คุณลักษณะและการใช้งาน ผลิตภัณฑ์นี้เป็นฟิล์มบางของโลหะผสมไททาเนียมหรือเซอร์โคเนียมที่มีโครงสร้างจุลภาคที่ได้รับการปรับปรุงซึ่งสามารถเปิดใช้งานได้ในช่วงอุณหภูมิที่กว้าง หลังจากเปิดใช้งาน มันสามารถดูดซับก๊าซเจือปน เช่น ไฮโดรเจน ไอน้ำ คาร์บอนมอนอกไซด์ คาร์บอนไดออกไซด์ และก๊าซเจือปนอื่น ๆ
ผลิตภัณฑ์นี้เป็นฟิล์มบางของโลหะผสมไททาเนียมหรือเซอร์โคเนียมที่มีโครงสร้างจุลภาคที่ได้รับการปรับปรุงให้เหมาะสม ซึ่งสามารถเปิดใช้งานได้ในช่วงอุณหภูมิที่กว้าง หลังจากเปิดใช้งาน มันสามารถดูดซับก๊าซเจือปน เช่น ไฮโดรเจน ไอน้ำ คาร์บอนมอนอกไซด์ คาร์บอนไดออกไซด์ และก๊าซเจือปนอื่น ๆ นอกเหนือจากก๊าซเฉื่อยในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ และปรับปรุงและรักษาสุญญากาศภายในอุปกรณ์ มีลักษณะของความสามารถในการหายใจได้มาก ไม่มีอนุภาค และอุณหภูมิในการกระตุ้นต่ำ สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์ MEMS ต่างๆ เช่น เซ็นเซอร์อินฟราเรดที่ไม่มีการระบายความร้อน และไมโครไจโรสโคป มีโลหะผสม getter ที่แตกต่างกันสำหรับกระบวนการห่อหุ้มที่แตกต่างกัน
ลักษณะพื้นฐานและข้อมูลทั่วไป
โครงสร้าง
โครงสร้างโดยทั่วไปของผลิตภัณฑ์คือสแตนเลสที่มีความหนา 50 ไมครอน เป็นตัวพา และพื้นผิวเคลือบทั้งสองด้านโดยมีความหนาของฟิล์มประมาณ 1.5 ไมครอน รูปร่างขนาดสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของผู้ใช้ นอกจากนี้ยังสามารถสะสมในรูปแบบของฟิล์มบางบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์หรือแผ่นปิดโลหะต่างๆ และเปลือกเซรามิก
ความสามารถในการดูดซับ
หลังจากที่ผลิตภัณฑ์ถูกเปิดใช้งานในสุญญากาศสูงแบบไดนามิกที่น้อยกว่า 1E-3Pa ผลิตภัณฑ์ก็สามารถมีความสามารถในการดูด และหลังจากเย็นลงถึงอุณหภูมิห้อง ก็ยังคงมีความสามารถในการดูดซับก๊าซที่ใช้งานอยู่ต่างๆ เมื่ออุณหภูมิในการกระตุ้นเพิ่มขึ้น ความสามารถในการหายใจจะค่อยๆ เพิ่มขึ้น ผลิตภัณฑ์จะถูกให้ความร้อนที่อุณหภูมิการเปิดใช้งานที่เหมาะสมที่สุดเป็นเวลา 30 นาที และความสามารถในการดูดซับของ CO หลังจากการทำความเย็นจะมากกว่า 0.06Pa· L/cm2。 เมื่ออุณหภูมิในการเปิดใช้งานสูงกว่าอุณหภูมิการเปิดใช้งานที่เหมาะสม ประสิทธิภาพการสูดดมครั้งเดียวหลังจากการทำความเย็นจะลดลง
เมื่อผลิตภัณฑ์ถูกเปิดใช้งานโดยการทำความร้อนในสุญญากาศต่ำ ก๊าซที่ใช้งานอยู่ในสิ่งแวดล้อมจะเริ่มถูกดูดซับในระหว่างกระบวนการทำความร้อน สำหรับก๊าซต่างๆ ความเร็วและความสามารถในการดูดซับจะแตกต่างกัน ที่อุณหภูมิหนึ่งและอยู่ภายในช่วงความสามารถในการดูดซับทั้งหมด อัตราการดูดซึมเริ่มต้นจะเร็วขึ้น และจากนั้นก็จะช้าลงเรื่อยๆ เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้นอีกครั้ง อัตราการดูดซึมจะเพิ่มขึ้นอีกครั้งแล้วจึงลดทอนลงอีกครั้ง หลังจากการทำความเย็น ผลิตภัณฑ์จะมีความสามารถในการดูดตกค้างหรือไม่นั้นขึ้นอยู่กับประเภทของก๊าซที่ใช้งานที่ดูดซับและปริมาณการหายใจเข้า
เงื่อนไขการเปิดใช้งานที่แนะนำ
เพื่อประสิทธิภาพที่ดีที่สุด แนะนำให้เปิดใช้งานในสุญญากาศสูงแบบไดนามิกที่น้อยกว่า 1E-3Pa และเงื่อนไขการเปิดใช้งานที่แนะนำสำหรับวัสดุฟิล์มแต่ละชนิดจะแสดงอยู่ในรายการต่อไปนี้:
วัสดุฟิล์ม | อุณหภูมิและเวลา(℃×นาที) |
ทีพี | 450×30 |
ทซซี | 300×30 |
ทซซีเอฟ | 400×30 |
คำเตือน
กราฟอุณหภูมิการเปิดใช้งานกระแสความร้อนที่ให้ไว้ในข้อมูลจำเพาะผลิตภัณฑ์ได้รับการทดสอบโดยผลิตภัณฑ์ที่แขวนอยู่ในสุญญากาศ และกระแสการเปิดใช้งานจริงเทียบกับอุณหภูมิจะขึ้นอยู่กับการสูญเสียความร้อนเป็นหลักหลังจากที่ผลิตภัณฑ์ถูกบัดกรีภายในอุปกรณ์ เนื่องจากการนำความร้อนของตำแหน่งการเชื่อม อุณหภูมิของส่วนที่เชื่อมจึงต่ำกว่าอุณหภูมิของส่วนตรงกลางของผลิตภัณฑ์มาก
ในระหว่างการกระตุ้น สารทะเยอทะยานจะปล่อยไฮโดรเจนที่ละลายได้อย่างแน่นหนาภายในออกมา หากมีน้ำอยู่ในสิ่งแวดล้อม ออกซิเจนในน้ำจะถูกตรึงโดยตัวรับ และไฮโดรเจนที่เป็นธาตุจะถูกแปลงเป็นก๊าซไฮโดรเจนและถูกปล่อยออกมา ในพื้นที่จำกัด หลังจากเย็นลงแล้ว ไม่ว่าส่วนนี้ของไฮโดรเจนจะสามารถดูดซับโดย Getter ได้ทั้งหมดหรือไม่นั้น ขึ้นอยู่กับชนิดและปริมาณของก๊าซที่ดูดซับระหว่างการกระตุ้น
กรุณากรอกที่อยู่อีเมลของคุณแล้วเราจะตอบกลับอีเมลของคุณ