Особенности и применение Этот продукт представляет собой тонкую пленку из сплава титана или циркония с оптимизированной микроструктурой, которую можно активировать в широком диапазоне температур. После активации он может поглощать примесные газы, такие как водород, водяной пар, окись углерода, диоксид углерода и другие примеси.
Этот продукт представляет собой тонкую пленку из сплава титана или циркония с оптимизированной микроструктурой, которую можно активировать в широком диапазоне температур. После активации он может поглощать примесные газы, такие как водород, водяной пар, окись углерода, диоксид углерода и другие примесные газы, кроме инертного газа, в вакуумной среде, а также улучшать и поддерживать вакуум внутри устройства. Он обладает характеристиками большой емкости вдоха, отсутствия частиц и низкой температуры активации. Его можно широко использовать в различных устройствах MEMS, таких как неохлаждаемые инфракрасные датчики и микрогироскопы. Для различных процессов инкапсуляции доступны различные геттерные сплавы.
Основные характеристики и общие данные
Структура
Типичная структура продукта представляет собой нержавеющую сталь толщиной 50 микрон в качестве носителя, поверхность покрыта с обеих сторон толщиной пленки около 1,5 микрона. Форма размера может быть настроена в соответствии с потребностями пользователя. Он также может быть нанесен в виде тонких пленок на поверхность пластины или различных металлических накладок и керамических оболочек.
Сорбционная емкость
После того, как продукт активирован в динамическом высоком вакууме менее 1E-3Pa, он может обладать способностью к всасыванию, а после охлаждения до комнатной температуры он все еще обладает способностью адсорбировать различные активные газы. По мере повышения температуры активации объем вдоха постепенно увеличивается. Продукт нагревается при оптимальной температуре активации в течение 30 минут, а адсорбционная способность CO после охлаждения превышает 0,06 Па·л/см2. Когда температура активации превышает оптимальную температуру активации, эффективность однократной ингаляции после охлаждения снижается.
Когда продукт активируется путем нагревания в низком вакууме, активные газы из окружающей среды начинают поглощаться в процессе нагрева. Для разных газов скорость и мощность поглощения различны. При определенной температуре и в пределах общей абсорбционной способности начальная скорость абсорбции увеличивается, а затем она становится все медленнее и медленнее; Когда температура снова повышается, скорость поглощения снова увеличивается, а затем снова снижается. Остаточная всасывающая способность продукта после охлаждения зависит от типа активного газа, который он поглощает, и количества вдыхаемого газа.
Рекомендуемые условия активации
Для достижения наилучших характеристик рекомендуется активация в динамическом высоком вакууме менее 1E-3Па, а рекомендуемые условия активации для каждого материала пленки показаны в следующем списке:
Материал пленки | Температура и время (℃×мин) |
ТП | 450×30 |
ТЗК | 300×30 |
ТЗКФ | 400×30 |
Осторожность
Кривая нагревания тока активации, представленная в спецификации продукта, проверена на продукте, подвешенном в вакууме, а фактическая зависимость тока активации от температуры зависит главным образом от потерь тепла после пайки продукта внутри устройства. Из-за теплопроводности места сварки температура свариваемой детали значительно ниже температуры средней части изделия.
Во время активации геттер будет выделять внутри себя твердорастворимый водород. Если в окружающей среде есть вода, кислород в воде будет фиксироваться геттером, а элементарный водород преобразуется в газообразный водород, который высвобождается. В замкнутом пространстве после охлаждения возможность полного поглощения этой части водорода геттером зависит от типа и количества газа, который он поглощает при активации.
Пожалуйста, введите свой адрес электронной почты, и мы ответим на ваше письмо.