Vlastnosti a aplikácie Tento produkt je tenký film z titánu alebo zliatiny zirkónia s optimalizovanou mikroštruktúrou, ktorú možno aktivovať v širokom rozsahu teplôt. Po aktivácii môže absorbovať plynné nečistoty ako vodík, vodnú paru, oxid uhoľnatý, oxid uhličitý a iné nečistoty...
Tento produkt je tenký film z titánu alebo zliatiny zirkónu s optimalizovanou mikroštruktúrou, ktorú možno aktivovať v širokom rozsahu teplôt. Po aktivácii môže absorbovať plynné nečistoty, ako je vodík, vodná para, oxid uhoľnatý, oxid uhličitý a iné plynné nečistoty iné ako inertný plyn vo vákuovom prostredí a zlepšiť a udržať vákuum vo vnútri zariadenia. Má vlastnosti veľkej inspiračnej kapacity, bez častíc a nízkej aktivačnej teploty. Môže byť široko používaný v rôznych zariadeniach MEMS, ako sú nechladené infračervené senzory a mikro gyroskop. Pre rôzne procesy enkapsulácie sú dostupné rôzne getrové zliatiny.
Základné charakteristiky a všeobecné údaje
Štruktúra
Typickou štruktúrou produktu je nehrdzavejúca oceľ s hrúbkou 50 mikrónov ako nosič a povrch je obojstranne potiahnutý, s hrúbkou filmu asi 1,5 mikrónu. Tvar veľkosti je možné prispôsobiť podľa potrieb užívateľa. Môže byť tiež nanesený vo forme tenkých filmov na povrchu oblátky alebo rôznych kovových krycích dosiek a keramických škrupín.
Sorpčná kapacita
Po aktivácii produktu v dynamickom vysokom vákuu nižšom ako 1E-3Pa môže mať schopnosť sania a po ochladení na izbovú teplotu má stále schopnosť adsorbovať rôzne aktívne plyny. So zvyšujúcou sa teplotou aktivácie sa postupne zvyšuje inspiračná kapacita. Produkt sa zahrieva pri optimálnej aktivačnej teplote počas 30 minút a adsorpčná kapacita CO po ochladení je väčšia ako 0,06 Pa· L/cm2. Keď aktivačná teplota prekročí optimálnu aktivačnú teplotu, výkon jednej inhalácie po ochladení sa utlmí.
Keď sa produkt aktivuje zahrievaním v nízkom vákuu, aktívne plyny v prostredí sa začnú absorbovať počas procesu zahrievania. Pre rôzne plyny sa rýchlosť a kapacita absorpcie líšia. Pri určitej teplote a v rozsahu celkovej absorpčnej kapacity je počiatočná rýchlosť absorpcie rýchlejšia a potom bude čoraz pomalšia; Keď sa teplota opäť zvýši, rýchlosť absorpcie sa opäť zvýši a potom opäť utlmí. To, či má produkt po ochladení zvyškovú saciu kapacitu, závisí od typu aktívneho plynu, ktorý absorbuje, a od množstva inhalácie.
Odporúčané podmienky aktivácie
Pre najlepší výkon sa odporúča aktivácia v dynamickom vysokom vákuu nižšom ako 1E-3Pa a odporúčané podmienky aktivácie pre každý filmový materiál sú uvedené v nasledujúcom zozname:
Filmový materiál | Teplota a čas (℃ × min) |
TP | 450 × 30 |
TZC | 300 × 30 |
TZCF | 400 × 30 |
Pozor
Krivka teploty aktivácie vykurovacieho prúdu uvedená v špecifikácii produktu sa testuje zavesením produktu vo vákuu a skutočný aktivačný prúd vs. teplota závisí najmä od tepelných strát po spájkovaní produktu vo vnútri zariadenia. Vďaka tepelnej vodivosti zváracej polohy je teplota zváranej časti oveľa nižšia ako teplota strednej časti výrobku.
Počas aktivácie bude getr uvoľňovať vnútorne pevne rozpustný vodík. Ak je v prostredí voda, kyslík vo vode bude fixovaný getrom a elementárny vodík sa premení na plynný vodík, ktorý sa uvoľní. Či môže byť táto časť vodíka v uzavretom priestore po ochladení úplne absorbovaná getrom, závisí od typu a množstva plynu, ktorý absorbuje počas aktivácie.
Zadajte svoju e-mailovú adresu a my vám odpovieme na váš e-mail.