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Obturadores de filmes finos

Características e aplicações Este produto é uma película fina de liga de titânio ou zircônio com microestrutura otimizada que pode ser ativada em uma ampla faixa de temperatura. Após a ativação, pode absorver gases impuros como hidrogênio, vapor d'água, monóxido de carbono, dióxido de carbono e outras impurezas.

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Este produto é uma película fina de liga de titânio ou zircônio com microestrutura otimizada que pode ser ativada em uma ampla faixa de temperatura. Após a ativação, ele pode absorver gases impuros, como hidrogênio, vapor de água, monóxido de carbono, dióxido de carbono e outros gases impuros além do gás inerte no ambiente de vácuo, e melhorar e manter o vácuo dentro do dispositivo. Possui características de grande capacidade de inspiração, ausência de partículas e baixa temperatura de ativação. Ele pode ser amplamente utilizado em vários dispositivos MEMS, como sensores infravermelhos não resfriados e microgiroscópio. Diferentes ligas getter estão disponíveis para diferentes processos de encapsulamento.

Características Básicas e Dados Gerais

Estrutura

A estrutura típica do produto é um aço inoxidável com espessura de 50 mícrons como suporte, e a superfície é revestida em ambos os lados, com espessura de filme de cerca de 1,5 mícrons. O formato do tamanho pode ser personalizado de acordo com as necessidades do usuário. Também pode ser depositado na forma de filmes finos na superfície do wafer ou em várias placas de cobertura metálica e invólucros cerâmicos.

Capacidade de Sorção

Depois que o produto é ativado em um alto vácuo dinâmico inferior a 1E-3Pa, ele pode ter a capacidade de sucção e, após o resfriamento à temperatura ambiente, ainda tem a capacidade de adsorver vários gases ativos. À medida que a temperatura de ativação aumenta, a capacidade inspiratória aumenta gradativamente. O produto é aquecido na temperatura ideal de ativação por 30 minutos, e a capacidade de adsorção de CO após o resfriamento é superior a 0,06Pa · L/cm2. Quando a temperatura de ativação excede a temperatura ideal de ativação, o desempenho de inalação única após o resfriamento é atenuado.

Quando o produto é ativado por aquecimento em baixo vácuo, os gases ativos do ambiente começam a ser absorvidos durante o processo de aquecimento. Para gases diferentes, sua velocidade e capacidade de absorção são diferentes. A uma determinada temperatura e dentro da faixa da capacidade de absorção total, a taxa de absorção inicial é mais rápida e depois se tornará cada vez mais lenta; Quando a temperatura aumenta novamente, a taxa de absorção aumenta novamente e depois atenua novamente. Após o resfriamento, a capacidade residual de sucção do produto depende do tipo de gás ativo que absorve e da quantidade de inalação.

Condições de ativação recomendadas

Para melhor desempenho, recomenda-se a ativação em alto vácuo dinâmico inferior a 1E-3Pa, e as condições de ativação recomendadas para cada material de filme são mostradas na lista a seguir:

Material do filme	Temperatura e tempo (℃×min)
PT	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Cuidado

A curva de temperatura de ativação da corrente de aquecimento fornecida na Especificação do Produto é testada pelo produto pendurado no vácuo, e a corrente de ativação real versus temperatura depende principalmente da perda de calor após o produto ser soldado dentro do dispositivo. Devido à condução de calor da posição de soldagem, a temperatura da peça soldada é muito inferior à temperatura da parte central do produto.

Durante a ativação, o getter liberará hidrogênio solidamente solúvel internamente. Se houver água no ambiente, o oxigênio da água será fixado pelo getter e o hidrogênio elementar será convertido em gás hidrogênio para ser liberado. Num espaço confinado, após o resfriamento, se esta parte do hidrogênio pode ser completamente absorvida pelo getter depende do tipo e da quantidade de gás que ele absorve durante a ativação.

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Produto

Produto

Material coletor de zircão-grafeno e método de preparação do mesmo

Uma câmara de vácuo pequena e fácil de usar

Uma estrutura de aquecedor getter e método de preparação altamente confiáveis

Um dispositivo de armazenamento de hidrogênio à base de titânio com termômetros

Tecnologia e Desenvolvimento

Coletor Evaporável

Nenhum Getter-1 Evaporável

Absorvente de Água Série ZEP

Bombas Getter Não Evaporáveis (NEG)

Nenhum Getter-2 Evaporável

Sistema de teste de vácuo

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