktet er aktivert i et dynamisk høyvakuum på mindre enn 1E-3Pa, kan det ha evne til å suge, og etter avkjøling til romtemperatur har det fortsatt evnen til å adsorbere ulike aktive gasser. Etter hvert som aktiveringstemperaturen øker, øker inspirasjonskapasiteten gradvis. Produktet varmes opp til den optimale aktiveringstemperaturen i 30 minutter, og adsorpsjonskapasiteten til CO etter avkjøling er større enn 0,06 Pa· L/cm2. Når aktiveringstemperaturen overstiger den optimale aktiveringstemperaturen, reduseres enkeltinhalasjonsytelsen etter avkjøling.
Når produktet aktiveres ved oppvarming i lavvakuum, begynner de aktive gassene i miljøet å bli absorbert under oppvarmingsprosessen. For forskjellige gasser er absorpsjonshastigheten og kapasiteten forskjellig. Ved en viss temperatur og innenfor området for total absorpsjonskapasitet er den innledende absorpsjonshastigheten raskere, og deretter vil den bli langsommere og langsommere; Når temperaturen økes igjen, økes absorpsjonshastigheten igjen og dempes deretter igjen. Etter avkjøling avhenger om produktet har restsugekapasitet av typen aktiv gass det absorberer og mengden innånding.
Anbefalte aktiveringsbetingelser
For best ytelse anbefales aktivering i et dynamisk høyvakuum på mindre enn 1E-3Pa, og de anbefalte aktiveringsbetingelsene for hvert filmmateriale er vist i følgende liste:
Filmmateriale | Temperatur og tid (℃×min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Forsiktighet
Varmestrømaktiveringstemperaturkurven i produktspesifikasjonen er testet ved at produktet henger i et vakuum, og den faktiske aktiveringsstrømmen vs. temperatur avhenger hovedsakelig av varmetapet etter at produktet er loddet inn i enheten. På grunn av varmeledningen til sveiseposisjonen er temperaturen på den sveisede delen mye lavere enn temperaturen til den midtre delen av produktet.
Under aktivering vil getteren frigjøre internt fast løselig hydrogen. Hvis det er vann i miljøet, vil oksygenet i vannet bli fikset av getteren, og det elementære hydrogenet vil bli omdannet til hydrogengass som skal frigjøres. I et trangt rom, etter avkjøling, avhenger hvorvidt denne delen av hydrogenet kan absorberes fullstendig av getteren av typen og mengden gass den absorberer under aktivering.
Vennligst skriv inn e-postadressen din, så svarer vi på e-posten din.