Mawonekedwe ndi Magwiritsidwe Ntchito Izi ndi filimu yopyapyala ya titaniyamu kapena aloyi ya zirconium yokhala ndi mawonekedwe owoneka bwino omwe amatha kuyatsidwa ndi kutentha kwakukulu. Pambuyo kutsegula, imatha kuyamwa mpweya wodetsedwa monga haidrojeni, nthunzi wamadzi, mpweya wa monoxide, mpweya woipa ndi zina zonyansa ...
Izi ndi filimu yopyapyala ya titaniyamu kapena aloyi ya zirconium yokhala ndi ma microstructure okhathamiritsa omwe amatha kuyendetsedwa ndi kutentha kwakukulu. Pambuyo poyambitsa, imatha kuyamwa mpweya wonyansa monga haidrojeni, nthunzi wamadzi, mpweya wa carbon monoxide, carbon dioxide ndi mpweya wina wosadetsedwa kupatulapo mpweya wa inert m'malo otsekemera, ndikuwongolera ndi kusunga vacuum mkati mwa chipangizocho. Ili ndi mawonekedwe a mphamvu yayikulu yodzoza, palibe tinthu tating'onoting'ono, komanso kutentha kocheperako. Itha kugwiritsidwa ntchito kwambiri pazida zosiyanasiyana za MEMS monga masensa osakhazikika a infuraredi ndi Micro gyroscope. Ma alloys osiyanasiyana a getter alipo panjira zosiyanasiyana za encapsulation.
Makhalidwe Oyamba ndi Zambiri
Kapangidwe
Kapangidwe kameneka kamapangidwa ndi chitsulo chosapanga dzimbiri chokhala ndi ma microns 50 ngati chonyamulira, ndipo pamwamba pake amakutidwa mbali zonse ziwiri, ndi makulidwe a filimu pafupifupi 1.5 ma microns. Kukula kwake kungathe kusinthidwa malinga ndi zosowa za wosuta. Ikhozanso kuikidwa mu mawonekedwe a mafilimu opyapyala pamwamba pa mtanda kapena mbale zosiyanasiyana zachitsulo ndi zipolopolo za ceramic.
Kuthekera kwa Sorption
Pambuyo mankhwala adamulowetsa mu zazikulu vakuyumu zazikulu zosakwana 1E-3Pa, akhoza kukhala ndi luso kuyamwa, ndipo pambuyo kuzirala kwa firiji, akadali ndi mphamvu adsorb osiyanasiyana yogwira mpweya. Pamene kutentha kwa activation kumawonjezeka, mphamvu yolimbikitsira imakula pang'onopang'ono. Chogulitsacho chimatenthedwa pa kutentha kwabwino kwambiri kwa 30min, ndipo mphamvu ya adsorption ya CO itatha kuzirala ndi yaikulu kuposa 0.06Pa· L/cm2. Pamene kutentha kwa kutsegula kumadutsa kutentha kwabwino kwambiri, kutsekemera kamodzi kokha pambuyo pozizira kumachepetsedwa.
Mankhwalawa akamayendetsedwa ndi kutentha kwa mpweya wochepa, mpweya wotentha m'chilengedwe umayamba kuyamwa panthawi yotentha. Kwa mipweya yosiyana siyana, liwiro la kuyamwa kwake ndi mphamvu zake ndizosiyana. Pa kutentha kwina komanso mkati mwa kuchuluka kwa mphamvu zonse zoyamwa, mlingo woyambira woyamwitsa umakhala wofulumira, ndiyeno umakhala wocheperako komanso pang'onopang'ono; Kutentha kumadzukanso, kuchuluka kwa mayamwidwe kumawonjezekanso kenako kumachepetsedwanso. Pambuyo kuzirala, ngati mankhwalawa ali ndi mphamvu zotsalira zoyamwa zimadalira mtundu wa mpweya womwe umayamwa komanso kuchuluka kwa mpweya.
Analimbikitsa kutsegula zinthu
Kuti mugwire bwino ntchito, kuyatsa mu vacuum yamphamvu yocheperako ya 1E-3Pa ndiyofunikira, ndipo mikhalidwe yovomerezeka ya kanema iliyonse ikuwonetsedwa pamndandanda wotsatira:
Zinthu Zamafilimu | Kutentha ndi Nthawi (℃×mphindi) |
TP | 450 × 30 |
TZC | 300 × 30 |
TZCF | 400 × 30 |
Chenjezo
Kutentha kwa kutentha kwamakono komwe kumaperekedwa mu Zolemba Zogulitsa kumayesedwa ndi mankhwala omwe akulendewera mu vacuum, ndipo kutsegulira kwenikweni kwamakono ndi kutentha kumadalira makamaka kutentha kwa kutentha pambuyo pogulitsidwa mkati mwa chipangizocho. Chifukwa cha kutentha kwa malo otsekemera, kutentha kwa gawo la welded kumakhala kotsika kwambiri kusiyana ndi kutentha kwa gawo lapakati la mankhwala.
Panthawi yotsegula, getter idzatulutsa haidrojeni yosungunuka mkati. Ngati pali madzi m'chilengedwe, mpweya m'madzi udzakhazikitsidwa ndi getter, ndipo elemental hydrogen idzasinthidwa kukhala mpweya wa haidrojeni kuti itulutsidwe. Mu malo otsekedwa, mutatha kuzizira, ngati gawo ili la haidrojeni likhoza kutengeka kwathunthu ndi getter zimadalira mtundu ndi kuchuluka kwa mpweya umene umatenga panthawi yotsegula.
Chonde lowetsani imelo yanu ndipo tidzakuyankhani imelo yanu.