அம்சங்கள் மற்றும் பயன்பாடுகள் இந்த தயாரிப்பு டைட்டானியம் அல்லது சிர்கோனியம் கலவையின் மெல்லிய படமாகும், இது ஒரு பரந்த வெப்பநிலை வரம்பில் செயல்படுத்தக்கூடிய உகந்த நுண் கட்டமைப்பு கொண்டது. செயல்படுத்தப்பட்ட பிறகு, இது ஹைட்ரஜன், நீராவி, கார்பன் மோனாக்சைடு, கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் பிற அசுத்தங்கள் போன்ற அசுத்த வாயுக்களை உறிஞ்சிவிடும்.
இந்த தயாரிப்பு டைட்டானியம் அல்லது சிர்கோனியம் கலவையின் மெல்லிய படமாகும், இது உகந்த நுண் கட்டமைப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது பரந்த வெப்பநிலை வரம்பில் செயல்படுத்தப்படுகிறது. செயல்படுத்தப்பட்ட பிறகு, இது ஹைட்ரஜன், நீர் நீராவி, கார்பன் மோனாக்சைடு, கார்பன் டை ஆக்சைடு மற்றும் வெற்றிட சூழலில் உள்ள மந்த வாயுவைத் தவிர மற்ற அசுத்த வாயுக்கள் போன்ற அசுத்த வாயுக்களை உறிஞ்சி, சாதனத்தின் உள்ளே உள்ள வெற்றிடத்தை மேம்படுத்தி பராமரிக்கலாம். இது பெரிய உத்வேகம் திறன், எந்த துகள்கள் மற்றும் குறைந்த செயல்படுத்தும் வெப்பநிலை ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. குளிரூட்டப்படாத அகச்சிவப்பு சென்சார்கள் மற்றும் மைக்ரோ கைரோஸ்கோப் போன்ற பல்வேறு MEMS சாதனங்களில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம். வெவ்வேறு கேப்சூலேஷன் செயல்முறைகளுக்கு வெவ்வேறு கெட்டர் அலாய்கள் கிடைக்கின்றன.
அடிப்படை பண்புகள் மற்றும் பொது தரவு
கட்டமைப்பு
தயாரிப்பின் பொதுவான அமைப்பு 50 மைக்ரான் தடிமன் கொண்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு ஆகும், மேலும் மேற்பரப்பு இருபுறமும் பூசப்பட்டுள்ளது, சுமார் 1.5 மைக்ரான் பட தடிமன் கொண்டது. பயனர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப அளவு வடிவத்தை அமைத்துக்கொள்ளலாம். இது செதில் அல்லது பல்வேறு உலோக கவர் தகடுகள் மற்றும் பீங்கான் ஓடுகளின் மேற்பரப்பில் மெல்லிய படங்களின் வடிவத்திலும் டெபாசிட் செய்யப்படலாம்.
