Fa'aaliga ma Fa'aoga O lenei oloa o se ata manifinifi o le titanium po'o le zirconium alloy fa'atasi ai ma microstructure sili ona lelei e mafai ona fa'agaoioia i luga o le lautele o le vevela. A maeʻa ona faʻagaoioia, e mafai ona faʻaaogaina kasa le mama e pei o le hydrogen, vai vai, carbon monoxide, carbon dioxide ma isi mea leaga ...
O lenei oloa o se ata manifinifi o le titanium poʻo le zirconium alloy faʻatasi ai ma microstructure sili ona lelei e mafai ona faʻagaoioia i luga o le lautele o le vevela. A maeʻa le faʻagaoioia, e mafai ona faʻaaogaina kasa le mama e pei o le hydrogen, vai vai, carbon monoxide, carbon dioxide ma isi kasa le mama e ese mai i le kesi lemu i totonu o le vacuum environment, ma faʻaleleia ma tausia le gaogao i totonu o le masini. E i ai uiga o le malosi musumusuga tele, leai ni vaega, ma le maualalo o le vevela o le faʻagaoioia. E mafai ona faʻaaogaina lautele i masini MEMS eseese e pei o le faʻaogaina o le infrared sensors ma le Micro gyroscope. Eseese getter alloys o loʻo avanoa mo faiga faʻapipiʻi eseese.
Uiga Autu ma Fa'amatalaga Lautele
Fauga
O le fausaga masani o le oloa o se uʻamea uʻamea ma le mafiafia o le 50 microns e pei o se ave, ma o le pito i luga o loʻo ufiufi i itu uma e lua, faʻatasi ai ma se ata tifaga e tusa ma le 1.5 microns. O le tele o foliga e mafai ona faʻapipiʻiina e tusa ai ma manaʻoga o tagata faʻaoga. E mafai foi ona teuina i foliga o ata manifinifi i luga o le pito i luga o le wafer poʻo isi ipu uʻamea uʻamea ma atigi sima.
Avanoa Sorption
A maeʻa ona faʻagaoioia le oloa i totonu o se vacuum maualuga maualuga e itiiti ifo i le 1E-3Pa, e mafai ona maua le malosi e suction, ma a maeʻa ona faʻamafanafana i le vevela o le potu, o loʻo i ai pea le malosi e faʻapipiʻi ai kasa malosi eseese. A'o fa'atupula'ia le vevela o le fa'agaoioiga, e faasolosolo malie lava ona fa'atuputeleina le malosi fa'aoso. O le oloa e vevela i le vevela sili ona lelei mo le 30min, ma o le adsorption gafatia o le CO pe a uma le malulu e sili atu nai lo le 0.06Pa· L/cm2。 Pe a sili atu le vevela o le faʻagaioiga i le vevela faʻaosoina sili ona lelei, o le faʻaogaina o le inhalation tasi pe a uma le faʻamafanafana e faʻaitiitia.
Pe a faʻagaoioia le oloa e ala i le faʻamafanafanaina i se vacuum maualalo, o kasa galue i le siosiomaga e amata ona faʻafefe i le taimi o le faʻavevelaina. Mo kasa eseese, o lona saoasaoa absorption ma gafatia e eseese. I se vevela faapitoa ma i totonu o le tele o le gafatia atoa o le absorption, o le fua muamua o le absorption e vave tele, ona faʻagesegese ai lea ma faʻagesegese; A toe si'i a'e le vevela, e toe fa'ateleina le fua ole absorption ona toe fa'aitiitia lea. A mae'a le mālūlū, pe iai le malosi o le suction o le oloa e fa'alagolago i le ituaiga kesi malosi e mitiia ma le aofa'i o le inhalation.
Fautuaina tulaga fa'agaoioia
Mo le faʻatinoga sili ona lelei, o le faʻagaoioia i totonu o se vacuum maualuga maualuga e itiiti ifo i le 1E-3Pa e fautuaina, ma o tulaga fautuaina mo le faʻagaoioia o ata tifaga o loʻo faʻaalia i le lisi o loʻo i lalo:
Mea Ata Ata | Tempera ma Taimi(℃×min) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Fa'aeteete
O le faʻavevelaina o loʻo i ai nei-faʻagaoioia le vevela curve o loʻo tuʻuina atu i le Faʻamatalaga Faʻamatalaga o loʻo faʻataʻitaʻiina e le oloa o loʻo tautau i totonu o se masini, ma o le faʻaosoina moni o loʻo i ai nei vs. vevela e faʻalagolago lava i le gau o le vevela pe a uma ona soldered le oloa i totonu o le masini. Ona o le vevela conduction o le tulaga uelo, o le vevela o le vaega uelo e sili atu le maualalo nai lo le vevela o le ogatotonu o le oloa.
A'o fa'agaoioia, o le a fa'amatu'u atu e le getter le hydrogen e mafai ona solu i totonu. Afai ei ai le vai i totonu o le siosiomaga, o le okesene i totonu o le vai o le a faʻamautu e le getter, ma o le hydrogen elemene o le a liua i le hydrogen gas e faʻasaʻolotoina. I totonu o se avanoa faʻatapulaʻa, pe a maeʻa le malulu, pe o lenei vaega o le hydrogen e mafai ona faʻaogaina atoa e le tagata faʻatau e faʻalagolago i le ituaiga ma le aofaʻi o le kesi e mitiia i le taimi o le faʻagaoioia.
Fa'amolemole tu'u lau tuatusi imeli ma o le a matou tali atu i lau imeli.