Sản phẩm





Máy thu màng mỏng

Các tính năng và ứng dụng Sản phẩm này là một màng mỏng bằng hợp kim titan hoặc zirconi với cấu trúc vi mô được tối ưu hóa có thể được kích hoạt trong phạm vi nhiệt độ rộng. Sau khi kích hoạt, nó có thể hấp thụ các loại khí tạp chất như hydro, hơi nước, carbon monoxide, carbon dioxide và các tạp chất khác...

nộp đơn

  

Sự miêu tả

Dấu hiệu

Tính năng và ứng dụng

Sản phẩm này là một màng mỏng hợp kim titan hoặc zirconi với cấu trúc vi mô được tối ưu hóa có thể được kích hoạt trong phạm vi nhiệt độ rộng. Sau khi kích hoạt, nó có thể hấp thụ các loại khí tạp chất như hydro, hơi nước, carbon monoxide, carbon dioxide và các loại khí tạp chất khác ngoài khí trơ trong môi trường chân không, đồng thời cải thiện và duy trì độ chân không bên trong thiết bị. Nó có đặc điểm là khả năng hít vào lớn, không có hạt và nhiệt độ kích hoạt thấp. Nó có thể được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị MEMS khác nhau như cảm biến hồng ngoại không được làm mát và con quay hồi chuyển Micro. Các hợp kim getter khác nhau có sẵn cho các quy trình đóng gói khác nhau.

Đặc điểm cơ bản và dữ liệu chung

Kết cấu

Cấu trúc điển hình của sản phẩm là thép không gỉ có độ dày 50 micron làm chất mang và bề mặt được phủ hai mặt, với độ dày màng khoảng 1,5 micron. Hình dạng kích thước có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của người dùng. Nó cũng có thể được lắng đọng dưới dạng màng mỏng trên bề mặt tấm bán dẫn hoặc các tấm phủ kim loại và vỏ gốm khác nhau.

Khả năng hấp thụ

Sau khi sản phẩm được kích hoạt trong chân không động cao dưới 1E-3Pa, nó có thể có khả năng hút và sau khi làm nguội đến nhiệt độ phòng, nó vẫn có khả năng hấp phụ các loại khí hoạt động khác nhau. Khi nhiệt độ kích hoạt tăng lên, khả năng hít vào tăng dần. Sản phẩm được làm nóng ở nhiệt độ kích hoạt tối ưu trong 30 phút và khả năng hấp phụ CO sau khi làm mát lớn hơn 0,06Pa · L/cm2. Khi nhiệt độ kích hoạt vượt quá nhiệt độ kích hoạt tối ưu, hiệu suất hít vào một lần sau khi làm mát sẽ bị suy giảm.

Khi sản phẩm được kích hoạt bằng cách gia nhiệt trong chân không thấp, các khí hoạt tính trong môi trường bắt đầu được hấp thụ trong quá trình gia nhiệt. Đối với các loại khí khác nhau, tốc độ và khả năng hấp thụ của nó là khác nhau. Ở một nhiệt độ nhất định và trong phạm vi tổng công suất hấp thụ, tốc độ hấp thụ ban đầu nhanh hơn, sau đó sẽ ngày càng chậm hơn; Khi nhiệt độ tăng trở lại, tốc độ hấp thụ lại tăng lên và sau đó lại giảm đi. Sau khi làm mát, sản phẩm có khả năng hút còn lại hay không phụ thuộc vào loại khí hoạt động mà nó hấp thụ và lượng hít vào.

Điều kiện kích hoạt được đề xuất

Để có hiệu suất tốt nhất, nên kích hoạt trong chân không động cao dưới 1E-3Pa và các điều kiện kích hoạt được khuyến nghị cho từng vật liệu màng được hiển thị trong danh sách sau:

Chất liệu phim	Nhiệt độ và thời gian(°C×min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Thận trọng

Đường cong nhiệt độ kích hoạt dòng nhiệt cung cấp trong Thông số kỹ thuật của sản phẩm được kiểm tra bằng cách treo sản phẩm trong chân không và dòng kích hoạt thực tế so với nhiệt độ phụ thuộc chủ yếu vào sự mất nhiệt sau khi sản phẩm được hàn bên trong thiết bị. Do vị trí hàn dẫn nhiệt nên nhiệt độ phần hàn thấp hơn rất nhiều so với nhiệt độ phần giữa của sản phẩm.

Trong quá trình kích hoạt, bộ thu sẽ giải phóng hydro hòa tan rắn bên trong. Nếu có nước trong môi trường, lượng oxy trong nước sẽ được cố định bằng máy thu và hydro nguyên tố sẽ được chuyển hóa thành khí hydro để giải phóng. Trong một không gian hạn chế, sau khi làm mát, phần hydro này có thể được hấp thụ hoàn toàn bởi máy thu hay không còn phụ thuộc vào loại và lượng khí mà nó hấp thụ trong quá trình kích hoạt.

trước Kế tiếp

Sản phẩm

Sản phẩm

Vật liệu thu khí zircon-graphene và phương pháp điều chế chúng

Buồng chân không nhỏ gọn, dễ sử dụng

Cấu trúc và phương pháp chuẩn bị lò sưởi getter có độ tin cậy cao

Thiết bị lưu trữ hydro dựa trên titan có nhiệt kế

Công nghệ và Phát triển

Hệ thống kiểm tra chân không

Máy thu khí hydro dòng XQP

Máy bơm thu hồi không bay hơi (NEG)

Chất hấp thụ nước dòng ZEP

Getter bay hơi

Getter bay hơi

Getter bay hơi-1

Getter bay hơi-2

Getter xốp thiêu kết

Máy thu màng mỏng

Sự miêu tả

Dấu hiệu

Tính năng và ứng dụng

liên hệ với chúng tôi

Sản phẩm phổ biến liên quan

Getter bay hơi-2

Getter xốp thiêu kết

Chất hấp thụ nước dòng ZEP

Máy bơm thu hồi không bay hơi (NEG)

Getter bay hơi-1

Getter bay hơi

Hệ thống kiểm tra chân không

Máy thu khí hydro dòng XQP

Getter bay hơi

Vui lòng để lại tin nhắn cho chúng tôi.