உறிஞ்சும் திறன்
1E-3Pa க்கும் குறைவான டைனமிக் உயர் வெற்றிடத்தில் தயாரிப்பு செயல்படுத்தப்பட்ட பிறகு, அது உறிஞ்சும் திறனைக் கொண்டிருக்கலாம், மேலும் அறை வெப்பநிலையில் குளிர்ந்த பிறகு, அது இன்னும் பல்வேறு செயலில் உள்ள வாயுக்களை உறிஞ்சும் திறனைக் கொண்டுள்ளது. செயல்படுத்தும் வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது, உள்ளிழுக்கும் திறன் படிப்படியாக அதிகரிக்கிறது. தயாரிப்பு 30 நிமிடங்களுக்கு உகந்த செயல்படுத்தும் வெப்பநிலையில் சூடுபடுத்தப்படுகிறது, மேலும் குளிர்ந்த பிறகு CO இன் உறிஞ்சுதல் திறன் 0.06Pa· L/cm2. ஐ விட அதிகமாக உள்ளது
குறைந்த வெற்றிடத்தில் சூடாக்குவதன் மூலம் தயாரிப்பு செயல்படுத்தப்படும் போது, சுற்றுச்சூழலில் செயலில் உள்ள வாயுக்கள் வெப்பமூட்டும் செயல்பாட்டின் போது உறிஞ்சப்படத் தொடங்குகின்றன. வெவ்வேறு வாயுக்களுக்கு, அதன் உறிஞ்சுதல் வேகம் மற்றும் திறன் வேறுபட்டது. ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் மற்றும் மொத்த உறிஞ்சுதல் திறன் வரம்பிற்குள், ஆரம்ப உறிஞ்சுதல் விகிதம் வேகமாக இருக்கும், பின்னர் அது மெதுவாகவும் மெதுவாகவும் மாறும்; வெப்பநிலை மீண்டும் உயர்த்தப்படும் போது, உறிஞ்சுதல் விகிதம் மீண்டும் அதிகரிக்கப்பட்டு, மீண்டும் குறைகிறது. குளிர்ந்த பிறகு, தயாரிப்பு எஞ்சிய உறிஞ்சும் திறன் உள்ளதா என்பது அது உறிஞ்சும் செயலில் உள்ள வாயு வகை மற்றும் உள்ளிழுக்கும் அளவைப் பொறுத்தது.
பரிந்துரைக்கப்பட்ட செயல்படுத்தல் நிபந்தனைகள்
சிறந்த செயல்திறனுக்காக, 1E-3Pa க்கும் குறைவான டைனமிக் உயர் வெற்றிடத்தில் செயல்படுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, மேலும் ஒவ்வொரு திரைப்படப் பொருளுக்கும் பரிந்துரைக்கப்பட்ட செயல்படுத்தல் நிபந்தனைகள் பின்வரும் பட்டியலில் காட்டப்பட்டுள்ளன:
திரைப்பட பொருள் | வெப்பநிலை மற்றும் நேரம் (℃× நிமிடம்) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
எச்சரிக்கை
தயாரிப்பு விவரக்குறிப்பில் வழங்கப்பட்ட வெப்பமூட்டும் மின்னோட்டம்-செயல்படுத்தும் வெப்பநிலை வளைவு ஒரு வெற்றிடத்தில் தொங்கும் தயாரிப்பு மூலம் சோதிக்கப்படுகிறது, மேலும் உண்மையான செயல்படுத்தும் மின்னோட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை முக்கியமாக சாதனத்தின் உள்ளே தயாரிப்பு சாலிடர் செய்யப்பட்ட பிறகு வெப்ப இழப்பைப் பொறுத்தது. வெல்டிங் நிலையின் வெப்ப கடத்துத்திறன் காரணமாக, பற்றவைக்கப்பட்ட பகுதியின் வெப்பநிலை உற்பத்தியின் நடுத்தர பகுதியின் வெப்பநிலையை விட மிகக் குறைவாக உள்ளது.
செயல்படுத்தும் போது, பெறுபவர் உள்நாட்டில் திடமாக கரையக்கூடிய ஹைட்ரஜனை வெளியிடுவார். சுற்றுச்சூழலில் நீர் இருந்தால், தண்ணீரில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் பெறுநரால் சரி செய்யப்படும், மேலும் தனிம ஹைட்ரஜன் ஹைட்ரஜன் வாயுவாக மாற்றப்பட்டு வெளியிடப்படும். ஒரு வரையறுக்கப்பட்ட இடத்தில், குளிர்ந்த பிறகு, ஹைட்ரஜனின் இந்த பகுதியை பெறுபவர் முழுமையாக உறிஞ்ச முடியுமா என்பது செயல்படுத்தும் போது அது உறிஞ்சும் வாயுவின் வகை மற்றும் அளவைப் பொறுத்தது.
உங்கள் மின்னஞ்சல் முகவரியை உள்ளிடவும், உங்கள் மின்னஞ்சலுக்கு நாங்கள் பதிலளிப்போம்.