Ọja





Tinrin film getters

Awọn ẹya ara ẹrọ ati Awọn ohun elo Ọja yii jẹ fiimu tinrin ti titanium tabi alloy zirconium pẹlu microstructure iṣapeye ti o le muu ṣiṣẹ lori iwọn otutu jakejado. Lẹhin imuṣiṣẹ, o le fa awọn gaasi aimọ gẹgẹbi hydrogen, oru omi, monoxide carbon monoxide, carbon dioxide ati impuri miiran…

fi ohun elo

& # x74d & # x6bd & # x88d

Apejuwe

Wole

Awọn ẹya ara ẹrọ ati Awọn ohun elo

Ọja yii jẹ fiimu tinrin ti titanium tabi alloy zirconium pẹlu microstructure iṣapeye ti o le muu ṣiṣẹ lori iwọn otutu jakejado. Lẹhin imuṣiṣẹ, o le fa awọn gaasi aimọ gẹgẹbi hydrogen, oru omi, monoxide carbon, carbon dioxide ati awọn gaasi aimọ miiran yatọ si gaasi inert ni agbegbe igbale, ati ilọsiwaju ati ṣetọju igbale inu ẹrọ naa. O ni awọn abuda ti agbara awokose nla, ko si awọn patikulu, ati iwọn otutu imuṣiṣẹ kekere. O le jẹ lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ẹrọ MEMS gẹgẹbi awọn sensọ infurarẹẹdi ti ko tutu ati Micro gyroscope. O yatọ si getter alloys wa fun o yatọ si encapsulation ilana.

Ipilẹ abuda ati Gbogbogbo Data

Ilana

Ilana aṣoju ti ọja jẹ irin alagbara, irin pẹlu sisanra ti 50 microns bi agbẹru, ati pe a bo oju ni ẹgbẹ mejeeji, pẹlu sisanra fiimu ti o to 1.5 microns. Apẹrẹ iwọn le jẹ adani ni ibamu si awọn iwulo olumulo. O tun le ṣe ifipamọ ni irisi awọn fiimu tinrin lori oju ti wafer tabi ọpọlọpọ awọn awo ideri irin ati awọn ikarahun seramiki.

Agbara Sorption

Lẹhin ti a ti mu ọja naa ṣiṣẹ ni igbale giga giga ti o kere ju 1E-3Pa, o le ni agbara lati fa, ati lẹhin itutu agbaiye si iwọn otutu yara, o tun ni agbara lati adsorb orisirisi awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ. Bi iwọn otutu imuṣiṣẹ ṣe n pọ si, agbara imisi maa n pọ si. Ọja naa jẹ kikan ni iwọn otutu imuṣiṣẹ ti o dara julọ fun awọn iṣẹju 30, ati agbara adsorption ti CO lẹhin itutu agbaiye jẹ tobi ju 0.06Pa· L/cm2. Nigbati iwọn otutu imuṣiṣẹ ba kọja iwọn otutu imuṣiṣẹ to dara julọ, iṣẹ ifasimu ẹyọkan lẹhin itutu agbaiye jẹ attenuated.

Nigbati ọja ba mu ṣiṣẹ nipasẹ alapapo ni igbale kekere, awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ ni agbegbe bẹrẹ lati gba lakoko ilana alapapo. Fun awọn gaasi oriṣiriṣi, iyara gbigba ati agbara rẹ yatọ. Ni iwọn otutu kan ati laarin iwọn agbara gbigba lapapọ, oṣuwọn gbigba ibẹrẹ ni iyara, lẹhinna o yoo lọra ati losokepupo; Nigbati iwọn otutu ba tun dide, oṣuwọn gbigba ti pọ si lẹẹkansi ati lẹhinna attenuated lẹẹkansi. Lẹhin itutu agbaiye, boya ọja naa ni agbara ifasimu ti o ku da lori iru gaasi ti nṣiṣe lọwọ ti o fa ati iye ifasimu.

Awọn ipo imuṣiṣẹ ti a ṣe iṣeduro

Fun iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ, imuṣiṣẹ ni igbale giga giga ti o kere ju 1E-3Pa ni a ṣe iṣeduro, ati awọn ipo imuṣiṣẹ ti a ṣe iṣeduro fun ohun elo fiimu kọọkan ni a fihan ni atokọ atẹle:

Ohun elo fiimu	Iwọn otutu ati Akoko (℃× min)
TP	450×30
TZC	300×30
TZCF	400×30

Išọra

Igi iwọn otutu imuṣiṣẹ lọwọlọwọ-alapapo ti a pese ni Sipesifikesonu Ọja jẹ idanwo nipasẹ ọja ti o wa ni adiye ni igbale, ati imuṣiṣẹ lọwọlọwọ lọwọlọwọ la. Nitori itọnisọna ooru ti ipo alurinmorin, iwọn otutu ti apakan welded jẹ kekere ju iwọn otutu ti aarin ti ọja naa.

Lakoko imuṣiṣẹ, getter yoo tusilẹ hydrogen ti o le ni inu inu. Ti omi ba wa ni ayika, atẹgun ti o wa ninu omi yoo wa ni atunṣe nipasẹ awọn getter, ati hydrogen elemental yoo yipada si gaasi hydrogen lati tu silẹ. Ni aaye ti o ni ihamọ, lẹhin itutu agbaiye, boya apakan ti hydrogen le jẹ gbigba patapata nipasẹ getter da lori iru ati iye gaasi ti o gba lakoko imuṣiṣẹ.

ti tẹlẹ Itele

Ọja

Ọja

Zircon-graphene getter ohun elo ati igbaradi ọna rẹ

Iyẹwu igbale kekere, rọrun lati lo

A gíga gbẹkẹle getter igbona be ati igbaradi ọna

Ẹrọ ibi ipamọ hydrogen ti o da lori titanium pẹlu awọn thermons

Imọ-ẹrọ ati Idagbasoke

ZEP Series Omi Absorbent

Igbale igbeyewo System

Kò Evaporable Getter

Evaporable Getter

Sintered Porous Getter

XQP Series Hydrogen Getters

Awọn ifasoke ti kii ṣe Evaporable (NEG).

Kò Evaporable Getter-1

Kò Evaporable Getter-2