Характеристики та застосування Цей продукт являє собою тонку плівку титанового або цирконієвого сплаву з оптимізованою мікроструктурою, яку можна активувати в широкому діапазоні температур. Після активації він може поглинати домішки, такі як водень, водяна пара, чадний газ, вуглекислий газ та інші домішки...
Цей продукт являє собою тонку плівку титанового або цирконієвого сплаву з оптимізованою мікроструктурою, яку можна активувати в широкому діапазоні температур. Після активації він може поглинати гази-домішки, такі як водень, водяна пара, оксид вуглецю, діоксид вуглецю та інші гази-домішки, крім інертного газу, у вакуумному середовищі, а також покращувати та підтримувати вакуум усередині пристрою. Він має характеристики великої ємності вдиху, відсутності частинок і низької температури активації. Його можна широко використовувати в різних пристроях MEMS, таких як неохолоджувані інфрачервоні датчики та мікрогіроскопи. Для різних процесів інкапсуляції доступні різні геттерні сплави.
Основні характеристики та загальні дані
Структура
Типовою структурою продукту є нержавіюча сталь товщиною 50 мікрон як носій, а поверхня покрита з обох боків товщиною плівки приблизно 1,5 мікрона. Форма розміру може бути налаштована відповідно до потреб користувача. Він також може бути нанесений у вигляді тонких плівок на поверхню пластини або різних металевих покривних пластин і керамічних оболонок.
Сорбційна здатність
Після активації продукту в динамічному високому вакуумі менше 1E-3Pa він може мати здатність до всмоктування, а після охолодження до кімнатної температури він все ще має здатність адсорбувати різні активні гази. У міру підвищення температури активації потужність вдиху поступово збільшується. Продукт нагрівають при оптимальній температурі активації протягом 30 хвилин, а адсорбційна здатність СО після охолодження перевищує 0,06 Па · л/см2. Коли температура активації перевищує оптимальну температуру активації, ефективність одноразової інгаляції після охолодження послаблюється.
Коли продукт активується шляхом нагрівання в низькому вакуумі, активні гази в навколишньому середовищі починають поглинатися в процесі нагрівання. Для різних газів його швидкість поглинання та ємність різні. При певній температурі та в межах загальної поглинальної здатності початкова швидкість поглинання є швидшою, а потім вона буде ставати все повільнішою; Коли температура знову підвищується, швидкість поглинання знову збільшується, а потім знову зменшується. Після охолодження залишкова всмоктуюча здатність продукту залежить від типу активного газу, який він поглинає, і кількості вдихуваного.
Рекомендовані умови активації
Для найкращої продуктивності рекомендується активація в динамічному високому вакуумі менше ніж 1E-3Pa, а рекомендовані умови активації для кожного плівкового матеріалу наведено в наступному списку:
Плівковий матеріал | Температура та час (℃ × хв) |
TP | 450×30 |
TZC | 300×30 |
TZCF | 400×30 |
Обережно
Крива струму нагрівання від температури активації, наведена в Специфікації виробу, перевіряється виробом, який висить у вакуумі, і фактичний струм активації від температури залежить головним чином від втрати тепла після того, як виріб припаяно всередині пристрою. Завдяки теплопровідності місця зварювання температура зварюваної частини значно нижча, ніж температура середньої частини виробу.
Під час активації геттер буде вивільняти твердорозчинний усередині водень. Якщо в навколишньому середовищі є вода, кисень у воді буде фіксуватися газопоглиначем, а елементарний водень перетворюватиметься на газоподібний водень, який буде вивільнений. У замкнутому просторі після охолодження ця частина водню може бути повністю поглинена геттером залежить від типу та кількості газу, який він поглинає під час активації.
Будь ласка, введіть свою адресу електронної пошти, і ми відповімо на вашу електронну пошту.