Cechy i zastosowania Ten produkt to cienka warstwa stopu tytanu lub cyrkonu o zoptymalizowanej mikrostrukturze, która może być aktywowana w szerokim zakresie temperatur. Po aktywacji może absorbować gazy zanieczyszczające, takie jak wodór, para wodna, tlenek węgla, dwutlenek węgla i inne zanieczyszczenia.
Produkt ten to cienka warstwa stopu tytanu lub cyrkonu o zoptymalizowanej mikrostrukturze, która może być aktywowana w szerokim zakresie temperatur. Po aktywacji może absorbować gazy zanieczyszczające, takie jak wodór, para wodna, tlenek węgla, dwutlenek węgla i inne gazy zanieczyszczające inne niż gaz obojętny w środowisku próżniowym oraz poprawiać i utrzymywać próżnię wewnątrz urządzenia. Charakteryzuje się dużą pojemnością wdechową, brakiem cząstek i niską temperaturą aktywacji. Może być szeroko stosowany w różnych urządzeniach MEMS, takich jak niechłodzone czujniki podczerwieni i mikrożyroskop. Dostępne są różne stopy gettera dla różnych procesów kapsułkowania.
Podstawowa charakterystyka i dane ogólne
Struktura
Typową strukturą produktu jest stal nierdzewna o grubości 50 mikronów jako nośnik, a powierzchnia jest pokryta obustronnie powłoką o grubości około 1,5 mikrona. Kształt rozmiaru można dostosować do potrzeb użytkownika. Można go również osadzać w postaci cienkich warstw na powierzchni płytki lub różnych metalowych nakładek i powłok ceramicznych.
Pojemność sorpcyjna
Produkt po aktywacji w dynamicznej wysokiej próżni poniżej 1E-3Pa może mieć zdolność zasysania, a po schłodzeniu do temperatury pokojowej nadal ma zdolność adsorbowania różnych gazów aktywnych. Wraz ze wzrostem temperatury aktywacji pojemność wdechowa stopniowo wzrasta. Produkt ogrzewa się w optymalnej temperaturze aktywacji przez 30 minut, a zdolność adsorpcji CO po schłodzeniu jest większa niż 0,06Pa·L/cm2. Gdy temperatura aktywacji przekracza optymalną temperaturę aktywacji, wydajność pojedynczej inhalacji po schłodzeniu zostaje osłabiona.
Gdy produkt zostanie aktywowany poprzez ogrzewanie w niskiej próżni, aktywne gazy z otoczenia zaczynają być absorbowane podczas procesu ogrzewania. W przypadku różnych gazów jego prędkość i pojemność absorpcji są różne. W określonej temperaturze i w zakresie całkowitej zdolności absorpcyjnej początkowa szybkość absorpcji jest większa, a następnie staje się coraz wolniejsza; Gdy temperatura zostanie ponownie podniesiona, szybkość absorpcji ponownie wzrasta, a następnie ponownie ulega osłabieniu. To, czy produkt ma resztkową zdolność ssania po schłodzeniu, zależy od rodzaju pochłanianego przez niego gazu aktywnego i ilości wdychanego powietrza.
Zalecane warunki aktywacji
Aby uzyskać najlepszą wydajność, zaleca się aktywację w dynamicznej wysokiej próżni poniżej 1E-3Pa, a zalecane warunki aktywacji dla każdego materiału filmowego przedstawiono na poniższej liście:
Materiał filmowy | Temperatura i czas (℃×min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Ostrożność
Krzywa aktywacji prądu grzejnego-temperatury podana w Specyfikacji Produktu jest testowana przez produkt zawieszony w próżni, a rzeczywisty prąd aktywacji w zależności od temperatury zależy głównie od strat ciepła po wlutowaniu produktu wewnątrz urządzenia. Ze względu na przewodzenie ciepła w pozycji spawania temperatura spawanej części jest znacznie niższa niż temperatura środkowej części produktu.
Podczas aktywacji getter uwolni wewnętrznie rozpuszczalny w postaci stałej wodór. Jeśli w środowisku znajduje się woda, tlen w wodzie zostanie związany przez getter, a wodór elementarny zostanie przekształcony w wodór gazowy, który zostanie uwolniony. To, czy w zamkniętej przestrzeni, po schłodzeniu, ta część wodoru może zostać całkowicie wchłonięta przez getter, zależy od rodzaju i ilości gazu, który pochłonie podczas aktywacji.
Proszę podać swój adres e-mail, a my odpowiemy na Twój e-mail.